आयन प्लेटिंग के बारे में

सामान्य जानकारी

1. चढ़ाना पर जमा करने वाली फिल्म की संरचना और गुणों को संशोधित करने और नियंत्रित करने के लिए जमाराशि फिल्म के समवर्ती या आवधिक ऊर्जावान कण बमबारी का इस्तेमाल होता है।

2. जमा सामग्री वाष्पीकरण, स्पुतरिंग, चाप वाष्पीकरण, या अन्य वाष्पीकरण स्रोत द्वारा या तो वाष्पीकृत हो सकती है।

3. बमबारी के लिए इस्तेमाल ऊर्जावान कण आम तौर पर एक निष्क्रिय या रिएक्टिव गैस, या जमा सामग्री (फिल्म आयनों) के आयनों के आयन होते हैं।

4. आयन चढ़ाना एक प्लाज्मा वातावरण में किया जा सकता है जहां बमबारी के लिए आयन प्लाज्मा से निकाले जाते हैं

आयन प्लेटिंग के फायदे

ऊर्जावान कण बमबारी द्वारा जमा की गई फिल्म की सतह में महत्वपूर्ण ऊर्जा पेश की गई है।

2. वैक्यूम वाष्पीकरण और गैस बिखराव के कारण स्पटर ब्योरा और "स्पूटरिंग री-डिज़ोशन" प्रभावों पर सतह कवरेज में सुधार किया जा सकता है।

3. नियंत्रित बमबारी का उपयोग आसंजन, घनत्व, अवशिष्ट फिल्म तनाव, ऑप्टिकल गुण जैसे फिल्म गुणों को संशोधित करने के लिए किया जा सकता है।

4. फिल्म संपत्तियां गैस स्प्रेडिंग, "स्पूटरिंग / पुनः जमाण", और "परमाणु पीनिंग" प्रभावों के कारण स्पटर ब्योशन और वैक्यूम वाष्पीकरण की तुलना में सामग्री जमा करने के प्रवाह के "कोण-दर-घटना" पर कम निर्भर हैं।

5. बॉम्बेर्डमेंट का उपयोग "बमबारी-बढ़ाया रासायनिक प्रतिक्रियाओं" द्वारा फिल्म सामग्री की रासायनिक संरचना को सुधारने के लिए किया जा सकता है और बढ़ती सतह से गैर-प्रतिक्रिया व्यक्त प्रजातियों के स्पुतरिंग का इस्तेमाल किया जा सकता है।

6. कुछ अनुप्रयोगों में प्लाज्मा को "सक्रिय" प्रतिक्रियाशील प्रजातियों के लिए इस्तेमाल किया जा सकता है और नई रासायनिक प्रजातियों का निर्माण किया जा सकता है जो अधिक आसानी से अवशोषित होते हैं ताकि प्रतिक्रियाशील जमा प्रक्रिया (प्रतिक्रियाशील आयन चढ़ाना)

आयन प्लेटिंग के नुकसान

1. नियंत्रित करने के लिए कई प्रसंस्करण चर रहे हैं।

2. सब्सट्रेट की सतह पर वर्दी आयन बमबारी को प्राप्त करना अक्सर मुश्किल होता है, जिससे सतह पर फिल्म-संपत्ति भिन्नताएं बढ़ जाती हैं।

3. सब्सट्रेट हीटिंग अत्यधिक हो सकता है।

4. कुछ शर्तों के तहत बमबारी गैस को बढ़ती फिल्म में शामिल किया जा सकता है।

5. कुछ शर्तों के तहत बमबारी से अत्यधिक अवशिष्ट संकुचित फिल्म तनाव पैदा हो सकता है।

6. आयन चढ़ाना का प्रयोग जटिल सामग्री के कठोर कोटिंग्स, पक्षपाती धातु कोटिंग्स, उच्च घनत्व वाले ऑप्टिकल कोटिंग्स और जटिल सतहों पर कन्फर्मल कोटिंग्स को जमा करने के लिए किया जाता है।

7. बूंदों जो कोटिंग सतह को प्रभावित कर सकते हैं