सिरेमिक रेडियेटिंग सब्सट्रेट कूपर मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग प्लांट / सिरेमिक चिप्स सीधे कॉपर स्पटरिंग उपकरण चढ़ाना

सिरेमिक रेडियेटिंग सब्सट्रेट पर कूपर मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग प्लांट

डीपीसी प्रक्रिया- डायरेक्ट प्लेटिंग कॉपर एलईडी / सेमीकंडक्टर / इलेक्ट्रॉनिक उद्योगों के साथ लागू एक उन्नत कोटिंग तकनीक है।एक विशिष्ट अनुप्रयोग सिरेमिक रेडियेटिंग सबस्ट्रेट है।

पारंपरिक निर्माण विधियों की तुलना में पीवीडी वैक्यूम स्पटरिंग तकनीक द्वारा Al2O3, AlN, Si, ग्लास सबस्ट्रेट्स पर कूपर कंडक्टिव फिल्म डिपोजिशन: DBC LTCC HTCC, विशेषताएं:

1. बहुत कम उत्पादन लागत।

2. उत्कृष्ट थर्मल प्रबंधन और गर्मी हस्तांतरण प्रदर्शन

3. सटीक संरेखण और पैटर्न डिजाइन,

4. उच्च सर्किट घनत्व

5. अच्छा आसंजन और मिलाप:

रॉयल टेक्नोलॉजी टीम ने हमारे ग्राहकों को पीवीडी स्पटरिंग तकनीक के साथ डीपीसी प्रक्रिया को सफलतापूर्वक विकसित करने में सहायता की।
अपने उन्नत प्रदर्शन के कारण, डीपीसी सबस्ट्रेट्स का व्यापक रूप से विभिन्न अनुप्रयोगों में उपयोग किया जाता है:

उच्च चमक एलईडी अपने उच्च होने के कारण लंबे जीवनकाल को बढ़ाने के लिए एलईडीगर्मी विकिरणप्रदर्शन, सेमीकंडक्टर उपकरण, माइक्रोवेव वायरलेस संचार, सैन्य इलेक्ट्रॉनिक्स, विभिन्न सेंसर सबस्ट्रेट्स, एयरोस्पेस, रेलवे परिवहन, बिजली शक्ति, आदि

RTAC1215-SP उपकरण विशेष रूप से DPC प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किया गया है जो सबस्ट्रेट्स पर कूपर परत प्राप्त करता है।यह उपकरण उच्च घनत्व, उच्च घर्षण प्रतिरोध, उच्च कठोरता और उच्च वैक्यूम वातावरण में मजबूत बंधन के साथ आदर्श फिल्म प्राप्त करने के लिए मल्टी-आर्क आयन प्लेटिंग और मैग्नेट्रोन स्पटरिंग तकनीकों के साथ पीवीडी भौतिक वाष्प जमाव सिद्धांत का उपयोग करता है।बाकी डीपीसी प्रक्रिया के लिए यह महत्वपूर्ण कदम है।

कॉपर स्पटरिंग कोटिंग मशीन मुख्य विशेषताएं:

1. 8 स्टीयर आर्क कैथोड और डीसी स्पटरिंग कैथोड, एमएफ स्पटरिंग कैथोड, आयन सोर्स यूनिट से लैस।

2. बहुपरत और सह-जमा कोटिंग उपलब्ध है

3. प्लाज्मा सफाई के लिए आयन स्रोत पूर्व-उपचार और फिल्म आसंजन को बढ़ाने के लिए आयन-बीम सहायक बयान।

4. सिरेमिक/Al2O3/AlN सबस्ट्रेट्स हीटिंग यूनिट;

5. सब्सट्रेट रोटेशन और क्रांति प्रणाली, 1-साइड कोटिंग और 2-साइड कोटिंग के लिए।

कॉपर स्पटरिंग कोटिंग मशीन निर्दिष्टीकरण

प्रदर्शन

1. परम वैक्यूम दबाव: 5.0×10 . से बेहतर^-6टोर.

2. ऑपरेटिंग वैक्यूम प्रेशर: 1.0×10^-4टोर.

3. पम्पिंगडाउन समय: 1 बजे से 1.0×10 . तक^-4Torr≤ 3 मिनट (कमरे का तापमान, सूखा, साफ और खाली कक्ष)

4. धातुकरण सामग्री (स्पटरिंग + आर्क वाष्पीकरण): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr आदि।

5. ऑपरेटिंग मॉडल: पूर्ण स्वचालित रूप से / अर्ध-ऑटो / मैन्युअल रूप से

संरचना

वैक्यूम कोटिंग मशीन में नीचे सूचीबद्ध मुख्य पूर्ण प्रणाली शामिल है:

1. वैक्यूम चैंबर

2. रूहिंग वैक्यूम पंपिंग सिस्टम (बैकिंग पंप पैकेज)

3. उच्च वैक्यूम पम्पिंग सिस्टम (चुंबकीय रूप से निलंबन आणविक पंप)

4. विद्युत नियंत्रण और संचालन प्रणाली

5. सहायक सुविधा प्रणाली (उप प्रणाली)

6. जमा प्रणाली

नमूने

अधिक विशिष्टताओं के लिए कृपया हमसे संपर्क करें, रॉयल टेक्नोलॉजी आपको कुल कोटिंग समाधान प्रदान करने के लिए सम्मानित है।