आदर्श | RTAC2022 | ||
सामग्री | स्टेनलेस स्टील (एस 304) | ||
चैंबर आकार | Φ2000 * 2200 मिमी (एच) | ||
पंप प्रणाली | रोटरी पिस्टन वैक्यूम पम्प (मैकेनिकल) | ||
रोटरी वेन वैक्यूम पम्प (होल्डिंग) | |||
रूट्स वैक्यूम पम्प | |||
प्रसार पम्प | |||
प्रौद्योगिकी | आयन प्लेटिंग (मल्टी आर्क स्रोत) | ||
पारंपरिक लक्ष्य | टाइटेनियम, क्रोम, जेआर, सीयू, अल इत्यादि | ||
गैस | गैस मास फ्लो मीटर (आर, एन 2,) (आर्गन, नाइट्रोजन) | ||
नियंत्रण | पीएलसी (प्रोग्राम योग्य तर्क नियंत्रक) | ||
सुरक्षा तंत्र | ऑपरेटरों और उपकरणों की रक्षा के लिए कई सुरक्षा इंटरलॉक | ||
शीतलन | पानी | ||
गरम करना | हीटर | ||
बिजली अधिकतम | 150 किलोवाट (लगभग) | ||
औसत शक्ति खपत | 70 किलोवाट (लगभग) |
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