मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग जमाव प्रणाली

अनुप्रयोग:

RTSP1213 मशीन एक बैच मॉडल स्पटरिंग सिस्टम है, जो विभिन्न कठोर कोटिंग्स, नरम कोटिंग्स, मिश्रित फिल्मों और धातु और गैर-धातु सामग्री सबस्ट्रेट्स पर ठोस चिकनाई फिल्मों को जमा कर सकता है। हाइड्रोजन ईंधन सेल वाहनों, फोटोनिक्स उत्पादों, एयरोस्पेस और अन्य नए ऊर्जा उद्योगों के उद्योगों पर लागू।

गुण:

सतह की चालकता में सुधार करने के लिए;

उच्च संक्षारण प्रतिरोध;

उच्च पहनने के प्रतिरोध;

उच्च कठोरता

हाइड्रोफोबिक रचना फिल्म और अन्य कार्यात्मक फिल्में

यौगिक कोटिंग्स के लिए उपलब्ध: धातु और गैर-धातु फिल्में।

फिल्म मोटाई 100nm से 12μm तक, मोटाई सहिष्णुता nm 5%
मजबूत आसंजन।

कम तड़के भागों सतह सख्त उपचार।

प्रकार:

ऊर्ध्वाधर अभिविन्यास, पॉलीहेड्रॉन संरचना, 2-दरवाजे (आगे और पीछे)

विशेषताएं:

• पर्यावरण के अनुकूल प्रणाली, कोई औद्योगिक अपशिष्ट जल, वायु और ध्वनि प्रदूषण;
• आसान ऑपरेशन: टच स्क्रीन + पीएलसी नियंत्रण और एक स्पर्श ऑपरेशन के लिए अद्वितीय सॉफ्टवेयर प्रोग्राम, 80% से अधिक मुसीबत शूटिंग अलार्म।
• 10 प्रसंस्करण व्यंजनों तक लॉगिन और बैकअप; उच्च पुनरावृत्ति और विविधता।
• फिल्म चित्रण की उच्च एकरूपता के लिए हिंडोला प्रणाली का विशेष डिजाइन।
• उच्च उत्पादकता और उच्च गुणवत्ता
• स्थिर और विश्वसनीय प्रणाली, 365 दिन चल रहा है * 24 घंटे (रखरखाव और मरम्मत का समय)
• दक्षता पंपिंग प्रणाली: अच्छी तरह से ज्ञात यूरोप ब्रांड पंपों के साथ अधिकतम पाइपिंग गति के लिए छोटी वैक्यूम पाइपिंग लाइनें
• कॉम्पैक्ट डिजाइन न्यूनतम स्थापना स्थान पर कब्जा कर लेता है।

तकनीकी निर्देश

• प्रदर्शन

1. परम वैक्यूम दबाव: 8.0 * 10 ^-5 पा से बेहतर;

• बेस वैक्यूम दबाव: 3.0 * 10 ^{- 4} पा

3. नीचे पंप समय: atm से 1.0 × 10 ^{- 3} Pa minutes15 मिनट (कमरे का तापमान, सूखा, साफ और खाली कक्ष)

4. जमाव स्रोत: संतुलित / असंतुलित स्पंदनिंग कैथोड

5. ऑपरेटिंग मॉडल: पूर्ण स्वचालित / अर्ध-ऑटो / मैन्युअल रूप से

6. हीटिंग: कमरे के तापमान से अधिकतम तक। 450 ℃,

7. प्लाज्मा सफाई और प्लाज्मा सहायता बयान: एनोड रैखिक आयन स्रोत

8. चुंबकीय बंद - लूप दायर किया गया। (असंतुलन / संतुलन कैथोड)

9. ग्लो डिस्चार्जिंग के लिए बायस पावर सप्लाई।

• संरचना

वैक्यूम कोटिंग मशीन में नीचे सूचीबद्ध कुंजी पूर्ण प्रणाली शामिल है:

1. वैक्यूम चैंबर
1.1 आकार: भीतरी व्यास 1200 मिमी

इनर ऊंचाई: 1300 मिमी

1.2 सामग्री: वैक्यूम चैंबर SUS304

दरवाजा और flanges SUS304

चैंबर संरचना को मजबूत करता है: SS41 हल्के स्टील, चित्रित परिष्करण सतह के उपचार के साथ।

चैंबर चेसिस SS41 हल्के स्टील के साथ चित्रित परिष्करण सतह के उपचार।

1.3 स्पटरिंग शील्ड: SUS304

1.4 देखें विंडो: चैम्बर के दरवाजे पर - 4 सेट (प्रत्येक दरवाजे पर 2)

1.5 वैक्यूम चैंबर वेंटिंग वाल्व (साइलेंसर सहित)

1.6 दरवाजा: SUS304 सामग्री

2. आरओ गिंग वैक्यूम पंपिंग सिस्टम :

तेल रोटरी फलक वैक्यूम पंप + रूट पंप + होल्डिंग पंप (लेबॉल्ड)

3. उच्च वैक्यूम पंप प्रणाली :

चुंबकीय सस्पेंशन आणविक पंप (लेबॉल्ड)

• गेट वाल्व - 2 सेट

4. विद्युत नियंत्रण और संचालन प्रणाली - पीएलसी + टच स्क्रीन

4.1 मुख्य सर्किट: श्रृंखला प्रकार में कोई भी फ्यूज ब्रेकर स्विच, विद्युत चुम्बकीय स्विच, सी / टी

4.2 स्पटरिंग पावर सप्लाई + आयन सोर्स पावर सप्लाई + बायस पावर सप्लाई (एडवांस्ड एनर्जी)

४.३ स्पटरिंग डिपोजिशन कंट्रोल सिस्टम

4.4 ऑपरेशन सिस्टम: टच स्क्रीन + पीएलसी, नुस्खा नियंत्रण और डेटा लॉगिंग, ऑटो शटडाउन, ऑटो निकासी, ऑटो कोटिंग

4.5 मापने की प्रणाली

वैक्यूम दबाव: वैक्यूम गेज: पिरानी + पेनिंग गेज + पूर्ण रेंज वैक्यूम गेज - यूरोप ब्रांड

तापमान मापने वाला उपकरण: थर्मोकपल
MFC: मास फ्लो कंट्रोलर (4 तरीके), डिजिटल डिस्प्ले मोड-- यूरोप ब्रांड

4.6 अलार्म सिस्टम: संपीड़ित हवा का दबाव, ठंडा पानी का प्रवाह, मिस-ऑपरेशन

4.7 पावर लोड संकेतक: वोल्टेज संकेतक और वर्तमान संकेतक लोड करें

५ । डिपोजिशन सिस्टम

५.१ निक्षेपण स्रोत: स्पैटरिंग कैथोड, आयन स्रोत - यूरोप ब्रांड

5.2 जमा सामग्री: कार्बन लक्ष्य

6. उप-प्रणाली

6.1 वायु संपीडित वाल्व नियंत्रण प्रणाली

6.2 शीतलन जल प्रणाली: जल प्रवाह पाइप और स्विच वाल्व प्रणाली

7. काम का माहौल

संपीड़ित हवा: 5 ~ 8 किग्रा / सेमी 2

ठंडा पानी: पानी में तापमान: 20 ~ 25 ℃, 200 लीटर / मिनट,
पानी में दबाव: 2 ~ 3 kg / cm2,

पावर: 3 चरण 380V 50 हर्ट्ज (60 हर्ट्ज), 75kVA, औसत बिजली की खपत: 40KW

स्थापना क्षेत्र: (एल * डब्ल्यू * एच) 3000 * 4000 * 3200 मिमी

निकास: यांत्रिक पंपों के लिए वेंट

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