हाइड्रोफोबिक संरचना फिल्म, PECVD स्पटरिंग मशीन के लिए उच्च घनत्व मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग डिपोजिशन सिस्टम

अनुप्रयोगों:

आरटीएसपी 1213 मशीन एक बैच मॉडल स्पटरिंग सिस्टम है, धातु और गैर-धातु सामग्री सबस्ट्रेट्स पर विभिन्न हार्ड कोटिंग्स, सॉफ्ट कोटिंग्स, कंपाउंड फिल्में और ठोस लुब्रिकेटिंग फिल्मों को जमा कर सकती है। हाइड्रोजन ईंधन सेल वाहनों, फोटोनिक्स उत्पादों, एयरोस्पेस और अन्य नए ऊर्जा उद्योगों के उद्योगों के लिए लागू।

गुण:

सतह की चालकता में सुधार करने के लिए;

उच्च संक्षारण प्रतिरोध;

उच्च पहनने का प्रतिरोध;

उच्च कठोरता

हाइड्रोफोबिक रचना फिल्म और अन्य कार्यात्मक फिल्मों

यौगिक कोटिंग्स के लिए उपलब्ध: धातु और गैर-धातु फिल्में।

फिल्म मोटाई रेंज 100 एनएम से 12μm तक, मोटाई सहिष्णुता ± 5%
मजबूत आसंजन।

कम tempering भागों सतह सख्त उपचार।

प्रकार:

लंबवत अभिविन्यास, पॉलीहेड्रॉन संरचना, 2-दरवाजे (सामने और पीछे)

विशेषताएं:

• पर्यावरण के अनुकूल प्रणाली, कोई औद्योगिक अपशिष्ट जल, वायु और शोर प्रदूषण;
• आसान ऑपरेशन: टच स्क्रीन + पीएलसी नियंत्रण और एक स्पर्श ऑपरेशन के लिए अद्वितीय सॉफ्टवेयर प्रोग्राम, 80% से अधिक परेशानी शूटिंग अलार्म।
• 10 प्रसंस्करण व्यंजनों लॉगिन और बैकअप तक; उच्च दोहराव और विविधता।
• फिल्म जमावट की उच्च समानता के लिए कैरोसेल प्रणाली का विशेष डिजाइन।
• उच्च उत्पादकता और उच्च गुणवत्ता
• स्थिर और भरोसेमंद प्रणाली, 365 दिन * 24 घंटे चल रही है (रखरखाव और मरम्मत तोड़ने का समय)
• क्षमता पंपिंग प्रणाली: प्रसिद्ध यूरोप ब्रांड पंप के साथ अधिकतम पाइपिंग गति के लिए छोटी वैक्यूम पाइपिंग लाइनें
• कॉम्पैक्ट डिज़ाइन न्यूनतम स्थापना स्थान पर कब्जा करता है।

तकनीकी निर्देश

• प्रदर्शन

1. अंतिम वैक्यूम दबाव: 8.0 * 10 ^-5 Pa से बेहतर;

• बेस वैक्यूम दबाव: 3.0 * 10 ^{- 4} पा

3. समय नीचे पंप: एटीएम से 1.0 × 10 ^{- 3} Pa≤15 मिनट (कमरे का तापमान, शुष्क, साफ और खाली कक्ष)

4. जमा स्रोत: संतुलित / असंतुलित स्पटरिंग कैथोड

5. ऑपरेटिंग मॉडल: पूर्ण स्वचालित / अर्द्ध-ऑटो / मैन्युअल रूप से

6. ताप: कमरे के तापमान से अधिकतम तक। 450 ℃,

7. प्लाज्मा सफाई और प्लाज्मा जमा करने में सहायता: एनोड रैखिक आयन स्रोत

8. चुंबकीय बंद - लूप दायर किया। (असंतुलन / बैलेंस कैथोड)

9. चमक निर्वहन के लिए बाईस बिजली की आपूर्ति।

• संरचना

वैक्यूम कोटिंग मशीन में नीचे सूचीबद्ध कुंजी पूर्ण प्रणाली शामिल है:

1. वैक्यूम चैम्बर
1.1 आकार: आंतरिक व्यास 1200 मिमी

आंतरिक ऊंचाई: 1300 मिमी

1.2 सामग्री: वैक्यूम चेम्बर SUS304

दरवाजा और flanges SUS304

चैम्बर मजबूत संरचना: एसएस 41 हल्के स्टील, चित्रित परिष्करण सतह उपचार के साथ।

चित्रित परिष्करण सतह उपचार के साथ चैम्बर चेसिस एसएस 41 हल्के स्टील।

1.3 स्पटरिंग शील्ड: एसयूएस 304

1.4 विंडो देखें: चैम्बर दरवाजे पर - 4 सेट (प्रत्येक दरवाजे पर 2)

1.5 वैक्यूम चेम्बर वेंटिंग वाल्व (सिलेंसर सहित)

1.6 दरवाजा: SUS304 सामग्री

2. रूउ गिंग वैक्यूम पंपिंग सिस्टम :

तेल रोटरी वैन वैक्यूम पंप + रूट्स पंप + होल्डिंग पंप (लेबॉल्ड)

3. उच्च वैक्यूम पंपिंग सिस्टम :

चुंबकीय निलंबन आण्विक पंप (लेबॉल्ड)

• गेट वाल्व - 2 सेट

4. विद्युत नियंत्रण और संचालन प्रणाली - पीएलसी + टच स्क्रीन

4.1 मुख्य सर्किट: श्रृंखला प्रकार में कोई भी-फ्यूज ब्रेकर स्विच, विद्युत चुम्बकीय स्विच, सी / टी

4.2 स्पटरिंग बिजली की आपूर्ति + आयन स्रोत बिजली की आपूर्ति + बाईस बिजली की आपूर्ति (उन्नत ऊर्जा)

4.3 जमावट नियंत्रण प्रणाली sputtering

4.4 ऑपरेशन सिस्टम: टच स्क्रीन + पीएलसी, नुस्खा नियंत्रण और डेटा लॉगिंग, ऑटो शट डाउन, ऑटो निकासी, ऑटो कोटिंग

4.5 मापने प्रणाली

वैक्यूम दबाव: वैक्यूम गेज: पिरानी + पेनिंग गेज + पूर्ण रेंज वैक्यूम गेज - यूरोप ब्रांड

तापमान मापने डिवाइस: थर्माकोउपल
एमएफसी: मास फ्लो कंट्रोलर (4 तरीके), डिजिटल डिस्प्ले मोड - यूरोप ब्रांड

4.6 अलार्म सिस्टम: संपीड़ित वायु दाब, शीतलन जल प्रवाह, गलत ऑपरेशन

4.7 पावर लोड इंडिकेटर: वोल्टेज सूचक और लोड वर्तमान सूचक

5 । जमा प्रणाली

5.1 जमा स्रोत: स्पटरिंग कैथोड, आयन स्रोत - यूरोप ब्रांड

5.2 जमा सामग्री: कार्बन लक्ष्य

6. उप-प्रणाली

6.1 एयर संपीड़ित वाल्व नियंत्रण प्रणाली

6.2 शीतलन जल प्रणाली: जल प्रवाह पाइप और स्विच वाल्व प्रणाली

7. कार्य पर्यावरण

संपीड़ित वायु: 5 ~ 8 किलो / सेमी 2

ठंडा पानी: पानी में तापमान: 20 ~ 25 ℃, 200 लीटर / मिनट,
पानी में दबाव: 2 ~ 3 किलो / सेमी 2,

पावर: 3 चरण 380V 50 हर्ट्ज (60 हर्ट्ज), 75 केवीए, औसत बिजली की खपत: 40 किलोवाट

स्थापना क्षेत्र: (एल * डब्ल्यू * एच) 3000 * 4000 * 3200 मिमी

निकास: यांत्रिक पंप के लिए वेंट

अधिक विनिर्देशों के लिए कृपया हमसे संपर्क करें, रॉयल टेक्नोलॉजी को आपको कुल कोटिंग समाधान प्रदान करने के लिए सम्मानित किया जाता है।