आईटीओ फिल्म कोटिंग मशीन, स्नान प्रकार आईटीओ फिल्म मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटर / ग्लास आईटीओ डिपोजिशन मशीन
आईटीओ फिल्म कोटिंग मशीनमानक अनुप्रयोग: पीईटी, कांच, आईटीओ कोटिंग परत उत्पन्न करने के लिए।
मशीन निर्मित समय: 2012, चीन।
आवेदन: एआर फिल्म, आईटीओ फिल्म।
काम के टुकड़े:
आकार: 300 मिमी * 100 मिमी
पीईटी की मोटाई: 0.175mm+/-0.05mm
* आईटीओ फिल्म की मोटाई: 185nm +/- 5nm
शीट प्रतिरोध: 6 ~ 8ohm / वर्ग
आईटीओ फिल्म कोटिंग मशीनतकनीकी विन्यास:
1) डीसी स्पटरिंग स्रोत: Cu, Al, ITO
2) एमएफ स्पटरिंग स्रोत
3) टर्बो आण्विक पंप + बैकिंग पंप समूह
4) आईटीओ फिल्म की गुणवत्ता में सुधार के लिए उच्च तीव्रता वाले चुंबकीय क्षेत्र, लक्ष्य उपयोग दर> 30%
5) Cu, Al, Si का लक्ष्य उपयोग दर> 35%
6) जमा दर: 30 एनएम एम / मिनट ~ 40 एनएम एम / मिनट
7) स्पटरिंग एकरूपता क्षेत्र: 350 मिमी
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