|
| ब्रांड नाम: | ROYAL |
| मॉडल संख्या: | आरटी1000-टीए |
| एमओक्यू: | 1 सेट |
| कीमत: | विनिमय योग्य |
| भुगतान की शर्तें: | एल/सी,टी/टी |
| आपूर्ति करने की क्षमता: | प्रति माह 5 सेट |
मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग का उपयोग व्यापक रूप से टैंटलम, टाइटेनियम, वोल्फ़ेन जैसे अग्निरोधक धातुओं को जमा करने के लिए किया जाता है,निओबियम, जिसके लिए बहुत उच्च तापमान पर जमाव की आवश्यकता होती है, और कीमती धातुएंः सोना और चांदी और जिसका उपयोग कम पिघलने बिंदु धातुओं जैसे तांबा, एल्यूमीनियम, निकल, क्रोम आदि के जमाव के लिए भी किया जाता है।
इलेक्ट्रॉनिक में टैंटलम का सबसे अधिक प्रयोग किया जाता है।उद्योगक्षरण के प्रति अच्छा प्रतिरोध के कारण एक सुरक्षात्मक कोटिंग के रूप में.
स्पटर टैंटलम पतली फिल्म के अनुप्रयोगः
1माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग के रूप में फिल्मों को प्रतिक्रियाशील रूप से स्पटर किया जा सकता है और इस प्रकार प्रतिरोध की प्रतिरोधकता और तापमान गुणांक को नियंत्रित किया जा सकता है;
तकनीकी लाभ
रॉयल टेक्नोलॉजी की मानकीकृत टैंटलम स्पटरिंग जमा प्रणाली:
| मुख्य विन्यास | |
| मॉडल | RT1000-Ta |
| प्रौद्योगिकी |
पल्स्ड डीसी मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कैथोडिक आर्क कोटिंग (विकल्प के लिए, कोटिंग प्रक्रिया द्वारा निर्धारित) |
| कक्ष सामग्री | स्टेनलेस स्टील (S304) |
| कक्ष का आकार | Φ1000*1000 मिमी (एच) |
| कक्ष प्रकार | डी आकार, बेलनाकार कक्ष |
| रोटेशन रैक और जिग सिस्टम | उपग्रह ड्राइविंग या केंद्रीय ड्राइविंग प्रणाली |
| विद्युत आपूर्ति |
डीसी स्पटरिंग पावर सप्लाईः 2~4 सेट आयन स्रोत: 1 सेट |
| जमा करने की सामग्री | ता, टीआई/सीआर/टीआईएल, औ, एजी, क्यू आदि |
| जमा करने का स्रोत | समतल स्पटरिंग कैथोड + गोलाकार आर्क कैथोड |
| नियंत्रण | पीएलसी ((प्रोग्राम करने योग्य तर्क नियंत्रक) + आईपीसी (मैनुअल + ऑटो + अर्ध-स्वचालित संचालन मॉडल) |
| पंप प्रणाली | रोटरी वैन पंपः SV300B 1 सेट (लेयबोल्ड) |
| जड़ पंपः WAU1001 1 सेट (लेयबोल्ड) | |
| रखरखाव पंपः D60C 1 सेट (लेयबोल्ड) | |
| चुंबकीय निलंबन आणविक पंप: एमएजी2200 ️ 2 सेस्ट (लेयबोल्ड) |
|
| गैस द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक | 2 चैनल: Ar और N2 |
| वैक्यूम गेज | Inficon या Leybold |
| सुरक्षा प्रणाली | ऑपरेटरों और उपकरणों की सुरक्षा के लिए कई सुरक्षा इंटरलॉक |
| हीटिंग | हीटर: 20KW. अधिकतम तापमानः 450°C |
| शीतलन | औद्योगिक शीतलक (ठंडा पानी) |
| पावर मैक्स. | 100 किलोवाट (लगभग) |
| औसत बिजली खपत | 45 KW (लगभग) |
| सकल वजन | टी (लगभग) |
| पैरों का निशान | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| विद्युत शक्ति |
AC 380V/3 चरणों/50HZ / 5 लाइन |
इंसाइट:
निर्माण का समयः 2018
स्थानः चीन
अधिक अनुप्रयोगों और विनिर्देशों के लिए कृपया हमसे संपर्क करें।
