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| ब्रांड नाम: | ROYAL |
| मॉडल संख्या: | RTAC-एसपी |
| एमओक्यू: | 1 सेट |
| कीमत: | विनिमय योग्य |
| भुगतान की शर्तें: | एल / सी, डी / ए, डी / पी, टी / टी |
| आपूर्ति करने की क्षमता: | प्रति माह 12 सेट |
सिल गोल्डन वेफर्स, ग्लास स्लाइड, सिरेमिक शीट्स पर औ गोल्ड मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीन
सिलिकॉन वेफर्स पर एयू गोल्ड मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग
सारांश:
सोना स्पटरिंग परत विशेषताएं:
1. सब्सट्रेट और धातु फिल्म आसंजन को बढ़ाने के लिए बाध्यकारी परत आवश्यक है। रॉयल टेक्नोलॉजी ने विभिन्न अनुप्रयोगों के आधार पर परिपक्व कोटिंग व्यंजनों की एक श्रृंखला विकसित की है, पेशेवर सलाह के साथ अपने ग्राहकों का समर्थन करते हैं।
2. खुरदरापन (आरएमएस - रूट मतलब वर्ग) <40Å अधिकांश अनुप्रयोगों के लिए अपेक्षित है। कुछ स्कैनिंग जांच अनुप्रयोगों के लिए कम मोटापा की आवश्यकता हो सकती है, आमतौर पर 1.5 ~ 4 एनएम।
4. गोल्ड स्पटरिंग परत सतह शुद्धता: उन अनुप्रयोगों के लिए एक स्वच्छ सतह की आवश्यकता होती है जो सोने की सतह में संशोधन को लागू करते हैं। उपयोग की जाने वाली पीवीडी प्रक्रिया के आधार पर, प्रणाली में वैक्यूम का स्तर, सोने के स्रोत की मूल शुद्धता (आमतौर पर 99.99% से अधिक)
कीवर्ड: औ गोल्ड नैनो-स्ट्रक्चर पतली फिल्म जमावट, गोल्ड पतली फिल्म मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग, पीवीडी सोना स्पटरिंग, गोल्ड वैक्यूम मेटालाइजिंग सिस्टम
अनुप्रयोगों:
विश्वविद्यालयों की प्रयोगशाला, धातु सामग्री के आर एंड डी विभाग विनिर्माण, पीवीडी वैक्यूम कोटिंग सेवा केंद्र, ज्यादातर इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में प्रवाहकीय परत और माइक्रोस्कोप नमूने आदि के लिए विज्ञान के रूप में उपयोग किया जाता है।
तकनीकी निर्देश:
| आदर्श | RTAC0808-एसपी |
| प्रौद्योगिकी | डीसी स्पटरिंग + आयन स्रोत (विकल्प के लिए) |
| सामग्री | स्टेनलेस स्टील (एस 304) |
| चैंबर आकार | Φ800 * H800mm |
| चैंबर प्रकार | सिलेंडर, ऊर्ध्वाधर, 1-दरवाजा |
| रोटरी रैक सिस्टम | ग्रह / केंद्रीय ड्राइविंग |
| जमा सामग्री | सोने, एल्यूमीनियम, चांदी, कॉपर, क्रोम, स्टेनलेस स्टील, निकल, टाइटेनियम |
| जमा स्रोत | बेलनाकार / प्लानर स्पटरिंग कैथोड्स: विकल्प के लिए 2 या 3। + 3 आर्क स्रोत |
| प्रतिक्रियात्मक गैस नियंत्रण | एमएफसी, 2/4 तरीके |
| नियंत्रण | पीएलसी (प्रोग्राम करने योग्य तर्क नियंत्रक) + टच स्क्रीन |
| पंप प्रणाली | एसवी 300 बी - 1 सेट (लेबॉल्ड) 300 एम³ / घंटा |
| रूट्स पंप - 1 सेट, 150 एल / एस | |
| होल्डिंग पंप - 1 सेट, 60 एम³ / घंटा | |
| टर्बो आण्विक पंप: - 1 सेट, 3500 एल / एस | |
| बिजली की आपूर्ति | बाईस बिजली की आपूर्ति: 1 * 24 किलोवाट डीसी स्पटरिंग पावर: 2 * 24 किलोवाट |
| सुरक्षा तंत्र | ऑपरेटरों की रक्षा के लिए कई सुरक्षा interlocks और उपकरण |
| शीतलन | रीसायकल शीतलन पानी |
| गरम करना | हीटर, 9 किलोवाट |
| बिजली विद्युत | 480V / 3 चरण / 60 हर्ट्ज (यूएसए अनुपालन) |
| 460 वी / 3 चरण / 50 हर्ट्ज (एशिया अनुपालन) | |
| 380V / 3 चरण / 50 हर्ट्ज (ईयू-सीई अनुपालन) | |
| पदचिह्न | L3200 * W2600 * H2000mm |
| कुल वजन | 3.0 टी |
| समय चक्र | 30 ~ 40 मिनट (सब्सट्रेट सामग्री के आधार पर, सब्सट्रेट ज्यामिति और पर्यावरण की स्थिति) |
| पावर मैक्स .. | 50KW |
| औसत बिजली कंसम्प्शन (APPROX।) | 20KW |
पीवीडी गोल्ड चढ़ाना वेफर्स
अधिक विनिर्देशों के लिए कृपया हमसे संपर्क करें, रॉयल टेक्नोलॉजी को आपको कुल कोटिंग समाधान प्रदान करने के लिए सम्मानित किया जाता है।
