डीसी प्योर मेटल मैग्नेट्रोन स्पटरिंग डिपोजिशन मशीन, कॉपर / सिल्वर / गोल्ड / ग्रेफाइट अल्ट्रा थिन फिल्म डिपोशन मशीन

प्रदर्शन

1. परम वैक्यूम दबाव: 5.0×10 . से बेहतर^-6टोर.

2. ऑपरेटिंग वैक्यूम प्रेशर: 1.0×10^-4टोर.

3. पम्पिंगडाउन समय: 1 बजे से 1.0×10 . तक^-4Torr≤ 3 मिनट (कमरे का तापमान, सूखा, साफ और खाली कक्ष)

4. धातुकरण सामग्री (स्पटरिंग + आर्क वाष्पीकरण): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr आदि।

5. ऑपरेटिंग मॉडल: पूर्ण स्वचालित रूप से / अर्ध-ऑटो / मैन्युअल रूप से

संरचना

वैक्यूम कोटिंग मशीन में नीचे सूचीबद्ध मुख्य पूर्ण प्रणाली शामिल है:

1. वैक्यूम चैंबर

2. रूहिंग वैक्यूम पंपिंग सिस्टम (बैकिंग पंप पैकेज)

3. उच्च वैक्यूम पम्पिंग सिस्टम (चुंबकीय रूप से निलंबन आणविक पंप)

4. विद्युत नियंत्रण और संचालन प्रणाली

5. सहायक सुविधा प्रणाली (उप प्रणाली)

6. जमा प्रणाली

कॉपर स्पटरिंग कोटिंग मशीन मुख्य विशेषताएं:

1. 8 स्टीयर आर्क कैथोड और डीसी स्पटरिंग कैथोड, एमएफ स्पटरिंग कैथोड, आयन सोर्स यूनिट से लैस।

2. बहुपरत और सह-जमा कोटिंग उपलब्ध है

3. प्लाज्मा सफाई के लिए आयन स्रोत पूर्व-उपचार और फिल्म आसंजन को बढ़ाने के लिए आयन-बीम सहायक बयान।

4. सिरेमिक/Al2O3/AlN सबस्ट्रेट्स हीटिंग यूनिट;

5. सब्सट्रेट रोटेशन और क्रांति प्रणाली, 1-साइड कोटिंग और 2-साइड कोटिंग के लिए।

सिरेमिक रेडियेटिंग सब्सट्रेट पर कूपर मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग प्लांट

डीपीसी प्रक्रिया- डायरेक्ट प्लेटिंग कॉपर एलईडी / सेमीकंडक्टर / इलेक्ट्रॉनिक उद्योगों के साथ लागू एक उन्नत कोटिंग तकनीक है।एक विशिष्ट अनुप्रयोग सिरेमिक रेडियेटिंग सबस्ट्रेट है।

पारंपरिक निर्माण विधियों की तुलना में पीवीडी वैक्यूम स्पटरिंग तकनीक द्वारा Al2O3, AlN सबस्ट्रेट्स पर कूपर प्रवाहकीय फिल्म बयान: डीबीसी एलटीसीसी एचटीसीसी, बहुत कम उत्पादन लागत इसकी उच्च विशेषता है।

रॉयल टेक्नोलॉजी टीम ने हमारे ग्राहक को पीवीडी स्पटरिंग तकनीक के साथ डीपीसी प्रक्रिया को सफलतापूर्वक विकसित करने में मदद की।

RTAC1215-SP मशीन विशेष रूप से सिरेमिक चिप्स, सिरेमिक सर्किट बोर्ड पर कॉपर प्रवाहकीय फिल्म कोटिंग के लिए डिज़ाइन की गई है।

अधिक विशिष्टताओं के लिए कृपया हमसे संपर्क करें, रॉयल टेक्नोलॉजी आपको कुल कोटिंग समाधान प्रदान करने के लिए सम्मानित है।