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| ब्रांड नाम: | ROYAL |
| मॉडल संख्या: | RTSP1215-एमएफ |
| एमओक्यू: | 1 सेट |
| कीमत: | विनिमय योग्य |
| भुगतान की शर्तें: | एल / सी, डी / ए, डी / पी, टी / टी |
| आपूर्ति करने की क्षमता: | प्रति माह 15 सेट |
पीवीडी मशीन मॉडल: आरटीएसपी 1215-एमएफ को कॉपर सर्किट बोर्ड पर तिआन सोने की कोटिंग जमा करने के लिए डिजाइन और विकसित किया गया है। टीआईएन पतली फिल्म उच्च वैक्यूम वातावरण में उत्पन्न हुई, जिसने एकरूपता और शुद्धता को बढ़ाया।
कॉपर सर्किट बोर्ड टीएन पीवीडी कोटिंग मशीन डिजाइन विशेषताएं:
1. 8-पक्षों के बराबर आकार वाले फ़्लैंगेस वाले आकार वाले कक्ष, जो आयन स्रोत और स्पटरिंग कैथोड या आर्क कैथोड को कोटिंग प्रक्रियाओं की मांग के आधार पर लचीली रूप से इकट्ठा और विनिमय कर सकते हैं।
2. कॉम्पैक्ट डिज़ाइन जो केवल 20 एसएमएम पर कब्जा कर लेता है;
3. प्लाज्मा के लिए आयन स्रोत प्री-ट्रीटमेंट की सफाई और फिल्म आसंजन को बढ़ाने के लिए आयन-बीम सहायता प्रदान की गई।
4. उच्च पंपिंग गति पैकेज और स्थिर विन्यास, चुंबकीय निलंबन आणविक पंपों को किसी भी दिशा में घुड़सवार किया जा सकता है।
कॉपर सर्किट बोर्ड टीएन पीवीडी कोटिंग मशीन निर्दिष्टीकरण
प्रदर्शन
1. अंतिम वैक्यूम दबाव: 5.0 × 10 से बेहतर - 6 टॉर
2. ऑपरेटिंग वैक्यूम प्रेशर: 1.0 × 10 - 4 Torr
3. पंपिंगडाउन समय: 1 एटीएम से 1.0 × 10 - 4 टोर्रॉ 3 मिनट (कमरे के तापमान, शुष्क, स्वच्छ और खाली कक्ष)
4. मेटाइलाइजिंग सामग्री (स्पूटरिंग + आर्क बाष्पीकरण): नी, क्यू, एजी, एयू, तिवारी, जेआर, सीआर आदि।
5. ऑपरेटिंग मॉडल: स्वत: पूर्ण / अर्ध-ऑटो / मैन्युअल रूप से
संरचना
वैक्यूम कोटिंग मशीन में नीचे सूचीबद्ध कुंजी पूरा सिस्टम है:
1. वैक्यूम चैंबर
2. रौहिंग वैक्यूम पंपिंग सिस्टम (बैकिंग पम्प पैकेज)
3. उच्च वैक्यूम पम्पिंग सिस्टम (चुंबकीय निलंबन आणविक पम्प)
4. विद्युत नियंत्रण और ऑपरेशन सिस्टम
5. सहायक सुविधा प्रणाली (उप प्रणाली)
6. जमा प्रणाली
| आरटीएसपी 1215-एमएफ तकनीकी डाटा | |||||||
| आदर्श | RTSP1215-एमएफ | ||||||
| प्रौद्योगिकी | मैग्नेट्रोन स्पटरिंग (एमएफ) | ||||||
| सामग्री | स्टेनलेस स्टील (एस 304) | ||||||
| चैंबर आकार | Φ1200 * H1500mm | ||||||
| चैंबर प्रकार | 8-पक्ष, ऊर्ध्वाधर, 1-दरवाज़ा | ||||||
| स्पूटरिंग सिस्टम | 4 सेट Planar Sputtering Cathodes | ||||||
| खर्चीली सामग्री | एल्यूमिनियम, सिल्वर, कॉपर, क्रोम, स्टेनलेस स्टील, निकेल, टाइटेनियम, टीएन | ||||||
| जमा स्रोत | 4 प्लैवर स्पटरिंग कैथोड + प्लाज्मा सफाई के लिए आयन स्रोत | ||||||
| गैस | एमएफसी -2 तरीके, आर, एन 2 | ||||||
| नियंत्रण | पीएलसी (प्रोग्राम योग्य तर्क नियंत्रक) + टच स्क्रीन | ||||||
| पंप प्रणाली | एसवी 300 बी - 1 सेट (लेबॉल्ड) | ||||||
| WAU1001 - 1 सेट (लेबॉल्ड) | |||||||
| डी 60 टी -1 सेट (लेबल्ड) | |||||||
| एमजीके 3304 - 2 सेट (ओसाका) | |||||||
| पूर्व-उपचार | पूर्वाग्रह बिजली की आपूर्ति: 1 * 36 किलोवाट | ||||||
| सुरक्षा तंत्र | ऑपरेटरों की सुरक्षा के लिए कई सुरक्षा इंटरलॉक और उपकरण | ||||||
| शीतलन | ठंडा पानी | ||||||
| विद्युत विद्युत | 480V / 3 चरणों / 60 हर्ट्ज (अमरीका अनुपालन) | ||||||
| 460 वी / 3 चरणों / 50 हर्ट्ज (एशिया अनुरूप) | |||||||
| 380 वी / 3 चरणों / 50 एचजेड (ईयू-सीई अनुपालन) | |||||||
| पदचिह्न | L3000 * W3000 * H2000mm | ||||||
| कुल वजन | 7.0 टी | ||||||
| पदचिह्न | (एल * डब्ल्यू * एच) 5000 * 4000 * 4000 मिमी | ||||||
| समय चक्र | 30 ~ 40 मिनट (सब्सट्रेट सामग्री के आधार पर, सब्सट्रेट ज्यामिति और पर्यावरण की स्थिति) | ||||||
| बिजली अधिकतम .. | 110KW | ||||||
| औसत बिजली की खपत (एप्रेक्ट।) | 50 किलोवाट | ||||||
कॉपर सर्किट बोर्ड टीएन पीवीडी कोटिंग नमूना
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