एयू गोल्ड स्पटरिंग डिपोजिशन उपकरण, सिल्वे / गोल्ड पीवीडी डिपोजिशन मशीन, कंडक्टिव फिल्म पीवीडी स्पटरिंग सिस्टम
सारांश: डीपीसी प्रक्रिया- डायरेक्ट प्लेटिंग कॉपर एक उन्नत कोटिंग तकनीक है जिसे एलईडी / अर्धचालक / इलेक्ट्रॉनिक उद्योगों के साथ लागू किया जाता है। एक विशिष्ट अनुप्रयोग सिरेमिक रेडियेटिंग सब्सट्रेट है। एल्युमीनियम ऑक्साइड (Al2O3) पर सीओडी प्रवाहकीय फिल्म बयान, PVD वैक्यूम स्पटरिंग तकनीक द्वारा AlN सबस्ट्रेट्स, इसके निर्माण के साथ तुलना में
विधियाँ: DBC LTCC HTCC, बहुत कम उत्पादन लागत इसकी उच्च विशेषता है।
रॉयल टेक्नोलॉजी टीम ने हमारे ग्राहक को पीवीडी स्पटरिंग तकनीक के साथ डीपीसी प्रक्रिया को सफलतापूर्वक विकसित करने में सहायता की।
Keywords: सिरेमिक सीलिंग पार्ट्स, DPC प्रोसेस, कॉपर PVD स्पटरिंग सिस्टम, कूपर प्लेटिंग के साथ LED सेरामिक चिप्स, Al 2 O 3 , AlN सिरेमिक सर्किट बोर्ड, Al2O3 प्लेट्स ऑन LED, सेमीकंडक्टर
डीपीसी के आवेदन :
· HBLED
· सौर सांद्रक कोशिकाओं के लिए सब्सट्रेट
ऑटोमोटिव मोटर नियंत्रण सहित पावर सेमीकंडक्टर पैकेजिंग
· हाइब्रिड और इलेक्ट्रिक ऑटोमोबाइल पावर मैनेजमेंट इलेक्ट्रॉनिक्स
· आरएफ के लिए पैकेज
माइक्रोवेव उपकरण
डीपीसी प्रौद्योगिकी प्रदर्शन
विभिन्न सब्सट्रेट सामग्री: सिरेमिक (Al3O2, AlN), ग्लास, और Si
विशेषताएं:
तकनीकी निर्देश
1. परम वैक्यूम दबाव: 9.0 * 10 - 5 पा से बेहतर;
3. नीचे पंप समय: atm से 1.0 × 10 - 3 Pa minutes15 मिनट (कमरे का तापमान, शुष्क, साफ और खाली कक्ष)
4. जमाव स्रोत: गेनोआ मैग्नेट्रॉन स्पैटरिंग कैथोड, स्टीयर आर्क कैथोड, आयन स्रोत
5. ऑपरेटिंग मॉडल: पूर्ण स्वचालित / अर्ध-ऑटो / मैन्युअल रूप से
6. हीटिंग: कमरे के तापमान से अधिकतम तक। 500 ℃,
9. PECVD और PA PVD प्रक्रिया के लिए स्रोत।
वैक्यूम कोटिंग मशीन में नीचे सूचीबद्ध कुंजी पूर्ण प्रणाली शामिल है:
1. वैक्यूम चैंबर
1.1 आकार: इनर व्यास: 1200 मिमी
इनर हाइट: 1500 मिमी
1.2 सामग्री: वैक्यूम चैंबर SUS304
दरवाजा और flanges SUS304
चैंबर संरचना को मजबूत करता है: SS41 हल्के स्टील, चित्रित परिष्करण सतह के उपचार के साथ।
चैंबर चेसिस SS41 हल्के स्टील के साथ चित्रित परिष्करण सतह के उपचार।
1.3 चैंबर शील्ड: SUS304
1.4 देखें खिड़की: 2 दरवाजे पर
1.5 वैक्यूम चैंबर वेंटिंग वाल्व (साइलेंसर सहित)
1.6 दरवाजा: SUS304 सामग्री
2. आरओ गिंग वैक्यूम पंपिंग सिस्टम :
तेल रोटरी फलक वैक्यूम पंप + होल्डिंग पंप
3. उच्च वैक्यूम पंपिंग सिस्टम : मैग्नेटिकली सस्पेंशन आणविक पंप - 2 सेट
4. इलेक्ट्रिकल कंट्रोल और ऑपरेशन सिस्टम- पीएलसी + टच स्क्रीन ऑपरेशन सिस्टम:
आपूर्तिकर्ता:
पीएलसी: मित्सुबिशी + टच स्क्रीन (चीन में निर्मित)
इलेक्ट्रॉनिक घटक: श्नीडर, ओमरॉन।
सुरक्षा सुरक्षा प्रणाली: ऑपरेटरों और उपकरणों (पानी, वर्तमान गैस, तापमान आदि) की सुरक्षा के लिए कई सुरक्षा इंटरलॉक।
कोटिंग प्रक्रिया प्रणाली : प्रक्रिया स्वचालन और नियंत्रण।
4.1 मुख्य सर्किट: श्रृंखला प्रकार में कोई भी फ्यूज ब्रेकर स्विच, विद्युत चुम्बकीय स्विच, सी / टी
4.2 बिजली की आपूर्ति: डीसी / एमएफ स्पटरिंग पावर + डीसी आर्क पावर + बायस पावर सप्लाई
4.3 नियंत्रण प्रणाली
4.4 ऑपरेशन सिस्टम: टच स्क्रीन + पीएलसी, नुस्खा नियंत्रण और डेटा लॉगिंग, ऑटो शटडाउन, ऑटो निकासी, ऑटो कोटिंग
4.5 मापने की प्रणाली
वैक्यूम दबाव: वैक्यूम गेज: पिरानी + पेनिंग गेज + पूर्ण रेंज वैक्यूम गेज - यूरोप ब्रांड
तापमान मापने वाला उपकरण: थर्मो-कपल
MFC: मास फ्लो कंट्रोलर (4 तरीके),
4.6 अलार्म सिस्टम: संपीड़ित हवा का दबाव, ठंडा पानी का प्रवाह, मिस-ऑपरेशन
4.7 पावर लोड संकेतक: वोल्टेज संकेतक और वर्तमान संकेतक लोड करें
५ । डिपोजिशन सिस्टम
५.१ निक्षेपण स्रोत: स्पैटरिंग कैथोड + आर्क स्रोत + आयन स्रोत
5.2 जमा सामग्री: तांबा, एल्युमिनियम, क्रोम, चांदी, सोना, एसएस, टाइटेनियम आदि।
6. उप-प्रणाली
6.1 वायु संपीडित वाल्व नियंत्रण प्रणाली
6.2 शीतलन जल प्रणाली: जल प्रवाह पाइप और स्विच वाल्व प्रणाली
7. काम करने का माहौल
संपीड़ित हवा: 5 ~ 8 किग्रा / सेमी 2
ठंडा पानी: पानी में तापमान: 20 ~ 25 ℃, 200 लीटर / मिनट,
पानी में दबाव: 2 ~ 3 kg / cm2,
पावर: 3 चरण 380 वी 50 हर्ट्ज (60 हर्ट्ज), 130 केवीए, औसत बिजली की खपत: 60KW
स्थापना क्षेत्र: (एल * डब्ल्यू * एच) 4400 * 3200 * 2950 मिमी
निकास: यांत्रिक पंपों के लिए वेंट
अधिक विनिर्देशों के लिए कृपया हमसे संपर्क करें, रॉयल टेक्नोलॉजी आपको कुल कोटिंग समाधान प्रदान करने के लिए सम्मानित है।