मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग का व्यापक रूप से टैंटलम, टाइटेनियम, टंगस्टन जैसी दुर्दम्य धातुओं को जमा करने के लिए उपयोग किया जाता है, नाइओबियम, जिसे निक्षेपण के बहुत उच्च तापमान की आवश्यकता होगीऔर कीमती धातुएँ: सोना और चाँदी और जिसका उपयोग कम गलनांक वाली धातुओं जैसे तांबा, एल्युमिनियम, निकल, क्रोम आदि के जमाव के लिए भी किया जाता है।

इलेक्ट्रॉनिक में टैंटलम का सबसे अधिक उपयोग किया जाता है उद्योग कटाव के अच्छे प्रतिरोध के कारण एक सुरक्षात्मक कोटिंग के रूप में.

स्पटरड टैंटलम पतली फिल्म के अनुप्रयोग:
1. माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उद्योग के रूप में फिल्मों को प्रतिक्रियाशील रूप से स्पटर किया जा सकता है और इस प्रकार प्रतिरोधकता और प्रतिरोध के तापमान गुणांक को नियंत्रित किया जा सकता है;

2. चिकित्सा उपकरण जैसे शरीर प्रत्यारोपण इसकी अत्यधिक जैव-रासायनिकता संपत्ति के लिए;
3. थर्मोवेल, वाल्व बॉडी और फास्टनरों जैसे जंग प्रतिरोधी भागों पर कोटिंग्स;
4. स्पटर्ड टैंटलम का उपयोग एक प्रभावी संक्षारण प्रतिरोध अवरोध के रूप में भी किया जा सकता है यदि कोटिंग निरंतर, दोषपूर्ण है और सब्सट्रेट का पालन करने का इरादा है.

तकनीकी लाभ

1. एक मानकीकृत ट्रॉली लागू की जाती है जो सब्सट्रेट धारकों और वर्कपीस को डिपोजिशन चैंबर के अंदर/बाहर आसान और सुरक्षित लोडिंग/अनलोडिंग की अनुमति देती है।
2. सिस्टम गलत संचालन या असुरक्षित प्रथाओं को रोकने के लिए सुरक्षा इंटरलॉक किया गया है
3. सब्सट्रेट हीटर प्रदान किए जाते हैं जो कंडेन्स फिल्म के आसंजन को बढ़ाने के लिए, उच्च सटीकता के लिए कक्ष, पीआईडी ​​नियंत्रित थर्मोकपल के केंद्र में घुड़सवार होते हैं।
4. चैम्बर से जुड़े गेट वाल्व के माध्यम से चुंबकीय रूप से निलंबन आणविक पंप के साथ मजबूत वैक्यूम पंप विन्यास;लेबॉल्ड के रूट पंप और दो चरण रोटरी वेन पंप, मैकेनिकल पंप के साथ समर्थित।
5. एकरूपता और घनत्व की गारंटी के लिए इस प्रणाली के साथ उच्च ऊर्जा आयनित प्लाज्मा स्रोत लागू किया जाता है।
   
   
   

रॉयल टेक्नोलॉजी का मानकीकृत टैंटलम स्पटरिंग डिपोजिशन सिस्टम: RTSP1000

इनसाइट:

निर्मित समय: 2018

स्थान: चीन

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