मल्टी 950 मशीन गुण:
कॉम्पैक्ट पदचिह्न,
मानक मॉड्यूलर डिजाइन,
लचीले,
विश्वसनीय,
ऑक्टल चैंबर,
अच्छी पहुंच के लिए 2-दरवाजा संरचना,
PVD + PECVD प्रोसेस।
डिज़ाइन विशेषताएँ:
1. लचीलेपन: आर्क और स्पैटरिंग कैथोड, आयन स्रोत बढ़ते फ्लैंग्स को लचीले विनिमय के लिए मानकीकृत किया गया है;
2. बहुमुखी प्रतिभा: आधार धातुओं और मिश्र धातुओं की विविधता जमा कर सकते हैं; धात्विक और गैर-धात्विक पदार्थों पर ऑप्टिकल कोटिंग्स, हार्ड कोटिंग्स, मुलायम कोटिंग्स, मिश्रित फिल्में और ठोस चिकनाई वाली फिल्में।
3. सीधे आगे डिजाइन: आसान रखरखाव के लिए 2-दरवाजा संरचना, सामने और पीछे के उद्घाटन।
मल्टी 950 मशीन आरएंडडी के लिए एक अनुकूलित कई कार्य वैक्यूम बयान प्रणाली है। प्रोफेसर चेन द्वारा नेतृत्व की गई शंघाई विश्वविद्यालय की टीम के साथ आधे साल की चर्चा के साथ, हमने आखिरकार उनके आर एंड डी अनुप्रयोगों को पूरा करने के लिए डिजाइन और कॉन्फ़िगरेशन की पुष्टि की। यह प्रणाली PECVD प्रक्रिया के साथ पारदर्शी DLC फिल्म को जमा करने में सक्षम है, टूल पर हार्ड कोटिंग्स और स्पैटरिंग कैथोड के साथ ऑप्टिकल फिल्म। इस पायलट मशीन डिजाइन अवधारणा के आधार पर, हमने उसके बाद 3 अन्य कोटिंग सिस्टम विकसित किए हैं:
1. ईंधन सेल इलेक्ट्रिक वाहनों के लिए द्विध्रुवी प्लेट कोटिंग- FCEV1213,
2. सिरेमिक डायरेक्ट प्लेटेड कॉपर- DPC1215,
3. लचीली स्पटरिंग प्रणाली- RTSP1215।
ये 4 मॉडल मशीन ऑक्टल चैंबर के साथ सभी हैं, लचीला और विश्वसनीय प्रदर्शन बड़े पैमाने पर विभिन्न अनुप्रयोगों में उपयोग किया जाता है। यह संतुष्ट करता है कि कोटिंग प्रक्रियाओं के लिए अलग-अलग धातु की परतों की आवश्यकता होती है: अल, सीआर, क्यू, एयू, एजी, नी, एसएन, एसएस और कई अन्य गैर-सामयिक चुंबकीय धातु;
इसके अलावा आयन स्रोत इकाई, अपने प्लाज्मा नक़्क़ाशी प्रदर्शन के साथ अलग-अलग सब्सट्रेट सामग्रियों पर कुशलतापूर्वक फिल्मों के आसंजन को बढ़ाती है, और कुछ कार्बन-आधारित परतों को जमा करने के लिए PECVD प्रक्रिया।
मल्टी 950 रॉयल टेक के लिए उन्नत डिज़ाइन कोटिंग सिस्टम का मील का पत्थर है। यहाँ, हम आभारी हैं शंघाई विश्वविद्यालय के छात्रों और विशेष रूप से प्रक्रिया यिगंग चेन, उनका रचनात्मक और निस्वार्थ समर्पण असीमित मूल्य हैं और हमारी टीम को प्रेरित करते हैं।
वर्ष 2018 में, हमारे पास प्रेसर चेन के साथ एक और परियोजना सहयोग था, सी -60 सामग्री द्वारा
आगमनात्मक थर्मल वाष्पीकरण विधि। हम हर नवोन्मेषी परियोजना पर श्री यिमौ यांग और प्रोफेसर चेन की अगुवाई और शिक्षा के लिए दिल से धन्यवाद देते हैं।
मल्टी 950 - तकनीकी विनिर्देश
| विवरण | मल्टी 950 |
जमाव कक्ष (मिमी) चौड़ाई x गहराई x Heigh | 1050 x 950 x 1350 |
डिपोजिट सोर्सेज | 1 जोड़ी एमएफ स्पैटरिंग कैथोड्स |
| PECVD की 1 जोड़ी | |
| 8 सेट आर्क कैथोड्स | |
| रैखिक आयन स्रोत | एक सेट |
| प्लाज्मा एकरूपता क्षेत्र (मिमी) | φ650 x H750 |
| हिंडोला | 6 x φ300 |
शक्तियां (किलोवाट) | पूर्वाग्रह: 1 x 36 |
| एमएफ: 1 एक्स 36 | |
| PECVD: 1 x36 | |
| आर्क: 8 x 5 | |
| आयन स्रोत: 1 x 5 | |
| गैस नियंत्रण प्रणाली | MFC: 4 + 1 |
| उष्मन तंत्र | 500 ℃, थर्मोकपल पीआईडी नियंत्रण के साथ |
| उच्च वैक्यूम गेट वाल्व | 2 |
| टर्बोमोलेक्यूलर पंप | 2 x 2000 एल / एस |
| जड़ें पंप | 1 एक्स 300 एल / एस |
| रोटरी वैन पंप | 1 x 90 m³ / h + 1 x 48 m h / h |
| पदचिह्न (एल एक्स डब्ल्यू एक्स एच) मिमी | 3000 * 4000 * 3200 |
| कुल बिजली (किलोवाट) | 150 |
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