अनुप्रयोग:
RTSP1213 मशीन एक बैच मॉडल स्पटरिंग सिस्टम है, जो धातु और गैर-धातु सामग्री सबस्ट्रेट्स पर विभिन्न हार्ड कोटिंग्स, नरम कोटिंग्स, मिश्रित फिल्मों और ठोस चिकनाई फिल्मों को जमा कर सकता है। मोज़ेक के लिए लागू, हाइड्रोजन ईंधन सेल वाहनों, फोटोनिक्स उत्पादों, एयरोस्पेस और अन्य नए ऊर्जा उद्योगों के उद्योग।
गुण:
सतह की चालकता में सुधार करने के लिए;
उच्च संक्षारण प्रतिरोध;
उच्च पहनने के प्रतिरोध;
उच्च कठोरता
हाइड्रोफोबिक रचना फिल्म और अन्य कार्यात्मक फिल्में
यौगिक कोटिंग्स के लिए उपलब्ध: धातु और गैर-धातु फिल्में।
फिल्म मोटाई 100nm से 12μm तक, मोटाई सहिष्णुता nm 5%
मजबूत आसंजन।
कम तड़के भागों सतह सख्त उपचार।
प्रकार:
ऊर्ध्वाधर अभिविन्यास, पॉलीहेड्रॉन संरचना, 2-दरवाजे (आगे और पीछे)
विशेषताएं:
तकनीकी निर्देश
1. परम वैक्यूम दबाव: 8.0 * 10 -5 पा से बेहतर;
3. नीचे पंप समय: atm से 1.0 × 10 - 3 Pa minutes15 मिनट (कमरे का तापमान, सूखा, साफ और खाली कक्ष)
4. बयान स्रोत: संतुलित / असंतुलित स्पटरिंग कैथोड
5. ऑपरेटिंग मॉडल: पूर्ण स्वचालित / अर्ध-ऑटो / मैन्युअल रूप से
6. हीटिंग: कमरे के तापमान से अधिकतम तक। 450 ℃,
7. प्लाज्मा सफाई और प्लाज्मा सहायता बयान: एनोड रैखिक आयन स्रोत
8. चुंबकीय बंद - लूप दायर किया गया। (असंतुलन / संतुलन कैथोड)
9. ग्लो डिस्चार्जिंग के लिए बायस पावर सप्लाई।
वैक्यूम कोटिंग मशीन में नीचे सूचीबद्ध कुंजी पूर्ण प्रणाली शामिल है:
1. वैक्यूम चैंबर
1.1 आकार: भीतरी व्यास 1200 मिमी
इनर ऊंचाई: 1300 मिमी
1.2 सामग्री: वैक्यूम चैंबर SUS304
दरवाजा और flanges SUS304
चैंबर संरचना को मजबूत: SS41 हल्के स्टील, चित्रित परिष्करण सतह के उपचार के साथ।
चैंबर चेसिस SS41 हल्के स्टील के साथ चित्रित परिष्करण सतह के उपचार।
1.3 स्पटरिंग शील्ड: SUS304
1.4 देखें विंडो: चैम्बर के दरवाजे पर - 4 सेट (प्रत्येक दरवाजे पर 2)
1.5 वैक्यूम चैंबर वेंटिंग वाल्व (साइलेंसर सहित)
1.6 दरवाजा: SUS304 सामग्री
2. आरओ ghing वैक्यूम पंप प्रणाली :
तेल रोटरी फलक वैक्यूम पंप + रूट पंप + होल्डिंग पंप (लेबॉल्ड)
3. उच्च वैक्यूम पंप प्रणाली :
चुंबकीय सस्पेंशन आणविक पंप (लेबॉल्ड)
4. विद्युत नियंत्रण और संचालन प्रणाली - पीएलसी + टच स्क्रीन
4.1 मुख्य सर्किट: कोई भी-फ्यूज ब्रेकर स्विच, विद्युत चुम्बकीय स्विच, श्रृंखला प्रकार में सी / टी
4.2 स्पटरिंग पावर सप्लाई + आयन सोर्स पावर सप्लाई + बायस पावर सप्लाई (एडवांस्ड एनर्जी)
४.३ स्पटरिंग डिपोजिशन कंट्रोल सिस्टम
4.4 ऑपरेशन सिस्टम: टच स्क्रीन + पीएलसी, नुस्खा नियंत्रण और डेटा लॉगिंग, ऑटो शटडाउन, ऑटो निकासी, ऑटो कोटिंग
4.5 मापने की प्रणाली
वैक्यूम दबाव: वैक्यूम गेज: पिरानी + पेनिंग गेज + पूरी रेंज वैक्यूम गेज - यूरोप ब्रांड
तापमान मापने वाला उपकरण: थर्मोकपल
MFC: मास फ्लो कंट्रोलर (4 तरीके), डिजिटल डिस्प्ले मोड-- यूरोप ब्रांड
4.6 अलार्म सिस्टम: संपीड़ित हवा का दबाव, ठंडा पानी का प्रवाह, मिस-ऑपरेशन
4.7 पावर लोड संकेतक: वोल्टेज संकेतक और वर्तमान संकेतक लोड करें
५ । डिपोजिशन सिस्टम
५.१ निक्षेपण स्रोत: स्पैटरिंग कैथोड, आयन स्रोत - यूरोप ब्रांड
5.2 जमा सामग्री: कार्बन लक्ष्य
6. उप-प्रणाली
6.1 एयर कम्प्रेस्ड वाल्व कंट्रोल सिस्टम
6.2 शीतलन जल प्रणाली: जल प्रवाह पाइप और स्विच वाल्व प्रणाली
7. काम का माहौल
संपीड़ित हवा: 5 ~ 8 किग्रा / सेमी 2
ठंडा पानी: पानी में तापमान: 20 ~ 25 ℃, 200 लीटर / मिनट,
पानी में दबाव: 2 ~ 3 kg / cm2,
पावर: 3 चरण 380V 50 हर्ट्ज (60 हर्ट्ज), 75kVA, औसत बिजली की खपत: 40KW
स्थापना क्षेत्र: (एल * डब्ल्यू * एच) 3000 * 4000 * 3200 मिमी
निकास: यांत्रिक पंपों के लिए वेंट
अधिक विनिर्देशों के लिए कृपया हमसे संपर्क करें, रॉयल टेक्नोलॉजी आपको कुल कोटिंग समाधान प्रदान करने के लिए सम्मानित है।