पीवीडी वैक्यूम कोटिंग प्रौद्योगिकी के आवेदन

------------ डोनाल्ड एम। मैटॉक्स द्वारा, एसवीसी तकनीकी निदेशक

परिचय
वैक्यूम एक ऐसा वातावरण है जहां गैस का दबाव परिवेश से कम है। एक प्लाज्मा एक गैसीय वातावरण है जिसमें पर्याप्त मात्रा में आयन और इलेक्ट्रान मौजूद हैं जिससे कि विद्युत चालकता को सराहा जा सके। वैक्यूम कोटिंग एक फिल्म के बयान या वैक्यूम (या कम दबाव प्लाज्मा) वातावरण में एक कोटिंग है। आम तौर पर शब्द प्रक्रियाओं पर लागू होता है जो भौतिक वाष्प जमाव (पीवीडी) या कम दबाव वाले रासायनिक भाप जमा (एलपी-सीवीडी) प्रक्रियाओं या प्लाज्मा-उन्नत सीवीडी (पीईसीवीडी) जैसे परमाणु (या अणुओं) जमा करते हैं। पीवीडी प्रक्रियाओं में, जमा होने वाली सामग्री ठोस या तरल सतह के वाष्पीकरण से आती है। सीवीडी प्रक्रियाओं में, जमा होने वाली सामग्री रासायनिक वाष्प पूर्ववर्ती प्रजातियों से आती है जो कि कमी या थर्मल अपघटन द्वारा विघटित हो जाती है- ज्यादातर गर्म सतह पर।

कुछ मामलों में जमा होने वाली सामग्री गैसीय वातावरण या कोडोस्पोजित प्रजातियों के साथ एक मिश्रित सामग्री जैसे कि ऑक्साइड, एक नाइट्राइड, कार्बाइड, या कार्बोनेटराइड की एक फिल्म बनाने के लिए प्रतिक्रिया करती है। सीवीडी प्रसंस्करण में, वाष्प चरण में रासायनिक वाष्प के अग्रदूत के टुकड़े करने के लिए एक प्लाज्मा का उपयोग करने से, अकेले थर्मल सक्रियण की तुलना में अपघटन या न्यूनीकरण प्रक्रिया कम तापमान पर आगे बढ़ने की अनुमति मिलती है। पीईसीवीडी पीवीडी प्रसंस्करण (कम दबाव वाले पीईसीवीडी, एलपी-पीईसीवीडी) में इस्तेमाल होने वाले दबावों पर कम से कम दबाव में किया जा सकता है, जहां प्लाज्मा में मुख्य रूप से पूर्ववर्ती वाष्प विघटित हो रहा है। कुछ मामलों में पीवीडी और एलपी-पीईसीवीडी की संकर जमा प्रक्रिया को मिश्र, कंपोजिट या यौगिक जमा करने के लिए उपयोग किया जाता है। एक उदाहरण धातु कार्बोनिट्राइड है जहां कार्बन एसिटिलीन जैसे रासायनिक वाष्प के अग्रदूत से आता है; नाइट्रोजन गैस से आता है; और एक ठोस या तरल सतह के वाष्पीकरण, स्पुतरिंग या चाप वाष्पीकरण से धातु।

विद्युत प्रवाहकीय फिल्में
धातु फिल्में सबसे आम विद्युत कंडक्टर फिल्म हैं धातु फिल्मों को "कंबल" धातु के रूप में इस्तेमाल किया जा सकता है या पृथक कंडक्टर लाइनों ("धारियों") में गठित दौरान या बाद में फोटोलिथोग्राफिक एंचिंग प्रक्रियाओं द्वारा सब्सट्रेट मास्किंग कर सकते हैं। कंडक्टर लाइनों को हाइब्रिड माइक्रोकोइक्रिट तकनीक में और अर्धचालक उपकरणों के निर्माण में उपयोग किया जाता है। अक्सर, विद्युत कंडक्टर मल्टीलाइन फिल्में (स्टैक) होते हैं जहां प्रत्येक परत में एक फ़ंक्शन होता है। उदाहरण के लिए, कंडक्टर फिल्म स्टैक में रचना हो सकती है: ग्लास-ति-पीडी-क्यू-एयू टाइटेनियम (टीआई) "गोंद" परत है, पैलेडियम (पीडी) संक्षारण प्रतिरोध प्रदान करता है, तांबे (घन) एक विद्युत कंडक्टर है, और सोने (एयू) जंग संरक्षण प्रदान करता है। अर्धचालक डिवाइस निर्माण में विभिन्न परतों के बीच विद्युत संपर्क स्थापित करने में "विअस" में धातु के कंडक्टर का उपयोग किया जाता है ब्लैकेट मेटललाइजेशन का इस्तेमाल इलेक्ट्रोनैग्नेटिक इंटरफरेंस (ईएमआई) और रेडियो आवृत्ति हस्तक्षेप (आरएफआई) प्रदान करने के लिए किया जाता है जैसे कि सेलुलर फोन के प्लास्टिक के मामले, कठोर और लचीला संधारित्र इलेक्ट्रोड के लिए इलेक्ट्रोड, और रडार "फफ" के लिए सतह।

धातु नाइट्राइड, कार्बाइड और सिलीशिप फिल्मों में आम तौर पर विद्युत प्रवाहकीय (सी ₃ एन ₄ और एएलएन महत्वपूर्ण अपवाद हैं) हैं कुछ अनुप्रयोगों में, इन दुर्दम्य सामग्रियों की फिल्में सामग्री के बीच प्रसार बाधाएं प्रदान करने के लिए उपयोग की जाती हैं। उदाहरण के लिए, अर्धचालक धातुरूपकरण में, उच्च तापमान प्रसंस्करण के दौरान एल्यूमीनियम या सोना इलेक्ट्रोड सामग्री सिलिकॉन में फैल जाएगी। धातु इलेक्ट्रोड जमा होने से पहले सिलिकॉन सतह पर जमा एक विद्युत प्रवाहकीय टाइटेनियम नाइट्राइड फिल्म प्रसार को रोकेगी। स्थिर, विद्युत रूप से प्रवाहकीय, धातुरूप या मेटल-सिलीशिप संयुग्मों के धातु अर्धचालक संपर्क बनाने से अर्धचालक युक्ति निर्माण का एक महत्वपूर्ण पहलू है। धातु नाइट्राइड जैसे टैंटलम नाइट्राइड (टीएएन) पतली फिल्म अवरोध सामग्री के रूप में उपयोग किया जाता है। क्रोनियम ट्रायऑक्साइड (सीआर ₂ ओ ₃ ), सीड ऑक्साइड (पीबीओ) और रूथनियम ऑक्सीजन (आरओओ) जैसे नॉनट्रांसपर्स इलेक्ट्रिक रूप से प्रवाहकीय ऑक्साइड का उपयोग उच्च तापमान ऑक्सीकरण वायुमंडलों में इलेक्ट्रोड के रूप में किया जाता है।

सुपरकंडक्टर्स ऐसी सामग्रियां हैं जो कुछ महत्वपूर्ण तापमान ( _टीसी ) के नीचे शून्य विद्युत प्रतिरोध के करीब हैं। कम-टी _सी ([<] 10 केल्विन [के] से कम) सुपरकंडक्टर अक्सर धातु होते हैं। एक विशिष्ट उच्च-टी _सी ([50] से अधिक) सुपरकंडक्टर सामग्री ऑक्साइड का मिश्रण है (येट्रियम-बिस्मथ-तांबे [वाई-बी-सीयू] आक्साइड, वाईबीसीओ)। उच्च-टी _सी सुपरकंडक्टर पतली फिल्मों को अक्सर वैक्यूम में लेजर पृथक द्वारा जमा किया जाता है।

पारदर्शी विद्युत कंडक्टर
इंडियम ट्रायऑक्साइड ( ₂ ओ ₃ ), टिन डाइऑक्साइड (एसएनओ ₂ ), जस्ता ऑक्साइड (जेडओओ) और ईण्डीयुम ऑक्साइड और टिन ऑक्साइड (आईटीओ) के एक मिश्र धातु के रूप में पारदर्शी प्रवाहकीय ऑक्साइड (टीसीओ) फिल्मों में इनरर्स जैसे कई अनुप्रयोग हैं डीफ़्रॉस्टिंग के लिए खिड़कियां, डिस्प्ले स्क्रीन पर एंटिस्टैटिक कोटिंग्स, फ्लैट पैनल डिस्प्ले और इलेक्ट्रोचैमिक डिवाइसेज़ पर इलेक्ट्रोड, और लचीला (प्रतिरोधक स्क्रीन) और कठोर (कैपेसिटिव स्क्रीन) टच स्क्रीन दोनों पर इलेक्ट्रोड। टीसीओ फिल्मों के लिए विद्युत प्रतिरोधकता 1,000 ओहम से अधिक "वर्ग" से लेकर 10 ओम से कम प्रति चश्मा के बीच अच्छे ऑप्टिकल ट्रांसमिशन के साथ भिन्न हो सकती है।

विद्युत इन्सुलेटर्स
विद्युत रूप से इन्सुलेट फिल्मों का इस्तेमाल अर्धचालक उपकरणों में विद्युत उपकरणों को अलग करने के लिए किया जाता है, और कैपेसिटर के भीतर एक ढांकता हुआ आम विसंवाहक फिल्म सामग्री सिलिकॉन डाइऑक्साइड (सीओओ ₂ ), एल्यूमीनियम ट्रायऑक्साइड (अल ₂ ओ ₃ ), टैंटलम पैन्टॉक्साइड (टा ₂ ओ ₅ ), सिलिकॉन नाइट्राइड (सी ₃ एन ₄ ), और एल्यूमीनियम नाइट्राइड (एलएन) हैं। धातु की फिल्म और अर्धचालक के बीच एक पतली ऑक्साइड फिल्म को मिटाने से तकनीकी रूप से महत्वपूर्ण धातु आक्साइड-अर्धचालक (एमओएस) डिवाइस के निर्माण की अनुमति मिलती है। थियो थर्मल विस्तार के कम गुणांक के साथ SiO _{2 के} मोटा कोटिंग्स, आरएफ स्पटर जमा हो सकता है। सीओओ ₂ , सिलिकॉन नाइट्राइड (सी ₂ एन ₃ ) की परतों को इन्सुलेट करना, और कांच को अर्धचालक प्रोसेसिंग में एनकैप्सुलेशन और इन्सुलेशन परतों के लिए पीईसीवीडी द्वारा जमा किया जाता है।

ऑप्टिकल फिल्म्स
ऑप्टिकल फिल्मों, आमतौर पर बहुपरत फिल्मों ("ढेर"), ऐसी फिल्में होती हैं जो सतह के ऑप्टिकल संचरण या प्रतिबिंब को प्रभावित करती हैं। वे आम तौर पर उच्च (जर्मेनियम [जीई], सी, टीओओ _2, ज़िरकोनीयियम डाइऑक्साइड [ZRO ₂ ], सीओ, सेरियम डाइऑक्साइड [सीईओ ₂ ] और कम (मैग्नीशियम फ्लोराइड [एमजीएफ ₂ ], सीओ ₂ ) सूचकांक वाले परतों को बदलते हैं। अपवर्तन का एक प्रमुख आवेदन लेंस पर एंटीरफेक्शन (एआर) कोटिंग्स है। ऑप्टिकल फिल्म स्टैक ऑप्टिकल फिल्टर के रूप में इस्तेमाल किया जा सकता है तटस्थ घनत्व या ग्रे फिल्टर सभी तरंग दैर्ध्य के लिए समान रूप से हल्की तीव्रता को कम करते हैं; ब्रॉडबैंड फ़िल्टर एक विस्तृत तरंग दैर्ध्य सीमा पर विकिरण संचरण को प्रभावित करते हैं, जबकि संकीर्ण या मोनोक्रैमिक फिल्टर बहुत ही संकीर्ण तरंग दैर्ध्य क्षेत्र पर संचरण को प्रभावित करते हैं। ब्रॉडबैंड फ़िल्टर का एक उदाहरण एक "बढ़त फिल्टर" है जो एक पारा वाष्प दीपक द्वारा उत्सर्जित पराबैंगनी (यूवी) को "कट ऑफ" करता है। संकुचित बैंड फ़िल्टर के उदाहरण फोटोग्राफी में और प्रोजेक्टर में उपयोग किए जाने वाले रंग फिल्टर हैं।

कुछ फिल्म स्टैक एक विशेष प्रकार की ऑप्टिकल फिल्म है जिसमें एक रंग है जो कोण-अवलोकन (ओवीआईडी) से संबंधित है। ये फिल्में होलोग्राफिक जैसी इमेजिंग की अनुमति देती हैं जालसाजी को रोकने के लिए ये ओवीआईडी ​​फिल्मों को सुरक्षा उपकरण के रूप में उपयोग किया जाता है। ये फिल्में सजावटी फिल्मों के लिए उपयोग की जाने वाली हस्तक्षेप-रंग वाली फिल्मों का परिणाम है, और जब पगड़े हुए होते हैं, जैसे कि पिगमेंट।

थर्मल नियंत्रण कोटिंग्स
खिड़कियों पर थर्मल कंट्रोलिंग कोटिंग्स की संरचना वांछित अंतिम परिणाम के साथ अलग होती है यदि वस्तु को खिड़की के माध्यम से प्रवेश करने से सौर विकिरण रखना है, तो ग्लास-टीओ ₂ -सीआर-टीआईओ ₂ का एक बहु-स्तरीय फिल्म (सौर नियंत्रण कोटिंग) का इस्तेमाल किया जा सकता है। यदि ऑब्जेक्ट कमरे में गर्मी रखने के लिए है, तो चांदी की एक पतली फिल्म का उपयोग निम्न तापमान अवरक्त विकिरण के 85% से 95% को कक्ष (कम ई कोटिंग) में वापस करने के लिए किया जा सकता है। ऐसा एक "डबल-ई कोटिंग" कांच- ZnO-Ag- (तिवारी) -ZnO-Ag- (तिवारी) -ZnO-TiO ₂ ZnO एक antireflective कोटिंग प्रदान करता है।

अन्य प्रकार के थर्मल कोटिंग को सौर विकिरण (सौर अवशोषक) को अवशोषित करने के लिए उपयोग किया जाता है, सौर विकिरण को चुनिंदा रूप से शोभा देता है और अवरक्त विकिरण का उत्सर्जन नहीं करता है, या विकिरण द्वारा ठंडा करने के लिए उच्च उत्सर्जन करने के लिए उपयोग किया जाता है। थर्मल बाधा कोटिंग्स को गर्म वातावरण से थर्मल ट्रांसपोर्ट को सब्सट्रेट तक कम करने के लिए उपयोग किया जाता है। कैल्शियम ऑक्साइड (सीएओ), एमजीओ या वाई ₂ ओ _{3 के} साथ स्थिर जीरकोनीय ऑक्साइड (जेआरओ ₂ ) को विमान इंजन टरबाइन ब्लेड पर थर्मल बाधा कोटिंग के रूप में प्रयोग किया जाता है।

परावर्तक कोटिंग्स
परावर्तक सतहों के लिए धातु फिल्मों का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है चांदी का उपयोग अक्सर जब जंग समस्या नहीं है, जैसे बैक-स्पेस मिरर के लिए। एल्यूमिनियम या तो एक फ्रंट-सतह या बैक-स्पेस रिफ्लेक्टर के रूप में इस्तेमाल किया जा सकता है अक्सर, एल्यूमिनाइज्ड सामने-सतह रिफ्लेक्टर, जैसे कि हेडलाइट रिफ्लेक्टर, एक सुरक्षात्मक बहुलक फिल्म (शीर्ष कोट) के साथ लेपित होते हैं। क्रोमियम सामने सतह रिफ्लेक्टर पर प्रयोग किया जाता है जब जंग एक समस्या है, हालांकि दृश्यमान (60%) में इसकी प्रतिबिंबता एल्यूमीनियम (> 90%) से कम है। परावर्तक फिल्मों को कई आम तौर पर सामना किए जाने वाले अनुप्रयोगों में उपयोग किया जाता है, जैसे कि वीडियो और संगीत भंडारण के लिए कॉम्पैक्ट डिस्क्स, दीप रिफ्लेक्टर, और कार के लिए रियर-व्यू मिरर जैसे दृश्य दर्पण। कुछ मामलों में बहुपरत फिल्मों, बहु-स्तरीय ऑप्टिकल फिल्मों के समान, कुछ तरंग दैर्ध्य को चुनिंदा करने के लिए उपयोग की जाती हैं, न कि दूसरों को। उदाहरण "ठंडे दर्पण" हैं जो कि दृश्यमान विकिरण को दर्शाते हैं लेकिन इन्फ्रारेड तरंग दैर्ध्य और "गर्मी दर्पण" नहीं हैं जो कि इन्फ्रारेड को दर्शाते हैं लेकिन दृश्यमान नहीं हैं। हीट मिरर का इस्तेमाल हलोजन लैंप के आंतरिक तापमान को बढ़ाने के लिए किया जाता है। अभिनेताों पर मंच प्रकाश की गर्मी को कम करने के लिए शीत दर्पण का उपयोग किया जाता है

पैकेजिंग
पेपर या पॉलिमर फिल्म के माध्यम से जल वाष्प संचरण दर (डब्लूवीटीआर) और ऑक्सीजन ट्रांसमिशन दर (ओटीआर) को कम करने के लिए लचीला पॉलिमर फिल्मों और पेपर के लिए बैरियर कोटिंग्स का इस्तेमाल खाद्य पैकेजिंग के लिए किया जाता है। सबसे आम बाधा कोटिंग सामग्री एल्यूमीनियम है, जो पॉलिमर फिल्म (वेब) के रोल पर जमा की जाती है, फिर "कन्वर्टर्स" जो पैकेजिंग तैयार की जाती है। कुछ मामलों में धातु कोटिंग्स एक सतह पर जमा की जाती हैं और फिर पैकेजिंग फिल्म को "ट्रांसफर" कर दिया जाता है। पारदर्शी बाधा कोटिंग्स कई उदाहरणों में वांछनीय हैं। ई-बीम सह-बाष्पीकरण द्वारा SiO ₂ : 30% अल ₂ ओ _{3 के} रिएक्टिव वाष्पीकरण और पीईसीवीडी और समग्र कोटिंग्स द्वारा SiO _{2-X की} परतें पारदर्शी बाधा परतों के निर्माण के लिए उपयोग की जाती हैं। समग्र कोटिंग सामग्री अधिक घना और लचीला है SiO ₂ या Al ₂ O ₃ जमा सामग्री अकेले। एल्यूमिनियम फिल्मों का इस्तेमाल हीलियम के नुकसान को कम करने के लिए बहुलक हीलियम से भरा गुब्बारे पर किया जाता है।

सजावटी और सजावटी / कोटिंग्स पहनें
सख्ती से सजावटी प्रयोजनों के लिए धातुखाना एक बड़ा बाजार है। एप्लीकेशन कोटिंग पॉलीमर जाब्ड से अलग-अलग होते हैं, जो फिर से सजावटी प्रयोगों जैसे कि गुब्बारे और लेबल- तीन-आयामी लेख, जैसे खेल ट्राफियां, जस्ता मरने के कास्ट और ढाला बहुलक सजावटी जुड़नार, और कॉस्मेटिक कंटेनर के रूप में परिवर्तित होते हैं। अक्सर इन कोटिंग्स में परावर्तनशील एल्यूमीनियम कोटिंग होते हैं जो चिकनी बेस कोट पर जमा होते हैं, फिर रंगे लाह से लेपित होते हुए कोटिंग को वांछित रंग और बनावट और जंग भी पहनने के लिए और प्रतिरोध पहनना।

कुछ अनुप्रयोगों में, कोटिंग के सजावटी पहलुओं के अतिरिक्त, पहनने के लिए कोटिंग को रोकने की आवश्यकता होती है। उदाहरण के लिए, टाइटेनियम नाइट्राइड (टीआईएन) सोने का रंग है, और टाइटेनियम कार्बोनिट्राइड (टीआईसी _एक्स एन _वाई ) रंग से सोने से लेकर बैंगनी रंग तक काले रंग में भिन्न हो सकते हैं। ज़िरक्रोनियम नाइट्राइड (जेडआरएन) का पीतल का रंग है और पीतल की तुलना में अधिक पहनने और खरोंच प्रतिरोधी है। सजावटी / पहनने वाले कोटिंग्स का उपयोग दरवाजा हार्डवेयर, नलिका जुड़नार, फैशन आइटम, समुद्री हार्डवेयर, और अन्य ऐसे अनुप्रयोगों में किया जाता है।

कठिन और पहनें-प्रतिरोधी कोटिंग्स
कठोर कोटिंग्स को अक्सर धातुकर्म कोटिंग्स कहा जाता है और एक प्रकार के tribological कोटिंग हैं कठोर कोटिंग्स काटने के उपकरण की कटाई दक्षता और परिचालन जीवन को बढ़ाने के लिए और ऐसे अनुप्रयोगों में इस्तेमाल घटकों के आयामी सहनशीलता को बनाए रखने के लिए उपयोग किया जाता है जहां पहनें पहन सकते हैं, जैसे कि इंजेक्शन मोल्ड्स इसके अलावा, कोटिंग्स एक प्रसार बाधा के रूप में कार्य कर सकते हैं जहां उच्च तापमान तापमान या आक्रामक वातावरणों में जंग संरक्षण के बीच गति से उत्पन्न होते हैं। हार्ड कोटिंग सामग्री के विभिन्न वर्ग हैं। इसमें शामिल हैं: आयनिक रूप से बंधे हुए धातु आक्साइड (अल ₂ ओ ₃ , ज़्रोओ ₂ , और टीओओ ₂ ), कोवेल्ले बंधुआ सामग्री (सीआईसी, बोरॉन कार्बन [बी 4 सी], हीरा, हीरा-जैसे कार्बन [डीएलसी], टीआईसी, एएलएन, सीआरसी, मिश्रित कार्बाइड, नाइट्राइड और कार्बोनेटराइड मिश्रित मिश्र, और घन बोरान नाइट्राइड), और कुछ धातु मिश्र धातुओं (कोबाल्ट क्रोमियम एल्यूमीनियम yttrium [CoCrAlY], NiAl, NiCrBSi)। कुछ मामलों में कोटिंग्स गुणों को संयोजित करने के लिए स्तरित किया जा सकता है

कठोर कोटिंग्स का इस्तेमाल थकान-पहनने को कम करने के लिए भी किया जाता है, जैसे गेंद बियरिंग्स में पाया जाता है। पहनें-प्रतिरोधी कोटिंग्स भी सतहों पर लागू हो सकते हैं जहां एक प्रकाश या आवधिक भार है। उदाहरण के लिए, स्क्रैच प्रतिरोध को सुधारने के लिए प्लास्टिक पर हार्ड कोटिंग्स जमा किए जाते हैं। एप्लीकेशन ढाला प्लास्टिक लेंस और प्लास्टिक के हवाई जहाज के छत पर हैं। कुछ मामलों में सीओओ ₂ या अल ₂ ओ ₃ जैसे कोटिंग्स पहनते हैं, पहले से ही कठिन सतहों पर लागू होते हैं, जैसे ग्लास, स्क्रैच प्रतिरोध बढ़ाने के लिए।

विद्युत रूप से सक्रिय फिल्में
ड्रैप्ड सिलिकॉन फिल्मों का उपयोग अर्धचालक उपकरणों में किया जाता है, और इन फिल्मों को अक्सर आणविक बीम एपिटैक्सी (एमबीई) या वाष्प चरण एपिटैक्सी (वीपीई) की सीवीडी तकनीक नामक एक बहुत ही परिष्कृत पीवीडी वाष्पीकरण तकनीक द्वारा जमा किया जाता है। सौर कोशिकाओं के लिए अनाकार सिलिकॉन जाके और कठोर सबस्ट्रेट्स पर पीईसीवीडी द्वारा जमा किया जाता है। विद्युतचुंबकीय फिल्मों, जो एक वोल्टेज के आवेदन पर ऑप्टिकल ट्रांसमिशन को बदलती हैं, विद्युत क्षेत्र के तहत फिल्म में मोबाइल प्रजातियों के प्रसार पर निर्भर करती हैं। प्रकाश से अवगत होने पर सेलेनियम जैसी सामग्री की फिल्में इलेक्ट्रिक चार्ज हो सकती हैं ऐसी फिल्में फोटोकॉपी मशीनों में टोनर रखने के लिए उपयोग की जाती हैं।

चुंबकीय भंडारण मीडिया
चुंबकीय सामग्रियों को "हार्ड" या "सॉफ्ट" के रूप में वर्गीकृत किया जाता है, इस पर निर्भर करता है कि चुंबकीय क्षेत्र को चुंबकीय बनाना, डिग्नानेट बनाना या "स्विच करना" कितना कठिन है। नरम चुंबकीय सामग्री, जैसे कि पर्मलॉयस (लोहा [Fe]: 40 से 80% नी) और वाई ₂ फ़े ₅ ओ ₁₂ (गार्नेट) का उपयोग स्मृति भंडारण उपकरणों में किया जाता है, जहां डेटा को अक्सर बदल दिया जाता है। फे ₃ ओ ₄ , क्यू: नी: टंगस्टन [डब्ल्यू], सह: रैनियम [रे], गैडोलीनियम [जीडी]: को, और जीडी: टेरबियम [टीबी]: एफए के रूप में अधिक स्थायी रिकॉर्डिंग मीडिया जैसे मेगनेटिक सामग्रियों का इस्तेमाल होता है ऑडियो टेप के रूप में चुंबकीय डोमेन परिभाषित करने के लिए विभिन्न तकनीकों का उपयोग किया जाता है जो भंडारण साइटों के रूप में कार्य करते हैं।

जंग सुरक्षात्मक कोटिंग्स
आक्रामक रासायनिक पर्यावरण से संरक्षण कई तरीकों से पूरा किया जा सकता है। सतह को एक निष्क्रिय सामग्री या एक ऐसी सामग्री के साथ लेपित किया जा सकता है जो पर्यावरण के साथ प्रतिक्रिया करने के बाद एक सुरक्षात्मक सतह बनाता है या सामग्री के साथ जो अंतर्निहित सामग्री की रक्षा के लिए त्याग के लिए हटा दिया जाएगा। कई रासायनिक वातावरण में टैंटलम, प्लैटिनम और कार्बन निष्क्रिय होते हैं। उदाहरण के लिए, कार्बन कोटिंग्स का इस्तेमाल उन धातुओं पर किया जाता है जो संगतता प्रदान करने के लिए मानव शरीर में प्रत्यारोपित होते हैं। एयरोस्पेस उद्योग के हिस्सों में आयन वाष्प जमाव (आईवीडी) की पीवीडी प्रक्रिया द्वारा लेपित एल्यूमीनियम होते हैं ताकि संपर्क में भिन्न सामग्रियों के जैविक क्षरण को रोका जा सके।

क्रोमियम, एल्यूमीनियम, सिलिकॉन, और एमसीआरएएलवाई (जहां एम नी, सह, एफई) मिश्र धातु सतह पर एक सुसंगत सुरक्षात्मक ऑक्साइड परत बनाने के लिए ऑक्सीजन के साथ प्रतिक्रिया करेंगे। अगर धातु आयनों (फे, घन) ऑक्साइड के जरिये ऑक्सीजन की तुलना में अधिक तेजी से फैलती हैं, तो सतह पर एक मोटी ऑक्साइड बन जाएगा। अगर ऑक्सीजन धातु आयनों (अल, सी, तिवारी, जेआर-वाल्व "धातुओं) की तुलना में ऑक्साइड के माध्यम से अधिक तेजी से फैलता है, तो ऑक्सीकरण इंटरफ़ेस में घट जाएगा और एक पतली आक्साइड बन जाएगा। एमसीआरएएलआई मिश्र धातु कोटिंग्स को विमान इंजन टरबाइन ब्लेड पर सुरक्षात्मक कोटिंग्स के रूप में उपयोग किया जाता है। कैडमियम, एल्यूमीनियम, और अल: Zn मिश्र धातु इस्पात पर बिजली उत्पन्न करने वाले कोटिंग्स के रूप में उपयोग किया जाता है। वैक्यूम कैडमियम ("vac cad") चढ़ाना में विद्युतचुंबकीय कैडमियम का लाभ होता है, जिसमें वैक्यूम बयान प्रसंस्करण का उपयोग किया जाता है जब उच्च शक्ति वाले स्टील के हाइड्रोजन embrittlement की कोई संभावना नहीं होती है।

ठोस फिल्म स्नेहक / कम घर्षण कोटिंग्स
नासा ने वैक्यूम-जमा पतली फिल्म ठोस स्नेहक के उपयोग की पहल की। स्नेहक दो प्रकार के होते हैं: कम-कतरनी धातु स्नेहक-जैसे चांदी और सीसा-और लामिना-कतरन मिश्रित सामग्री- जैसे मोलिब्डेनम डाइसल्फ़ाइड (एमओएस ₂ )। निम्न-कतरनी धातु स्नेहक उच्च-टोक़ अनुप्रयोगों में उपयोग किया जाता है जैसे कि एक्स-रे ट्यूब में घूर्णन एनोड्स। कम-कतरनी मिश्रित सामग्री का उपयोग वैक्यूम में यांत्रिक-असर वाले अनुप्रयोगों में किया जाता है और जहां स्नेहक "रेंगना" एक समस्या हो सकती है। चूंकि स्नेहन के लिए केवल एक बहुत ही पतली फिल्म की आवश्यकता होती है, स्नेहक फिल्म के आवेदन में आयामों के महत्वपूर्ण परिवर्तन नहीं होते हैं। मैकेनिकल संपर्क अनुप्रयोगों में पहनने को कम करने के लिए धातु युक्त कार्बन (मी-सी) के कम घर्षण कोटिंग्स का उपयोग किया जाता है

फ्रीस्टैंडिंग स्ट्रक्चर्स
फ्रीस्टैंडिंग संरचनाएं सतह पर एक कोटिंग जमा (मैंडल) जमा करके बनाई जा सकती हैं, फिर खरादरी की सतह से कोटिंग को अलग करना या खराद का टुकड़ा भंग करना। यह तकनीक बहुत पतली संरचनाओं, जटिल सतहों, या फॉइल या सामग्री की शीट तैयार करने के लिए उपयोगी होती है जो रोलिंग द्वारा खराब होती है। उदाहरणों में एक्सी-रे ट्रांसमिशन, बोरोन पतली-दीवार शंकु के लिए उच्च आवृत्ति वाले ऑडियो स्पीकर, और तिवारी-वी-अल धातु मिश्र धातु फोयल्स के लिए उपयोग किए जाने वाले बेरिलियम विंडो हैं। एक अपेक्षाकृत नया अनुप्रयोग माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम (एमईएमएस) उपकरणों का उत्पादन होता है जहां बहुत छोटी संरचनाएं बयान और एखाना प्रक्रियाओं का उपयोग कर निर्मित होती हैं।

इलेक्ट्रोप्लेटिंग के आधार कोट
तीव्र ऑक्साइड संरचना के कारण इलेक्ट्रोप्लेट करने के लिए मुश्किल होने वाली सामग्री पीवीडी प्रक्रियाओं द्वारा अनुरुप आधार वाला बेस कोट हो सकती है और फिर इलेक्ट्रोड पक्ष द्वारा निर्मित कोटिंग। उदाहरण टाइटेनियम, यूरेनियम, और ज़िरकोनियम पर चढ़ते हैं, जहां इलेक्ट्रोप्लेटेड कोटिंग बनने से पहले पीवीडी प्रक्रिया द्वारा निकल या तांबे जैसी सामग्री का एक आधार कोट लागू होता है।

पॉलिमर फिल्म्स
वैक्यूम में कार्बनिक और अकार्बनिक पॉलीमर फिल्मों को जमा करने में बढ़ती रुचि है। इन फिल्मों को एक मोनोमर के घनीकरण से बनाया जा सकता है, जिसके बाद ई-बीम या यूवी का इलाज मोनोमर के पोलीमराइज़ करने या मोनोमर के प्लाज्मा पोलीमराइजेशन द्वारा किया जा सकता है। मोनोमर अग्रदूत एक कार्बन, सिलिकॉन, या बोरान-आधारित पॉलिमर सामग्री को हाइड्रोजन, क्लोरीन या फ्लोरीन युक्त अक्सर उपज सकता है। फ्लोरिन युक्त फिल्मों का उपयोग हाइड्रोफोबिक सतहों के लिए किया जाता है।