आईटीओ फिल्म कोटिंग मशीन, बाथ प्रकार आईटीओ फिल्म मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटर / ग्लास आईटीओ डिपोजिशन मशीन
आईटीओ फिल्म कोटिंग मशीनमानक अनुप्रयोग: पीईटी, कांच, आईटीओ कोटिंग परतों को उत्पन्न करने के लिए।
मशीन का निर्माण समय: 2012, चीन।
अनुप्रयोग: एआर फिल्म, आईटीओ फिल्म।
कार्य टुकड़े:
आकारः 300mm*100mm
पीईटी की मोटाईः 0.175mm+/-0.05mm
*आईटीओ फिल्म की मोटाई:185 एनएम+/-5 एनएम
शीट प्रतिरोधः 6~8ohm/sq
आईटीओ फिल्म कोटिंग मशीनतकनीकी विन्यास:
1) डीसी स्पटरिंग सोर्सः क्यू, अल, आईटीओ
2) एमएफ स्पटरिंग स्रोत
3) टर्बो आणविक पंप + बैकपंप समूह
4) आईटीओ फिल्म की गुणवत्ता में सुधार के लिए उच्च तीव्रता वाले चुंबकीय क्षेत्र, लक्ष्य उपयोग दर > 30%
5) Cu, Al, Si का लक्ष्य उपयोग दर > 35%
6) जमाव दरः 30nm m/min ~ 40nm m/min
7) स्पटरिंग एकरूपता क्षेत्रः 350 मिमी
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