परिशुद्धता उपकरण TiN PVD कोटिंग मशीन विनिर्देशों
| नमूना | RTAC0910 | ||||||||||
| सामग्री | स्टेनलेस स्टील (S316L) | ||||||||||
| चैंबर आकार | Φ900 * 1000 मिमी (एच) | ||||||||||
| पंप सिस्टम | रोटरी पिस्टन वैक्यूम पंप (मैकेनिकल) | ||||||||||
| रोटरी फलक वैक्यूम पंप | |||||||||||
| जड़ें वैक्यूम पंप | |||||||||||
| टर्बो आणविक पंप | |||||||||||
| प्रौद्योगिकी | आयन चढ़ाना + पूर्वाग्रह बिजली बमबारी | ||||||||||
| नियंत्रण | पीएलसी (प्रोग्रामेबल कंट्रोलर कंट्रोलर) | ||||||||||
| गैस | गैस मास फ्लो मीटर | ||||||||||
| सुरक्षा तंत्र | ऑपरेटरों और उपकरणों की सुरक्षा के लिए कई सुरक्षा इंटरलॉक | ||||||||||
| डिपॉजिट एरिया | जमाव क्षेत्र osition680 × 600 मिमी (H) Φ 10 x Φ150 मिमी x 8 x mm180 मिमी mm विकल्प के लिए 6 x Φ210 मिमी। | ||||||||||
| गरम करना | हीटर, 450 ℃ तक | ||||||||||
| पावर मैक्स। | 70 किलोवाट | ||||||||||
| एवरेज पावर कंसम्पशन | 40KW (लगभग) | ||||||||||
निर्दिष्ट मांग वाले उत्पादों के आधार पर अनुकूलित मशीन आकार भी उपलब्ध हैं।
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