क्लोज्ड फील्ड असंतुलित मैग्नेट्रोन स्पटरिंग डिपोजिशन सिस्टम, असंतुलित मैग्नेट्रोन स्पटरिंग आयन प्लेटिंग
असंतुलित और बंद क्षेत्र मैग्नेट्रोन प्रक्रियाओं में प्लानर मैग्नेट्रोन के सभी फायदे हैं।अतिरिक्त फायदे और नुकसान हैं:
असंतुलित और बंद क्षेत्र मैग्नेट्रोन स्पटरिंग ने मैग्नेट्रोन स्पटरिंग प्रक्रियाओं द्वारा प्राप्त क्रांतिकारी गुणों को बदल दिया।इस तकनीक के रूप में बेहतर पतली फिल्म ट्राइबोलॉजिकल, संक्षारण प्रतिरोध और ऑप्टिकल गुणों के साथ सफल होने के कारण, मैग्नेट्रोन तकनीक में सुधार अभी शुरू हुआ था।अगला ब्लॉग हम घूर्णन और बेलनाकार मैग्नेट्रोन प्रक्रियाओं और परिणामी पतली फिल्म अनुप्रयोगों पर चलते हैं।
--- ऊपर से अनुच्छेदपीट आर मार्टिन
रॉयल तकनीक ने उच्च उपज और उच्च लक्ष्य उपयोग स्पटरिंग कैथोड विकसित किए, विशेष रूप से दुर्लभ और महंगी धातुओं के स्पटरिंग के लिए: एयू गोल्ड, टा टैंटलम, एजी सिल्वर मेटल फिल्म्स डिपोजिशन।उच्च एकरूपता फिल्म की जमाव प्रणाली कई उद्योगों जैसे इलेक्ट्रॉनिक्स भागों, चिकित्सा उपकरणों के घटकों की सेवा कर रही है, जिन्हें उच्च फिल्म एकरूपता, कई परतों के जमाव की आवश्यकता होती है।
RTSP1000 मशीन रॉयल तकनीक द्वारा विकसित एक मानकीकृत मशीन है।काटने / बनाने के उपकरण, मोल्ड, चिकित्सा उपकरण, इलेक्ट्रॉनिक्स घटकों, मोटर वाहन उद्योगों के साथ व्यापक रूप से लागू।
| RTSP1000 मुख्य विन्यास और तकनीकी पैरामीटर | ||||||||
| नमूना | आरटीएसपी1000 | |||||||
| प्रौद्योगिकी | एमएफ मैग्नेट्रोन स्पटरिंग + आयन स्रोत प्लाज्मा सफाई | |||||||
| कक्ष सामग्री | स्टेनलेस स्टील (S304) | |||||||
| कक्ष आकार | Φ1000 * 800 मिमी (एच) | |||||||
| कक्ष प्रकार | डी आकार | |||||||
| रोटेशन रैक और जिग सिस्टम | 6 उपग्रह मैक्स।वजन: 500kgs | |||||||
| बिजली की आपूर्ति |
मात्रास्पटरिंग का: 2 * 24 किलोवाट बिजली की आपूर्ति का पूर्वाग्रह: 1 * 20W आयन स्रोत बिजली की आपूर्ति 1 * 5 किलोवाट |
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| जमा सामग्री | Ti/Cr/TiAl/Ta/Cu/Au/कार्बन आदि। | |||||||
| जमा करने का स्रोत | 2 जोड़े (4 टुकड़े) प्लानर स्पटरिंग कैथोड + 1 रैखिक आयन स्रोत एकरूपता क्षेत्र: ± 10 ~ 15% |
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| नियंत्रण | पीएलसी (प्रोग्रामेबल लॉजिक कंट्रोलर) + टच स्क्रीन (मैनुअल + ऑटो + सेमी-ऑटो ऑपरेशन मॉडल) | |||||||
| पंप प्रणाली | रोटरी फलक पंप: SV300B - 1 सेट (लेबॉल्ड) | |||||||
| रूट्स पंप: WAU1001- 1 सेट (लेबॉल्ड) | ||||||||
| होल्डिंग पंप: D60C- 1 सेट (लेबॉल्ड) | ||||||||
| चुंबकीय निलंबन आणविक पंप - 1 सेट (लेबॉल्ड) | ||||||||
| गैस मास फ्लो कंट्रोलर | 4 चैनल, मेड इन चाइना, सेवन स्टार (सीएस सीरीज़, ) डिजिटल मॉडल | |||||||
| वैक्यूम गेज | मॉडल: ZDF-X-LE, मेड इन चाइना: ZDF-X-LE | |||||||
| रैखिक आयन स्रोत | 1 पीस प्री-ट्रीटिंग, प्लाज्मा क्लीनिंग + असिस्टेड डिपोजिशन | |||||||
| सुरक्षा तंत्र | ऑपरेटरों और उपकरणों की सुरक्षा के लिए कई सुरक्षा इंटरलॉक | |||||||
| गरम करना | हीटर: 30 किलोवाट।मैक्स।अस्थायी: 450 ℃ | |||||||
| ठंडा | औद्योगिक चिलर (ठंडा पानी) | |||||||
| पावर मैक्स। | 100 किलोवाट (लगभग) | |||||||
| औसत बिजली की खपत | 45 किलोवाट (लगभग) | |||||||
| कुल वजन | टी (लगभग) | |||||||
| फुट प्रिंट | (एल*डब्ल्यू*एच) 4000*4000 *3200 एमएम | |||||||
| बिजली विद्युत | एसी 380V / 3 चरण / 50HZ / 5 लाइनें | |||||||
उच्च लक्ष्य उपयोग प्लानर स्पटरिंग डिपोजिशन: कृपया यहां क्लिक करें वीडियो देखने के लिए
रैखिक आयन स्रोत प्लाज्मा सफाई और सहायक जमाव: कृपया यहां क्लिक करें वीडियो देखने के लिए
अधिक विशिष्टताओं के लिए कृपया हमसे संपर्क करें, रॉयल टेक्नोलॉजी आपको कुल कोटिंग समाधान प्रदान करने के लिए सम्मानित है।
