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| ब्रांड नाम: | ROYAL |
| मॉडल संख्या: | आरटीएसपी |
| एमओक्यू: | 1 सेट |
| आपूर्ति करने की क्षमता: | प्रति माह 10 समूह |
टैंटलम पीवीडी स्पटरिंग कोटिंग मशीन, डीसी मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग द्वारा जमा टैंटलम फिल्म, पीवीडी टैंटलम प्लेटिंग
टैंटलम का उपयोग इलेक्ट्रॉनिक उद्योग में और कई उद्योगों में सुरक्षात्मक कोटिंग के रूप में किया जाता है क्योंकि इसका कटाव प्रतिरोध अच्छा होता है।
स्पटर्ड टैंटलम फिल्म का व्यापक रूप से उपयोग
1माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग के रूप में फिल्मों को प्रतिक्रियाशील रूप से स्पटर किया जा सकता है और इस प्रकार प्रतिरोध की प्रतिरोधकता और तापमान गुणांक को नियंत्रित किया जा सकता है;
2. उच्च जैव संगतता गुण के लिए शरीर प्रत्यारोपण जैसे चिकित्सा उपकरण;
3क्षरण प्रतिरोधी भागों पर कोटिंग, जैसे कि थर्मोवेल, वाल्व निकायों और फास्टनरों पर;
Sputtered टैंटलम भी एक प्रभावी संक्षारण प्रतिरोध बाधा के रूप में इस्तेमाल किया जा सकता है यदि कोटिंग निरंतर है, दोषपूर्ण है और सब्सट्रेट के लिए चिपके हुए है.
RTAS1000 तकनीकी लाभ
1. प्लग-इन त्वरित स्थापना के लिए एकीकृत डिजाइन प्रणाली
2सीमेंस पीएलसी,सीपीयू; औद्योगिक पीसी संचालन और नियंत्रण हार्डवेयर के साथ
3दूरस्थ निगरानी और निदान के लिए उपलब्ध है।
4. लचीला, उन्नयन के लिए तैयार
5तेजी से जमाव गति के लिए कई कैथोड
मशीन के और भी लाभ:
मजबूत डिजाइन, स्थिर गुणवत्ता, तेजी से चक्र, तेजी से चक्र समय, उच्च जमाव गति
| मुख्य विन्यास | |
| मॉडल | RTAS1000 |
| प्रौद्योगिकी | डीसी मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग + कैथोड आर्क प्लेटिंग |
| कक्ष सामग्री | स्टेनलेस स्टील (S304) |
| कक्ष का आकार | Φ1000*1000 मिमी (एच) |
| कक्ष प्रकार | डी आकार, बेलनाकार कक्ष |
| रोटेशन रैक और जिग सिस्टम | उपग्रह ड्राइविंग या केंद्रीय ड्राइविंग प्रणाली |
| विद्युत आपूर्ति | डीसी स्पटरिंग पावर सप्लाईः 2~4 सेट बायस पावर सप्लाईः 1 सेट आर्क पावर सप्लाईः 11 सेट |
| जमा करने की सामग्री | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu आदि |
| जमा करने का स्रोत |
समतल स्पटरिंग कैथोड + गोलाकार आर्क कैथोड टिप्पणीः सिलेंडरियल डीसी स्पटर उपलब्ध है |
| नियंत्रण | पीएलसी ((प्रोग्राम करने योग्य लॉजिक कंट्रोलर) + टच स्क्रीन (मैनुअल + ऑटो + अर्ध-स्वचालित संचालन मॉडल) |
| पंप प्रणाली | रोटरी वैन पंपः SV300B - 1 सेट (लेयबोल्ड) |
| जड़ पंप: WAU1001 - 1 सेट (लेयबोल्ड) | |
| रखरखाव पंपः D60C - 1 सेट (लेयबोल्ड) | |
| चुंबकीय निलंबन आणविक पंप: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
| गैस द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक | 4 चैनल, चीन में निर्मित, सात स्टार (सीएस श्रृंखला, ) डिजिटल मॉडल (Ar, N2, O2, C2H2) |
| वैक्यूम गेज | मॉडल: ZDF-X-LE, चीन में निर्मित |
| सुरक्षा प्रणाली | ऑपरेटरों और उपकरणों की सुरक्षा के लिए कई सुरक्षा इंटरलॉक |
| हीटिंग | हीटर: 20KW. अधिकतम तापमानः 450°C |
| शीतलन | औद्योगिक शीतलक (ठंडा पानी) |
| पावर मैक्स. | 100 किलोवाट (लगभग) |
| औसत बिजली खपत | 45 KW (लगभग) |
| सकल वजन | टी (लगभग) |
| पैरों का निशान | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| विद्युत | AC 380V/3 चरणों/50HZ / 5 लाइन |
सिलेंडरिक स्पटरिंग कैथोड सपाट स्पटरिंग कैथोड
कृपया अधिक विवरण के लिए हमसे संपर्क करें, रॉयल टेक्नोलॉजी आपको पूर्ण कोटिंग समाधान प्रदान करने के लिए सम्मानित है।
कृपया यहाँ क्लिक करके यह ब्रोशर डाउनलोड करें:मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग जमाव प्रणाली.pdf
मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग जमाव प्रणाली अनुप्रयोग...
