पीवीडी एमएफ मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग मशीन, एमएफ स्पटरिंग सिस्टम, टीआईएन एमएफ स्पटरिंग डिपोजिशन यूनिट
MF Mangetron Sputtering Coater RT1215-SPMF तांबा, एल्यूमुनियम, प्लास्टिक, धातु सर्किट बोर्ड प्रवाहकीय फिल्म परत चढ़ाना के लिए d esign है। यह सब्सट्रेट पर नैनो पतली फिल्म को गाढ़ा कर सकता है। Ag sputtering को छोड़कर, यह Ni, Au, Ag, Al, Cr, SS316L भी जमा कर सकता है।
RTSP1215-MF मशीन चैम्बर पर MF स्पटरिंग कैथोड के 2 जोड़े और PVD फिल्म डिपॉजिट से पहले प्लाज्मा बमबारी सफाई के लिए एनोड लेयर आयन स्रोत का 1 सेट के साथ स्थापित किया गया है।
आयन स्रोत गेनकोआ कंपनी से मूल है, गुण:
1. मानक स्पटरिंग दबावों पर एक collimated प्लाज्मा बीम का उत्पादन करने के लिए अनुकूलित चुंबकीय क्षेत्र
2. निरंतर चालू और वोल्टेज बनाए रखने के लिए गैस के लिए स्वचालित विनियमन - मल्टी-गैस ऑटो नियंत्रण
3. सब्सट्रेट को संदूषण से बचाने और लंबे जीवन वाले घटक प्रदान करने के लिए ग्रेफाइट एनोड और कैथोड
4. सभी आयन स्रोतों पर आरएफ मानक विद्युत इन्सुलेशन
5. एनोड और कैथोड के सीधे शीतलन में - भागों के त्वरित स्विचिंग
6. कम वोल्टेज ऑपरेशन, या एक केंद्रित बीम के लिए कई चुंबकीय जाल प्रदान करने के लिए कैथोड भागों का आसान स्विचिंग
7. वोल्टेज सभी समय पर एक ही वर्तमान बनाए रखने के लिए गैस समायोजन प्रतिक्रिया के साथ बिजली की आपूर्ति को विनियमित किया
RTSP1215-MF एमएफ स्पटरिंग कोटिंग उपकरण लेआउट
RTSP1215-MF एमएफ स्पटरिंग कोटिंग उपकरण अनुप्रयोग:
1. सब्सट्रेट पर उपलब्ध: प्लास्टिक, पॉलिमर, ग्लास और सिरेमिक शीट, स्टेनलेस स्टील, कॉपर शीट, एल्यूमीनियम बोर्ड आदि।
2. नैनो फिल्म बनाने के लिए जैसे: टीआईएन, टीआईसी, टीआईएनएन, सीआर, सीआरसी, सीआरएन, क्यूई, एजी, एयू, नी, अल आदि।
RT1215-SPMF एमएफ स्पटरिंग कोटिंग उपकरण डिजाइन विशेषताएं:
1. सीमित कमरे की जगह के लिए, मजबूत डिजाइन
2. रखरखाव और मरम्मत के लिए आसान पहुँच
3. उच्च उपज के लिए फास्ट पंपिंग सिस्टम
4. CE मानक विद्युत बाड़े, उल मानक भी उपलब्ध है।
5. सटीक निर्माण कारीगरी
6. उच्च गुणवत्ता की फिल्म निर्माण की गारंटी के लिए स्थिर चल रहा है।
सिलेंडर या प्लेनर एमएफ स्पटरिंग मशीन काम करने की स्थिति
RT1215-SPMF एमएफ स्पटरिंग कोटिंग उपकरण विनिर्देशों:
| आदर्श | RT1215-SPMF |
| सामग्री | स्टेनलेस स्टील (S304) |
| चैंबर आकार | Φ1200 * 1500 मिमी (एच) |
| चैंबर प्रकार | 1-दरवाजा संरचना, ऊर्ध्वाधर |
| एकल पंप पैकेज | रोटरी वेनवैक्यूम पंप |
| जड़ें वैक्यूम पंप | |
| चुंबकीय सस्पेंशन आणविक पंप | |
| दो चरण रोटरी फलक वैक्यूम पंप | |
| प्रौद्योगिकी | एमएफ मैग्नेट्रोन स्पटरिंग, रैखिक आयन स्रोत |
| बिजली की आपूर्ति | स्पटरिंग पावर सप्लाई + बायस पावर सप्लाई + आयन सोर्स |
| डिपॉजिटेशन स्रोत | 2 जोड़े एमएफ स्पटरिंग कैथोड्स + आयन स्रोत |
| नियंत्रण | पीएलसी + टच स्क्रीन |
| गैस | गैस मास फ्लो मीटर (Ar, N2, C2H2, O2) आर्गन, नाइट्रोजन और एथीन, ऑक्सीजन |
| सुरक्षा तंत्र | ऑपरेटरों और उपकरणों की सुरक्षा के लिए कई सुरक्षा इंटरलॉक |
| शीतलन | ठंडा पानी |
| सफाई | ग्लो डिस्चार्ज / आयन स्रोत |
| पावर मैक्स। | 120KW |
| एवरेज पावर कंसम्पशन | 70kW |
अधिक विनिर्देशों के लिए कृपया हमसे संपर्क करें, रॉयल टेक्नोलॉजी आपको कुल कोटिंग समाधान प्रदान करने के लिए सम्मानित है।
