उच्च प्रदर्शन वैक्यूम धातु जमाव उपकरण, थर्मल क्रूसिबल द्वारा सीएसआई वैक्यूम मेटलाइज़र
कीवर्ड: उच्च संकल्प, सीएसआई: टी1;पतली जगमगाती फिल्में;एक्स-रे इमेजिंग;वैक्यूम जमा करने की विधि, कार्बन परत जमा करने के बाद
एक्स-रे इमेजिंग उपकरणों के लिए सीएसआई पतली फिल्म बयान उच्च गुणवत्ता वाली इमेजिंग देने के लिए स्क्रीन पर सीएसआई को वाष्पित करने की एक उन्नत तकनीक है।अपने उच्च संकल्प प्रदर्शन के साथ, सुरक्षा जांच और निरीक्षण, उच्च ऊर्जा भौतिकी विषयों, परमाणु ऊर्जा क्षेत्रों के भौतिकी आदि में भी व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।
उच्च वैक्यूम दबाव वातावरण में एक्स-रे इमेजिंग पर सीएसआई फिल्म बयान के लिए RTEP0913 थर्मल वाष्पीकरण कोटिंग सिस्टम विकसित किया गया था।CsI T1 स्किन्टिलेटर्स की मोटाई 2 माइक्रोन से लेकर 14 माइक्रोन तक होती है।उच्च संकल्पों में सुधार के लिए कार्बन परत फिल्म को पोस्ट-डिपोजिशन के रूप में माना जा सकता है।
सीज़ियम आयोडाइड (सीएसआई टी1) शून्य स्थान निक्षेप प्रदर्शन और लक्षण वर्णन
प्रकार:
मैंलंबवत अभिविन्यास, सिलेंडर, 1-दरवाजा, सामने खोलना।
डिज़ाइनविशेषताएं:
मैंअल्ट्रा-उच्च परम वैक्यूम दबाव: 9.0 * 10 . तक-5पा;
मैंएक अच्छे आसंजन के लिए उपकरणों को तेजी से गर्म करना;
मैं उचित उच्च वैक्यूम पंप चयन और खतरनाक सामग्री से बचने के लिए पम्पिंग प्रणाली हवा में उजागर;
मैंमजबूत, कॉम्पैक्ट और ठोस कोटिंग प्रणाली;
मैंउच्च स्थिरता, बिना रुके 960 घंटे काम करना।
मैंफिल्म मोटाई इनलाइन की निगरानी के लिए इंफिकॉन फिल्म मोटाई नियंत्रक डिवाइस।
मैंसीएसआई बयान के लिए विशेष रूप से क्रूसिबल डिजाइन और चयन।
मैंसब्सट्रेट कोटिंग, मैक्स।आकार: 500 * 500 मिमी
मैंउन्नत रैक डिजाइन अवधारणाएं प्रति बैच 2 टुकड़े सबस्ट्रेट्स लोड कर सकती हैं, उत्पादन उत्पादन को अत्यधिक बढ़ा सकती हैं।
तकनीकी निर्देश:
मैंप्रदर्शन
1.परम शून्य स्थान दबाव: से बेहतर 9.0*10-5पा;
2.ऑपरेटिंग वैक्यूम दबाव: 6.0*10-4देहात~9.0*10-4पा;
बेस वैक्यूम दबाव: 3.0*10-4देहात
3. पम्पिंग डाउन टाइम: 1 बजे से . तक 2.0×10-3 देहातमैं25मिनट (कमरे का तापमान, सूखा, साफ और खाली कक्ष)
4. बयान स्रोत: क्वार्ट्ज क्रूसिबल थर्मल वाष्पीकरण
5. ऑपरेटिंग मॉडल:पूर्ण ऑटोतार्किक रूप से /अर्द्ध ऑटो/मैन्युअल रूप से
6. ताप: कमरे के तापमान से अधिकतम तक।1000 ℃,
टीएफटी ग्लास सब्सट्रेट हीटिंग समय: 0 ~ 250 ℃ <40 मिनट से;
7. सीएसआई जमा दर: 0～100 एनएम / सेकंड
8. सीएसआई: टी 1 फिल्म मोटाई: 600μm . तक
मैंसंरचना
वैक्यूम कोटिंग मशीन में नीचे सूचीबद्ध मुख्य पूर्ण प्रणाली शामिल है:
1. वैक्यूम चैंबर
1.1 आकार: भीतरी व्यास 900मिमी
भीतरी ऊंचाई: 1300 मिमी
1.2सामग्री: वैक्यूम चैंबर SUS304
दरवाजा और निकला हुआ किनारा SUS304
चैंबर मजबूत संरचना: SS41 हल्के स्टील, चित्रित परिष्करण सतह के उपचार के साथ।
पेंटेड फिनिशिंग सरफेस ट्रीटमेंट के साथ चेंबर चेसिस SS41 माइल्ड स्टील।
1.3 वाष्पीकरण शूआईल्ड: एसयूएस304
1.4 विंडो देखें: परकक्ष का दरवाजा
1.5 वैक्यूम चैंबर वेंटिंग वाल्व (साइलेंसर सहित)
1.6 द्वार: SUS304 सामग्री
2. रौघिंग वैक्यूम पम्पिंग सिस्टम:
तेल रोटरी फलक वैक्यूम पंप + जड़ पंप (जर्मनी फ़िफ़र)
3.उच्च वैक्यूम पम्पिंग सिस्टम:
चुंबकीय निलंबन आणविक पंप (जर्मनी फ़िफ़र)
4. विद्युत नियंत्रण और संचालन प्रणाली- पीएलसी+ टच स्क्रीन
4.1 एमऐन सर्किट: कोई नहीं-फ्यूज ब्रेकर स्विच, विद्युत चुम्बकीयस्विच, श्रृंखला प्रकार में सी/टी
4.2 वाष्पीकरण शक्ति
4.3 वाष्पीकरण नियंत्रण प्रणाली
4.4ऑपरेशन सिस्टम: टच स्क्रीन +पीएलसी, नुस्खा नियंत्रण और डेटा लॉगिंग, ऑटो शटडाउन, ऑटो निकासी, ऑटो कोटिंग
4.5 मापने प्रणाली
वैक्यूम दबाव : वैक्यूम गेज: पिरानी + पेनिंग गेज + फुल रेंज वैक्यूम गेज
तापमान मापने का उपकरण: थर्मोकपल
फिल्म मोटाई नियंत्रक: इंफिकॉन ब्रांड, एसक्यूसी-310
4.6 अलार्म सिस्टम: संपीड़ित हवा का दबाव , शीतल जल प्रवाह, गलत-कार्यवाही
4.7 पावर लोड इंडिकेटर: वोल्टेज इंडिकेटर और लोड करंट इंडिकेटर
5.जमा प्रणाली
5.1 जमाव स्रोत: क्वार्ट्ज क्रूसिबल
5.2 जमा सामग्री: सीएसआई, कार्बन
6. उप-प्रणाली
6.1 वायु संपीडित वाल्व नियंत्रण प्रणाली
6.2 शीतलक जल प्रणाली: जल प्रवाह पाइप और स्विच वाल्व प्रणाली
काम का माहौल
संपीड़ित हवा: 5 ~ 8 किग्रा / सेमी 2
ठंडा पानी: पानी में तापमान: 20 ~ 25 ℃, 200 लीटर / मिनट,
पानी में दबाव: 2 ~ 3 किग्रा / सेमी 2,
पावर: 3 चरण 380V 50 हर्ट्ज (60 हर्ट्ज), 65केवीए, औसत बिजली की खपत: 30KW
स्थापना क्षेत्र: (एल * डब्ल्यू * एच) 3000*200*2300 मिमी
निकास: वेंट फॉर यांत्रिक पंपएस
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