UHV स्पटरिंग डिपॉज़िट सिस्टम PVD डिपोज़िशन स्रोतों के रूप में स्पैटरिंग कैथोड का उपयोग करता है। यह हमेशा एमएफ स्पटर और डीसी स्पुतर्स को इंडस्ट्रियल पीवीडी कोटिंग अनुप्रयोगों के लिए तैयार करता है। अलग-अलग लक्ष्यों और स्पटरिंग डिपोजिशन स्पीड के अनुरोधों के आधार पर, रॉयल टेक्नोलॉजी मुख्य रूप से औद्योगिक उत्पादन कोटिंग की मांग को पूरा करने के लिए तेजी से जमा दरों के लिए बेलनाकार स्पुतर्स और प्लेनर स्पैटर कैथोड प्रदान करता है।
उच्च वैक्यूम मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग डिपोजिशन सिस्टम को तांबा, एल्यूमुनियम, प्लास्टिक, धातु सर्किट बोर्ड प्रवाहकीय फिल्म परत चढ़ाना के लिए डी एग्जिस्ट किया गया है। यह सब्सट्रेट पर नैनो पतली फिल्म को गाढ़ा कर सकता है। एजी स्पटरिंग को छोड़कर, यह नी, एयू, एजी, अल, सीआर, स्टेनलेस स्टील के लक्ष्य भी जमा कर सकता है।
यह विभिन्न सबस्ट्रेट्स पर उच्च एकरूपता वाली फ़िल्में जमा कर सकता है: प्लास्टिक पैनल, पीसी पैनल, एल्युमिनियम शीट, सिरेमिक शीट, अल 2 ओ 3 सिरेमिक, अलएन, सिलिकॉन शीट आदि।
RTSP1215 स्पटरिंग कोटिंग उपकरण लेआउट
RTSP श्रृंखला स्पटरिंग कोटिंग उपकरण अनुप्रयोग:
1. सब्सट्रेट पर उपलब्ध: प्लास्टिक, पॉलिमर, ग्लास और सिरेमिक शीट, स्टेनलेस स्टील, कॉपर शीट, एल्यूमीनियम बोर्ड आदि।
2. नैनो फिल्म बनाने के लिए जैसे: टीआईएन, टीआईसी, टीआईएनएन, सीआर, सीआरसी, सीआरएन, क्यूई, एजी, एयू, नी, अल आदि।
RT-SP श्रृंखला स्पैटरिंग कोटिंग उपकरण डिजाइन विशेषताएं:
1. सीमित कमरे की जगह के लिए, मजबूत डिजाइन
2. रखरखाव और मरम्मत के लिए आसान पहुँच
3. उच्च उपज के लिए फास्ट पंपिंग सिस्टम
4. CE मानक विद्युत बाड़े, उल मानक भी उपलब्ध है।
5. सटीक निर्माण कारीगरी
6. उच्च गुणवत्ता की फिल्म निर्माण की गारंटी के लिए स्थिर चल रहा है।
आयन स्रोत गेनकोआ कंपनी से मूल है, गुण:
1. मानक स्पटरिंग दबावों पर एक collimated प्लाज्मा बीम का उत्पादन करने के लिए अनुकूलित चुंबकीय क्षेत्र
2. निरंतर चालू और वोल्टेज बनाए रखने के लिए गैस के लिए स्वचालित विनियमन - मल्टी-गैस ऑटो नियंत्रण
3. सब्सट्रेट को संदूषण से बचाने और लंबे जीवन वाले घटक प्रदान करने के लिए ग्रेफाइट एनोड और कैथोड
4. सभी आयन स्रोतों पर आरएफ मानक विद्युत इन्सुलेशन
5. एनोड और कैथोड के सीधे शीतलन में - भागों के त्वरित स्विचिंग
6. कम वोल्टेज ऑपरेशन, या एक केंद्रित बीम के लिए कई चुंबकीय जाल प्रदान करने के लिए कैथोड भागों का आसान स्विचिंग
7. वोल्टेज सभी समय पर एक ही वर्तमान बनाए रखने के लिए गैस समायोजन प्रतिक्रिया के साथ बिजली की आपूर्ति को विनियमित किया
उच्च वैक्यूम मैग्नेट्रोन स्पटरिंग डिपोजिशन सिस्टम तकनीकी विनिर्देश:
| आदर्श | RT1215-एसपी |
| सामग्री | स्टेनलेस स्टील (S304) |
| चैंबर आकार | Φ1200 * 1500 मिमी (एच) |
| चैंबर प्रकार | 1-दरवाजा संरचना, ऊर्ध्वाधर |
| एकल पंप पैकेज | रोटरी वेनवैक्यूम पंप |
| जड़ें वैक्यूम पंप | |
| चुंबकीय सस्पेंशन आणविक पंप | |
| दो चरण रोटरी फलक वैक्यूम पंप | |
| प्रौद्योगिकी | एमएफ मैग्नेट्रोन स्पटरिंग, रैखिक आयन स्रोत |
| बिजली की आपूर्ति | स्पटरिंग पावर सप्लाई + बायस पावर सप्लाई + आयन सोर्स |
| डिपॉजिटेशन स्रोत | 4 जोड़े एमएफ स्पटरिंग कैथोड्स + आयन स्रोत + डीसी स्पुतर्स |
| नियंत्रण | पीएलसी + टच स्क्रीन |
| गैस | गैस मास फ्लो मीटर (Ar, N2, C2H2, O2) आर्गन, नाइट्रोजन और एथीन, ऑक्सीजन |
| सुरक्षा तंत्र | ऑपरेटरों और उपकरणों की सुरक्षा के लिए कई सुरक्षा इंटरलॉक |
| शीतलन | ठंडा पानी |
| सफाई | ग्लो डिस्चार्ज / आयन स्रोत |
| पावर मैक्स। | 120KW |
| एवरेज पावर कंसम्पशन | 70kW |
