सोने, चांदी और तांबे के सिरेमिक पीवीडी स्पटरिंग जमाव मशीन,

ऑल गोल्ड स्पटरिंग डिपोजीशन उपकरण, सिल्वर/गोल्ड पीवीडी डिपोजीशन मशीन, कंडक्टिव फिल्म पीवीडी स्पटरिंग सिस्टम 

सारांश:डीपीसी प्रक्रिया- डायरेक्ट प्लेटिंग कॉपर एलईडी/सेमीकंडक्टर/इलेक्ट्रॉनिक उद्योगों में लागू एक उन्नत कोटिंग तकनीक है। एक विशिष्ट अनुप्रयोग सिरेमिक रेडिएटिंग सब्सट्रेट है।एल्यूमीनियम ऑक्साइड (Al2O3) पर कूपर चालक फिल्म जमाव, पारंपरिक विनिर्माण की तुलना में पीवीडी वैक्यूम स्पटरिंग तकनीक द्वारा एएलएन सब्सट्रेट

विधियाँ: डीबीसी एलटीसीसी एचटीसीसी, इसकी उच्च विशेषता बहुत कम उत्पादन लागत है।

रॉयल टेक्नोलॉजी टीम ने हमारे ग्राहक को पीवीडी स्पटरिंग तकनीक के साथ डीपीसी प्रक्रिया को सफलतापूर्वक विकसित करने में सहायता की।

कीवर्डःसिरेमिक सीलिंग पार्ट्स, डीपीसी प्रक्रिया, कॉपर पीवीडी स्पटरिंग सिस्टम, एलईडी सिरेमिक चिप्स विथ कूपर प्लेटिंग, अल₂ओ₃एलईडी पर एलएन सिरेमिक सर्किट बोर्ड, एल 2 ओ 3 प्लेट, अर्धचालक

आवेदनडीपीसी:

HBLED

सौर एकाग्रकर्ता कोशिकाओं के लिए सब्सट्रेट

· ऑटोमोबाइल मोटर नियंत्रण सहित पावर सेमीकंडक्टर पैकेजिंग

· हाइब्रिड और इलेक्ट्रिक ऑटोमोबाइल पावर मैनेजमेंट इलेक्ट्रॉनिक्स

आरएफ के लिए पैकेज

· माइक्रोवेव उपकरण

डीपीसी प्रौद्योगिकी प्रदर्शन

विभिन्न सब्सट्रेट सामग्रीः सिरेमिक (Al3O2, AlN), ग्लास और Si

• बहुत कम उत्पादन लागत।
• उत्कृष्ट थर्मल प्रबंधन और गर्मी हस्तांतरण प्रदर्शन
• सटीक संरेखण और पैटर्न डिजाइन
• मजबूत धातुकरण आसंजन

विशेषताएं:

• उच्च थ्रूपुट प्रति चक्र 2.2 m2 तक सिरेमिक सब्सट्रेट;
• शक्तिशाली हीटिंग डिवाइस और प्लाज्मा स्रोत सफाई के साथ मजबूत आसंजन;
• कॉम्पैक्ट डिजाइन और उन्नयन और रखरखाव कार्य के लिए आसान पहुंच के साथ।
• पूर्ण स्वचालन, पीएलसी + टच स्क्रीन, एक स्पर्श नियंत्रण प्रणाली।
• कम बिजली की खपत के साथ उच्च दक्षता, अधिकतम 50% उत्पादन लागत बचत।

तकनीकी विनिर्देश

• प्रदर्शन

1अंतिम वैक्यूम दबावः 9.0*10 से बेहतर^-5पिता;

• आधार वैक्यूम दबावः 3.0*10^-2पिताजी

3. पंप डाउन समयः एटीएम से 1.0×10 तक^-3Pa≤15 मिनट (कमरे का तापमान, सूखा, साफ और खाली कक्ष)

4अवशोषण स्रोत: जेनकोआ मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कैथोड, निर्देशित आर्क कैथोड, आयन स्रोत

5ऑपरेटिंग मॉडल: पूर्ण स्वचालित / अर्ध-स्वचालित / मैनुअल

6हीटिंगः कमरे के तापमान से अधिकतम 500°C तक,

9पीईसीवीडी और पीए पीवीडी प्रक्रिया के लिए आयन स्रोत।

• संरचना

वैक्यूम कोटिंग मशीन में नीचे सूचीबद्ध कुंजी पूर्ण प्रणाली होती है:

1वैक्यूम कक्ष

1.1 आकारः आंतरिक व्यासः 1200 मिमी

आंतरिक ऊंचाईः 1500 मिमी

1.2 सामग्रीः वैक्यूम कक्ष SUS304

दरवाजे और फ्लैंग्स SUS304

कक्ष को मजबूत करने की संरचनाः SS41 कोमल स्टील, चित्रित परिष्करण सतह उपचार के साथ।

कैमरा चेसिस एसएस 41 हल्के स्टील के साथ चित्रित परिष्करण सतह उपचार।

1.3 कक्ष ढाल: SUS304

1.4 दृश्य खिड़कीः दरवाजे पर 2

1.5 वैक्यूम कक्ष वेंटिलेशन वाल्व (साइलेंसर सहित)

1.6 दरवाजाः SUS304 सामग्री

2रू.घिंगवैक्यूम पम्पिंग प्रणाली:

तेल घुमावदार पाली वैक्यूम पंप + होल्डिंग पंप
 

3. उच्च वैक्यूम पम्पिंग प्रणाली: चुंबकीय निलंबन आणविक पंप - 2 सेट

4विद्युत नियंत्रण और संचालन प्रणाली- पीएलसी+ टच स्क्रीन संचालन प्रणाली:

आपूर्तिकर्ता:

पीएलसीः मित्सुबिशी + टच स्क्रीन (चीन में निर्मित)

इलेक्ट्रॉनिक घटक: श्नाइडर,ओमरॉन.

सुरक्षा सुरक्षा प्रणालीःऑपरेटरों और उपकरणों (पानी, गैस धारा, तापमान आदि) की सुरक्षा के लिए कई सुरक्षा इंटरलॉक

कोटिंग प्रक्रिया प्रणालीप्रक्रिया स्वचालन एवं नियंत्रण।

4.1 मुख्य सर्किट: गैर-फ्यूज ब्रेकर स्विच, विद्युत चुम्बकीय स्विच, सीरीज प्रकार में सी/टी

4.2 बिजली की आपूर्ति: DC/MF स्पटरिंग पावर + DC आर्क पावर + Bias पावर सप्लाई

4.3 जमाव नियंत्रण प्रणाली

4.4 संचालन प्रणालीः टच स्क्रीन + पीएलसी, नुस्खा नियंत्रण और डेटा लॉगिंग, ऑटो बंद, ऑटो निकासी, ऑटो कोटिंग

4.5 माप प्रणाली

वैक्यूम प्रेशरः वैक्यूम गेजः पिरानी + पेनिंग गेज + फुल रेंज वैक्यूम गेज -- यूरोप ब्रांड

तापमान मापने वाला यंत्र: थर्मोकॉपर
एमएफसी: द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक (चार तरीके ),

4.6 अलार्म प्रणाली: संपीड़ित वायु का दबाव, शीतलन जल प्रवाह, गलत संचालन

4.7 पावर लोड इंडिकेटर: वोल्टेज इंडिकेटर और लोड करंट इंडिकेटर

5अवशेष जमा करने की प्रणाली

5.1 जमाव स्रोत: स्पटरिंग कैथोड + आर्क स्रोत + आयन स्रोत

5.2 जमाव सामग्री: तांबा, एल्यूमीनियम, क्रोम, चांदी, सोना, एसएस, टाइटेनियम आदि
 

6.उपप्रणाली

6.1 संपीड़ित वायु वाल्व नियंत्रण प्रणाली

6.2 शीतलन जल प्रणाली:पानी प्रवाह पाइप और स्विच वाल्व प्रणाली

7कार्य वातावरण

संपीड़ित वायुः 5~8 किलोग्राम/सेमी2

शीतलन जलः जल-इन तापमानः 20 ~ 25°C, 200 लीटर/मिनट,
पानी-इन दबावः 2 ~ 3 किलोग्राम/सेमी2,

बिजलीः 3 चरण 380V 50Hz ((60Hz), 130kVA, औसत बिजली की खपतः 60KW

स्थापना क्षेत्रः (L*W*H) 4400*3200*2950 मिमी

निकासः यांत्रिक पंपों के लिए वेंटिलेशन

कृपया अधिक विवरण के लिए हमसे संपर्क करें, रॉयल टेक्नोलॉजी आपको पूर्ण कोटिंग समाधान प्रदान करने के लिए सम्मानित है।