एल्यूमीनियम ऑक्साइड PVD चढ़ाना मशीन, प्रत्यक्ष मढ़वाया कॉपर उत्पाद, मल्टी आर्क वैक्यूम कोटिंग उपकरण

Keywords: डायरेक्ट प्लेटेड एल्युमिनियम प्रोडक्ट्स, PECVD प्रोसेस, DLC फिल्म, डायमंड लाइक कार्बन फिल्म, स्पैटरिंग ऑप्टिकल फिल्म, गेनोआ मैग्नेट्रोन स्पटरिंग कैथोड, आयन सोर्स, PA PVD

RTAC950-SP डिजाइन विशेषताएं:

• लचीलापन: चाप और स्पटर स्रोत, लीनियर आयन सोर्स डिवाइसेस बढ़ते फ्लैंग्स को लचीले विनिमय के लिए मानकीकृत किया गया है
• बहुमुखी प्रतिभा: आधार धातुओं और मिश्र धातुओं, ऑप्टिकल कोटिंग्स, नरम कोटिंग्स की जमा विविधता के लिए उपलब्ध है। धातु और गैर-धातु सामग्री सबस्ट्रेट्स पर मिश्रित फिल्में और ठोस चिकनाई वाली फिल्में
• सीधे आगे की डिजाइन: आसान रखरखाव के लिए 2-दरवाजा संरचना, आगे और पीछे का उद्घाटन

तकनीकी निर्देश

• प्रदर्शन

1. परम वैक्यूम दबाव: 8.0 * 10 से बेहतर ^{- 4} पा;

• बेस वैक्यूम दबाव: 3.0 * 10 ^{- 2} पा

3. नीचे पंप समय: atm से 1.0 × 10 ^{- 3} Pa minutes15 मिनट (कमरे का तापमान, सूखा, साफ और खाली कक्ष)

4. जमाव स्रोत: गेनोआ मैग्नेट्रोन स्पैटरिंग कैथोड्स, स्टीयर आर्क कैथोड्स, आयन स्रोत

5. ऑपरेटिंग मॉडल: पूर्ण स्वचालित / अर्ध-ऑटो / मैन्युअल रूप से

6. हीटिंग: कमरे के तापमान से अधिकतम तक। 500 ℃,

9. PECVD और PA PVD प्रक्रिया के लिए स्रोत।

• संरचना

वैक्यूम कोटिंग मशीन में नीचे सूचीबद्ध कुंजी पूर्ण प्रणाली शामिल है:

1. वैक्यूम चैंबर
1.1 आकार: इनर डेप्थ 950 मिमी

इनर ऊंचाई: 1350 मिमी

1.2 सामग्री: वैक्यूम चैंबर SUS304

दरवाजा और flanges SUS304

चैंबर संरचना को मजबूत करते हैं: SS41 हल्के स्टील, चित्रित परिष्करण सतह के उपचार के साथ।

चैंबर चेसिस SS41 हल्के स्टील के साथ चित्रित परिष्करण सतह के उपचार।

1.3 चैंबर शील्ड: SUS304

1.4 देखें विंडो: चैम्बर के दरवाजे -2 पर

1.5 वैक्यूम चैंबर वेंटिंग वाल्व (साइलेंसर सहित)

1.6 दरवाजा: 2 सेट, आगे और पीछे, SUS304 सामग्री

2. किसी न किसी वैक्यूम पम्पिंग सिस्टम:
तेल रोटरी फलक वैक्यूम पंप + होल्डिंग पंप

3. उच्च वैक्यूम पंप प्रणाली:

टर्बो आणविक पंप - 2 सेट

4. विद्युत नियंत्रण और संचालन प्रणाली- PLC + टच स्क्रीनपरेशन सिस्टम:

आपूर्तिकर्ता:

पीएलसी: मित्सुबिशी, मॉडल: FX-IN60MR-001 श्रृंखला

इलेक्ट्रॉनिक घटक: श्नीडर, OMRON।

सेफ्टी प्रोटेक्टिंग सिस्टम: ऑपरेटरों और उपकरणों (पानी, वर्तमान गैस, तापमान आदि) की सुरक्षा के लिए कई सुरक्षा इंटरलॉक।

कोटिंग प्रक्रिया प्रणाली : प्रक्रिया स्वचालन और नियंत्रण। 3 महीने के लिए स्मृति में स्वचालित रूप से सहेजा गया। फीचर्ड कोटिंग रेसिपी डेटा: टार्गेट ऑपरेशन करंट / वोल्टेज, मास फ्लो, वैक्यूम प्रेशर, तापमान, लेपिंग टाइम को कोटिंग की गुणवत्ता बढ़ाने के लिए विश्लेषण के लिए सहेजा जाता है।

4.1 मुख्य सर्किट: कोई भी-फ्यूज ब्रेकर स्विच, विद्युत चुम्बकीय स्विच, श्रृंखला प्रकार में सी / टी

4.2 बिजली की आपूर्ति: एमएफ स्पटरिंग पावर + डीसी आर्क पावर + बायस पावर सप्लाई

4.3 नियंत्रण प्रणाली

4.4 ऑपरेशन सिस्टम: टच स्क्रीन + पीएलसी, नुस्खा नियंत्रण और डेटा लॉगिंग, ऑटो शटडाउन, ऑटो निकासी, ऑटो कोटिंग

4.5 मापने की प्रणाली

वैक्यूम दबाव: वैक्यूम गेज: पिरानी + पेनिंग गेज + पूरी रेंज वैक्यूम गेज - यूरोप ब्रांड

तापमान मापने वाला उपकरण: थर्मोकपल
MFC: मास फ्लो कंट्रोलर (4 तरीके),

4.6 अलार्म सिस्टम: संपीड़ित हवा का दबाव, ठंडा पानी का प्रवाह, मिस-ऑपरेशन

4.7 पावर लोड संकेतक: वोल्टेज संकेतक और वर्तमान संकेतक लोड करें

५ । डिपोजिशन सिस्टम

५.१ निक्षेपण स्रोत: स्पैटरिंग कैथोड + आर्क स्रोत + आयन स्रोत

5.2 जमा सामग्री: आईटीओ, टाइटेनियम, क्रोम, एल्यूमीनियम, स्टेनलेस स्टील, TiAl आदि।

6. उप-प्रणाली

6.1 वायु संपीडित वाल्व नियंत्रण प्रणाली

6.2 शीतलन जल प्रणाली: जल प्रवाह पाइप और स्विच वाल्व प्रणाली

7. काम करने का माहौल

संपीड़ित हवा: 5 ~ 8 किग्रा / सेमी 2

ठंडा पानी: पानी में तापमान: 20 ~ 25 ℃, 200 लीटर / मिनट,
पानी में दबाव: 2 ~ 3 kg / cm2,

पावर: 3 चरण 380 वी 50 हर्ट्ज (60 हर्ट्ज), 130 केवीए, औसत बिजली की खपत: 60 केडब्ल्यू

स्थापना क्षेत्र: (एल * डब्ल्यू * एच) 4400 * 3200 * 2950 मिमी

निकास: यांत्रिक पंपों के लिए वेंट

अधिक विनिर्देशों के लिए कृपया हमसे संपर्क करें, रॉयल टेक्नोलॉजी आपको कुल कोटिंग समाधान प्रदान करने के लिए सम्मानित है।