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एमएफ स्पटरिंग क्या है?

डीसी और आरएफ स्पटरिंग की तुलना में, मध्य-आवृत्ति स्पटरिंग कोटिंग के बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए एक मुख्य पतली फिल्म स्पटरिंग तकनीक बन गई है, विशेष रूप से ऑप्टिकल कोटिंग्स, सौर पैनल, कई परतों जैसी सतहों पर ढांकता हुआ और गैर-प्रवाहकीय फिल्म कोटिंग्स के फिल्म बयान के लिए। , समग्र सामग्री फिल्म आदि।
यह आरएफ स्पटरिंग की जगह ले रहा है क्योंकि यह बहुत तेजी से जमा करने की दर के लिए मेगाहर्ट्ज के बजाय kHz के साथ संचालित होता है और डीसी जैसे यौगिक पतली फिल्म जमाव के दौरान लक्ष्य विषाक्तता से भी बच सकता है।

एमएफ स्पटरिंग लक्ष्य हमेशा दो सेटों के साथ मौजूद थे।दो कैथोड का उपयोग एक एसी करंट के साथ किया जाता है, जो उनके बीच आगे-पीछे होता है, जो प्रत्येक उत्क्रमण के साथ लक्ष्य सतह को साफ करता है, जिससे डाइलेक्ट्रिक्स पर बनने वाले चार्ज को कम किया जा सकता है, जिससे आर्किंग होती है जो प्लाज्मा में बूंदों को उगल सकती है और समान पतली फिल्म वृद्धि को रोक सकती है --- जिसे हम टारगेट पॉइज़निंग कहते हैं।
 

जमा करने के स्रोत
ठोस धातु लक्ष्य के वाष्पीकरण के लिए स्टीयरिंग सर्कुलर आर्क स्रोत;
ग्रेफाइट पतली फिल्म परत बयान के लिए एमएफ सिलेंडर स्पटरिंग कैथोड के 2/4/6 जोड़े;
पूर्व-उपचार के लिए प्लाज्मा क्षेत्र बनाने के लिए आयन बमबारी के लिए पूर्वाग्रह बिजली की आपूर्ति;
एनोड रैखिक आयन स्रोत इकाई (वैकल्पिक के लिए) पीएसीवीडी और पीईसीवीडी प्रसंस्करण;
क्रायोपंप (पॉलीकोल्ड) पानी के आणविक संघनन के लिए (वैकल्पिक के लिए)

अन्य मॉड्यूल
1. वैक्यूम चैंबर
2. रूहिंग वैक्यूम पंपिंग सिस्टम (बैकिंग पंप पैकेज)
3. उच्च वैक्यूम पम्पिंग सिस्टम (चुंबकीय रूप से निलंबन आणविक पंप)
4. विद्युत नियंत्रण और संचालन प्रणाली
5. सहायक सुविधा प्रणाली (उप प्रणाली)
6. जमा प्रणाली: एमएफ स्पटरिंग कैथोड, एमएफ बिजली की आपूर्ति, वैकल्पिक के लिए पूर्वाग्रह बिजली आपूर्ति आयन स्रोत

कोटिंग मशीन प्रदर्शन

1. परम वैक्यूम दबाव: 5.0×10 . से बेहतर-6टोर.
2. ऑपरेटिंग वैक्यूम प्रेशर: 1.0×10-4टोर.
3. पम्पिंगडाउन समय: 1 बजे से 1.0×10 . तक-4Torr≤ 3 मिनट (कमरे का तापमान, सूखा, साफ और खाली कक्ष)
4. धातुकरण सामग्री (स्पटरिंग + आर्क वाष्पीकरण): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, आदि।
5. ऑपरेटिंग मॉडल: पूर्ण स्वचालित रूप से / अर्ध-ऑटो / मैन्युअल रूप से

 
ये कॉन्फ़िगरेशन मानक हैं, एक विशिष्ट विकासशील बाजार और नए विशेष कोटिंग्स के लिए, अनुकूलित कॉन्फ़िगरेशन और संशोधन अनुरोध पर उपलब्ध हैं।
 
 
 
वैक्यूम सिस्टम इंस्टॉलेशन प्रोग्राम कमीशनिंग
 

 
 
 
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