मध्य आवृत्ति मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग मशीन / एमएफ स्पटरिंग सिस्टम

मैग्नेट्रॉन स्पुतरिंग वैक्यूम कोटिंग पीवीडी आयन प्लेटिंग सतह के उपचार के एक प्रकार है। इसका उपयोग कई प्रकार की सामग्रियों पर: धातु, कांच, सिरेमिक, प्लास्टिक, धातु मिश्र धातु पर आयोजित करने या फिल्मों के संचालन के लिए किया जा सकता है। स्पटरिंग पदोन्नति अवधारणा: कोटिंग सामग्री (लक्ष्य, कैथोड भी नामित) और काम के टुकड़े (उपस्ट्रेट्स, जिन्हें एनोड कहा जाता है) को वैक्यूम चैम्बर में रखा जाता है और दबाव कम होता है। स्पटरिंग एक वोल्टेज अलग-अलग के तहत लक्ष्य देकर और आर्गन गैस को पेश करने के द्वारा शुरू की जाती है जो आर्गन आयनों (ग्लो डिस्चार्ज) बनाती है। आर्गन आयन प्रक्रिया लक्ष्य की ओर गति देते हैं और लक्ष्य परमाणुओं को विस्थापित करते हैं। ये स्पुतरिंग परमाणु सब्सट्रेट पर सघन होते हैं और बहुत पतली और उच्च एकरूपता परत बनाते हैं। कोटिंग प्रक्रिया के दौरान प्रतिक्रियाशील गैसों जैसे नाइट्रोजन, ऑक्सीजन या एसिटिलीन को एचटीई स्पटर गॉस में पेश करके विभिन्न रंग प्राप्त किए जा सकते हैं।

मैग्नेट्रोन स्पटरिंग मॉडल: डीसी स्पटरिंग, एमएफ स्पटरिंग, आरएफ स्पटरिंग

एमएफ स्पटरिंग क्या है?

डीसी और आरएफ स्पटरिंग की तुलना में, मध्य-फ़्रिक्वेंसी स्पटरिंग कोटिंग के बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए एक मुख्य पतली फिल्म स्पटरिंग तकनीक बन गई है, विशेषकर ऑप्टीकल कोटिंग्स, सौर पैनलों, एकाधिक परतों जैसी सतहों पर ढांकता हुआ और गैर-प्रवाहकीय फिल्म कोटिंग्स के फिल्म बयान के लिए , कम्पोजिट सामग्री फिल्म आदि।

यह आरएफ स्पुतटरिंग की वजह से है क्योंकि यह एमएचजेड की तुलना में ज्यादा तेजी से जमा दर के लिए संचालित किया गया है और डीसी जैसे मिश्रित पतली फिल्म बयान के दौरान लक्षित ज़हर से बच सकता है।

एमएफ स्पूटरिंग लक्ष्य हमेशा दो सेटों के साथ मौजूद थे। दो कैथोडों का उपयोग एसी चालू के साथ किया जाता है जो कि उन दोनों के बीच लक्ष्यित सतह को साफ करता है, जो प्रत्येक विचलन के साथ चार्ज को कम करने के लिए डिज़ाइन की ओर बढ़ता है जो कि सरक जाता है जो प्लाज्मा में बूंदों को उड़ा सकती है और समान पतली फिल्म वृद्धि को रोक सकती है --- जो कि हमने लक्ष्य ज़हर को बुलाया है

एमएफ स्पटरिंग सिस्टम प्रदर्शन

1. अंतिम वैक्यूम दबाव: 5.0 × 10 से बेहतर ^{- 6} टॉर

2. ऑपरेटिंग वैक्यूम प्रेशर: 1.0 × 10 ^{- 4} Torr

3. पंपिंगडाउन समय: 1 एटीएम से 1.0 × 10 ^{- 4} टोर्रॉ 3 मिनट (कमरे के तापमान, शुष्क, स्वच्छ और खाली कक्ष)

4. मेटाइलाइजिंग सामग्री (स्पूटरिंग + आर्क बाष्पीकरण): नी, क्यू, एजी, एयू, तिवारी, जेआर, सीआर, टीआईएन, टीआईसी, टीएएलएन, सीआरएन, सीआरसी आदि।

5. ऑपरेटिंग मॉडल: स्वत: पूर्ण / अर्ध-ऑटो / मैन्युअल रूप से

एमएफ स्पूटरिंग सिस्टम संरचना

वैक्यूम कोटिंग मशीन में नीचे सूचीबद्ध कुंजी पूरा सिस्टम है:

1. वैक्यूम चैंबर

2. रौहिंग वैक्यूम पंपिंग सिस्टम (बैकिंग पम्प पैकेज)

3. उच्च वैक्यूम पम्पिंग सिस्टम (चुंबकीय निलंबन आणविक पम्प)

4. विद्युत नियंत्रण और ऑपरेशन सिस्टम

5. सहायक सुविधा प्रणाली (उप प्रणाली)

6. जमाण प्रणाली: वैकल्पिक रूप से एमएफ स्पॉटरिंग कैथोड, एमएफ बिजली आपूर्ति, पूर्वाग्रह विद्युत आपूर्ति आयन स्रोत

एमएफ स्पटरिंग सिस्टम आरटीपी 1212-एमएफ निर्दिष्टीकरण

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