रॉयल टेक्नोलॉजी मल्टी950
—पीवीडी + पीईसीवीडी वैक्यूम डिपोजिशन मशीन
वह Multi950 मशीन अनुसंधान एवं विकास के लिए एक अनुकूलित एकाधिक फ़ंक्शन वैक्यूम डिपोजिशन सिस्टम है।
प्रोफेसर चेन के नेतृत्व में शंघाई विश्वविद्यालय की टीम के साथ गहन आदान-प्रदान के बाद, हमने अंततः उनके अनुसंधान एवं विकास अनुप्रयोगों को पूरा करने के लिए डिज़ाइन और कॉन्फ़िगरेशन की पुष्टि की।यह प्रणाली पीईसीवीडी प्रक्रिया के साथ पारदर्शी डीएलसी फिल्म जमा करने में सक्षम है, उपकरण पर हार्ड कोटिंग्स, और स्पटरिंग कैथोड के साथ ऑप्टिकल फिल्म।इस पायलट मशीन डिजाइन अवधारणा के आधार पर, हमने बाद में 3 अन्य कोटिंग सिस्टम विकसित किए हैं:
1. ईंधन सेल इलेक्ट्रिक वाहनों के लिए द्विध्रुवी प्लेट कोटिंग- FCEV1213
2. सिरेमिक डायरेक्ट प्लेटेड कॉपर- DPC1215
3. फ्लेक्सिबल स्पटरिंग सिस्टम- कॉपर पीसीबी गोल्ड प्लेटिंग सिस्टम
इन 3 मशीनों में एक अष्टकोणीय कक्ष है, जो विभिन्न अनुप्रयोगों में लचीले और विश्वसनीय प्रदर्शन की अनुमति देता है।यह कोटिंग प्रक्रियाओं को संतुष्ट करता है और कई अलग-अलग धातु परतों की आवश्यकता होती है: अल, सीआर, क्यू, एयू, एजी, नी, एसएन, एसएस और कई अन्य गैर-लौह चुंबकीय धातु।इसके अलावा आयन स्रोत इकाई, अपने प्लाज्मा नक़्क़ाशी प्रदर्शन और कुछ कार्बन-आधारित परतों को जमा करने के लिए PECVD प्रक्रिया के साथ विभिन्न सब्सट्रेट सामग्रियों पर फिल्मों के आसंजन को कुशलता से बढ़ाता है।
Multi950 रॉयल टेक्नोलॉजी के लिए उन्नत डिजाइन कोटिंग सिस्टम का मील का पत्थर है।शंघाई विश्वविद्यालय के छात्रों और प्रोफेसर यिगांग चेन के रचनात्मक और निस्वार्थ समर्पण के साथ उनका नेतृत्व करने के लिए धन्यवाद, क्या हम उनकी बहुमूल्य जानकारी को अत्याधुनिक मशीन में बदलने में सक्षम थे।
वर्ष 2018 में, प्रोफेसर चेन के साथ हमारा एक और प्रोजेक्ट सहयोग था,
आगमनात्मक थर्मल वाष्पीकरण विधि द्वारा C-60 सामग्री का जमाव।
श्री Yimou यांग और प्रोफेसर चेन इन नवीन परियोजनाओं के लिए मौलिक थे।
तकनीकी लाभ
डिज़ाइन विशेषताएँ
1. लचीलापन: चाप और स्पटरिंग कैथोड, आयन स्रोत बढ़ते फ्लैंग्स को लचीले विनिमय के लिए मानकीकृत किया गया है
2. बहुमुखी प्रतिभा: यह विभिन्न प्रकार की आधार धातुओं और मिश्र धातुओं को जमा कर सकता है;धातु और गैर-धातु सामग्री सबस्ट्रेट्स पर ऑप्टिकल कोटिंग्स, हार्ड कोटिंग्स, सॉफ्ट कोटिंग्स, मिश्रित फिल्में और ठोस चिकनाई वाली फिल्में
3. सीधे आगे डिजाइन: 2-द्वार संरचना, आसान रखरखाव के लिए आगे और पीछे खोलना
तकनीकी निर्देश
मॉडल: मल्टी-950
जमाव कक्ष (मिमी)
व्यास x ऊँचाई: φ950 x 1350
जमाव स्रोत: एमएफ स्पटरिंग कैथोड की 1 जोड़ी
पीईसीवीडी की 1 जोड़ी
8 आर्क कैथोड सेट करता है
1 सेट रैखिक आयन स्रोत
प्लाज्मा एकरूपता क्षेत्र (मिमी): φ650 x H750
हिंडोला: 6 xφ300
पॉवर्स (किलोवाट) बायस: 1 x 36
एमएफ स्पटरिंग पावर (किलोवाट): 1 x 36
पीईसीवीडी (किलोवाट): 1 x36
आर्क (किलोवाट): 8 x 5
आयन स्रोत (किलोवाट): 1 x 5
गैस नियंत्रण प्रणाली एमएफसी: 4 + 1
हीटिंग सिस्टम: 18KW, 500 ℃ तक, थर्मल कपल PID कंट्रोल के साथ
उच्च वैक्यूम गेट वाल्व: 2
टर्बो आणविक पंप: 2 x 2000L/S
रूट पंप: 1 x 300L/S
रोटरी वेन्स पंप: 1 x 90 m³/h + 1 x 48 m³/h
पदचिह्न (एल एक्स डब्ल्यू एक्स एच) मिमी: 3000 * 4000 * 3200
कुल पावर (किलोवाट): 150
विन्यास
निर्मित समय: 2015
स्थान: शंघाई विश्वविद्यालय, चीन
