PVD पतली फिल्म बयान प्रणाली स्पटरिंग और थर्मल वाष्पीकरण वैक्यूम कोटिंग उच्च उत्पादकता PVD कोटिंग मशीन

पीवीडी पतला फिल्म जमा प्रणाली स्पटरिंग और थर्मल वाष्पीकरण वैक्यूम कोटिंग उपकरण

पीवीडी पतला फिल्म जमा प्रणाली, स्पटरिंग और थर्मल वाष्पीकरण वैक्यूम कोटिंग उपकरण

पीवीडी पतला फिल्म जमा प्रणाली में टंगस्टन फिलामेंट वाष्पीकरण स्रोत और डीसी मैग्नेट्रॉन स्पटर स्रोतों के आरओएस स्रोत शामिल हैं (आरएफ स्पटरिंग कैथोड विकल्प के लिए हैं)। इस उपकरण का ज्यादातर प्लास्टिक भागों, कांच, धातु या फोइल पर पतली फिल्मों को जमा करने वाली सामग्री के साथ जमा किया जाता है जैसे शुद्ध धातु अल, सीआर, सीयू, एजी, औ, टीआई आदि। उत्पादों पर उच्च प्रतिबिंबित पतली फिल्मों को प्राप्त करने के लिए आम तौर पर वाष्पीकरण स्रोत सतह या प्रवाहकीय फिल्मों, या एक धातु दृष्टिकोण छवि दे। इसके अलावा, स्पटरिंग स्रोत अर्धचालक पदार्थों और पारदर्शी प्रवाहकीय ऑक्साइड इत्यादि सहित ढांकता हुआ विस्तृत श्रृंखला का मिश्रण करते हैं।

पीवीडी पतला फिल्म जमा प्रणाली विन्यास:

प्रदर्शन

1. परम वैक्यूम दबाव: 5.0 × 10 ^-6 Torr से बेहतर ।

2. ऑपरेटिंग वैक्यूम दबाव: 1.0 × 10 ^-4 Torr।

3. 1 एटीएम से 1.0 × 10 ^-4 Torr≤3 मिनट (कमरे का तापमान, शुष्क, साफ और खाली कक्ष) से समय पंप करना

4. धातुकरण सामग्री (वाष्पीकरण): अल, सीआर, एसएन, टीआई, एसएस, सीयू ... आदि

5. ऑपरेटिंग मॉडल: पूर्ण स्वचालित / अर्द्ध-ऑटो / मैन्युअल रूप से

एल संरचना

वैक्यूम कोटिंग मशीन में नीचे सूचीबद्ध कुंजी पूर्ण प्रणाली शामिल है:

1. वैक्यूम चैम्बर
1.1 आकार: आंतरिक व्यास 1600 मिमी

आंतरिक ऊंचाई 1600 मिमी

1.2 सामग्री: वैक्यूम चेम्बर SUS304 (विकल्प के लिए एसएस 41 हल्के स्टील)

दरवाजा और flanges SUS304 (विकल्प के लिए एसएस 41 हल्के स्टील)

चैम्बर मजबूत संरचना: एसएस 41 हल्के स्टील, चित्रित परिष्करण सतह उपचार के साथ।

चित्रित परिष्करण सतह उपचार के साथ चैम्बर चेसिस एसएस 41 हल्के स्टील।

1.3 शील्ड: एसयूएस 304

  1.4 विंडो देखें: कक्ष के दरवाजे पर

सिलेंसर सहित 1.5 वैक्यूम चेम्बर वेंटिंग वाल्व

1.6 दरवाजा SUS304 सामग्री

2. रूहिंग वैक्यूम पंपिंग सिस्टम

3. उच्च वैक्यूम पंपिंग सिस्टम

4. विद्युत नियंत्रण और संचालन प्रणाली- पीएलसी + टच स्क्रीन

4.1 मुख्य सर्किट: श्रृंखला प्रकार में कोई भी-फ्यूज ब्रेकर स्विच, विद्युत चुम्बकीय स्विच, सी / टी

4.2 वाष्पीकरण शक्ति: 35 केवीए

4.3 वाष्पीकरण नियंत्रण प्रणाली

4.4 ऑपरेशन सिस्टम: टच स्क्रीन + पीएलसी, नुस्खा नियंत्रण और डेटा लॉगिंग, ऑटो शट डाउन, ऑटो निकासी, ऑटो कोटिंग

4.5 वैक्यूम दबाव मापने प्रणाली

वैक्यूम गेज: पिरानी + पेनिंग गेज

थर्माकोउपल गेज: 760 Torr ~ 5 * 10 ^-4 Torr

4.6 अलार्म सिस्टम: संपीड़ित वायु दाब, शीतलन जल प्रवाह, गलत ऑपरेशन

4.7 पावर लोड इंडिकेटर: वोल्टेज सूचक और लोड वर्तमान सूचक

5. जमा प्रणाली

5.1 टंगस्टन फिलामेंट वाष्पीकरण स्रोत

5.2 थर्मल वाष्पीकरण सामग्री: तार, छल्ले, छड़ आदि

5.3 स्पटर स्रोत (डीसी / एमएफ पावर संचालित)

6. उप-प्रणाली

6.1 एयर संपीड़ित वाल्व नियंत्रण प्रणाली

6.2 शीतलक जल प्रणाली - जल प्रवाह पाइप और स्विच वाल्व प्रणाली

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