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ब्रांड नाम: | ROYAL TECHNOLOGY |
मॉडल संख्या: | RT-R2R |
एमओक्यू: | 1 |
कीमत: | विनिमय योग्य |
भुगतान की शर्तें: | एल/सी,टी/टी |
आपूर्ति करने की क्षमता: | 4 sets/month |
एक रोल-टू-रोल वेब वैक्यूम स्पटरिंग सिस्टम एक प्रकार का विनिर्माण उपकरण है जिसका उपयोग एक लचीली सब्सट्रेट पर पतली फिल्मों को जमा करने के लिए किया जाता है जिसे एक रोल से दूसरे रोल में लगातार खिलाया जाता है।यह प्रणाली आम तौर पर इलेक्ट्रॉनिक्स जैसे उद्योगों में प्रयोग किया जाता है, ऑप्टिक्स और कोटिंग्स, सोलर सेल और लचीले इलेक्ट्रॉनिक्स जैसे अनुप्रयोगों के लिए पैकेजिंग।
इस प्रणाली में, सामग्री के चलती जाल पर पतली फिल्मों को जमा करने के लिए एक वैक्यूम कक्ष का उपयोग किया जाता है।स्पटरिंग एक प्रक्रिया है जिसमें परमाणुओं या अणुओं को ऊर्जावान कणों द्वारा लक्ष्य पर बमबारी के कारण ठोस लक्ष्य सामग्री से बाहर निकाल दिया जाता हैइन उत्सर्जित परमाणुओं या अणुओं के बाद सब्सट्रेट पर एक पतली फिल्म बनती है।
रोल-टू-रोल वेब वैक्यूम स्पटरिंग सिस्टम में आम तौर पर निम्नलिखित घटक शामिल होते हैंः
वैक्यूम कक्ष: यहीं पर नियंत्रित वैक्यूम स्थितियों में स्पटरिंग प्रक्रिया होती है।
सब्सट्रेट हैंडलिंग सिस्टम: यह प्रणाली स्पटरिंग प्रक्रिया के माध्यम से लचीले सब्सट्रेट की गति को नियंत्रित करती है।
धातु लक्ष्यों के साथ स्पटरिंग कैथोडः ये वे सामग्री हैं जिनसे परमाणुओं या अणुओं को सब्सट्रेट पर पतली फिल्म बनाने के लिए स्पटर किया जाता है।
बिजली की आपूर्तिः ये स्पटरिंग प्रक्रिया के लिए आवश्यक शक्ति प्रदान करते हैं।
गैस आपूर्ति प्रणाली: यह प्रणाली स्पटरिंग प्रक्रिया के लिए आवश्यक गैसों की आपूर्ति करती है।
नियंत्रण प्रणाली: यह प्रक्रिया मापदंडों जैसे जमाव दर, फिल्म मोटाई और एकरूपता को नियंत्रित करती है।
रोल-टू-रोल वेब वैक्यूम स्पटरिंग सिस्टम उच्च थ्रूपुट, स्केलेबिलिटी और पतली फिल्मों के साथ बड़े क्षेत्रों को कोटिंग करने की क्षमता जैसे फायदे प्रदान करता है।यह लचीले सब्सट्रेट पर पतली फिल्म सामग्री के बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए उपयुक्त है.
रोल-टू-रोल वेब वैक्यूम स्पटरिंग सिस्टम में, पतली फिल्मों के वांछित गुणों और अनुप्रयोगों के आधार पर विभिन्न प्रकार के स्पटरिंग लक्ष्यों का उपयोग किया जा सकता है।कुछ आम प्रकार के स्पटरिंग लक्ष्य में शामिल हैं:
धातु लक्ष्यः ये शुद्ध धातुओं या धातु मिश्र धातुओं से बने होते हैं और आमतौर पर धातु पतली फिल्मों को जमा करने के लिए उपयोग किए जाते हैं। उदाहरणों में एल्यूमीनियम, तांबा, सोना, चांदी, टाइटेनियम,और स्टेनलेस स्टील के लक्ष्य.
ऑक्साइड लक्ष्यः ये लक्ष्य धातु ऑक्साइड से बने होते हैं और ऑक्साइड पतली फिल्मों को जमा करने के लिए उपयोग किए जाते हैं। उदाहरणों में इंडियम टिन ऑक्साइड (ITO), जिंक ऑक्साइड (ZnO), और टैंटलम ऑक्साइड (Ta2O5) लक्ष्य शामिल हैं।
नाइट्राइड लक्ष्य: इन लक्ष्यों का उपयोग नाइट्राइड पतली फिल्मों को जमा करने के लिए किया जाता है। उदाहरणों में टाइटेनियम नाइट्राइड (TiN) और एल्यूमीनियम नाइट्राइड (AlN) लक्ष्य शामिल हैं।
सिलिसाइड लक्ष्यः ये लक्ष्य धातु सिलिसाइड से बने होते हैं और सिलिसाइड पतली फिल्मों को जमा करने के लिए उपयोग किए जाते हैं। उदाहरणों में टाइटेनियम सिलिसाइड (TiSi2) और वोल्फ्रेम सिलिसाइड (WSix) लक्ष्य शामिल हैं।
सल्फाइड लक्ष्यः इन लक्ष्यों का उपयोग सल्फाइड पतली फिल्मों को जमा करने के लिए किया जाता है। उदाहरणों में मोलिब्डेनम डिसल्फाइड (MoS2) और जिंक सल्फाइड (ZnS) लक्ष्य शामिल हैं।
मिश्रित लक्ष्य: ये लक्ष्य कई सामग्रियों से बने होते हैं और विशिष्ट गुणों के साथ पतली फिल्मों को जमा करने के लिए उपयोग किए जाते हैं। उदाहरण के लिए,एक लक्ष्य अद्वितीय फिल्म संरचनाओं के लिए धातु और सिरेमिक सामग्री का एक संयोजन हो सकता है.
मिश्र धातु लक्ष्यः ये लक्ष्य मिश्र धातु संरचनाओं से बने होते हैं और विशिष्ट गुणों वाले मिश्र धातु पतली फिल्मों को जमा करने के लिए उपयोग किए जाते हैं। उदाहरणों में निकल-क्रोमियम (NiCr), निकल-टाइटनियम (NiTi),और कोबाल्ट-क्रोमियम (CoCr) मिश्र धातु के लक्ष्य.
स्पटरिंग लक्ष्य का चयन वांछित फिल्म संरचना, मोटाई, संरचना और गुणों जैसे कारकों पर निर्भर करता है।रोल-टू-रोल वेब वैक्यूम स्पटरिंग सिस्टम में विभिन्न प्रकार के स्पटरिंग लक्ष्यों का उपयोग करके, इलेक्ट्रॉनिक्स, प्रकाशिकी, ऊर्जा आदि जैसे उद्योगों में विभिन्न अनुप्रयोगों के लिए पतली फिल्म सामग्री की एक विस्तृत श्रृंखला जमा की जा सकती है।
अनुप्रयोग:
इलेक्ट्रॉनिक कागज, लचीले सर्किट, फोटोवोल्टिक, मेडिकल स्ट्रिप्स, आरएफआईडी (रेडियो फ्रीक्वेंसी पहचान) और लो-ई फिल्म, आईटीओ पतली फिल्म कोटिंग्स
रोल-टू-रोल (R2R) वेब स्पटरिंग जमा प्रक्रियाएं लचीले सब्सट्रेट पर लगातार पतली फिल्मों को जमा करने के लिए एक बहुमुखी और स्केलेबल विधि प्रदान करती हैं।
इस तकनीक को विभिन्न उद्योगों में व्यापक अनुप्रयोग मिलते हैं क्योंकि यह विभिन्न सामग्रियों की पतली फिल्मों के साथ उच्च गति से बड़े क्षेत्रों को कोटिंग करने की क्षमता रखती है।
आर2आर वेब स्पटरिंग जमा के कुछ सामान्य अनुप्रयोगों में शामिल हैंः
लचीला इलेक्ट्रॉनिक्स: आर2आर वेब स्पटरिंग का व्यापक रूप से लचीले इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों जैसे लचीले डिस्प्ले, आरएफआईडी टैग, स्मार्ट कार्ड और पहनने योग्य इलेक्ट्रॉनिक्स के उत्पादन में उपयोग किया जाता है।यह पतली फिल्म ट्रांजिस्टरों की जमाव सक्षम बनाता है, प्रवाहकीय इलेक्ट्रोड, और लचीले सब्सट्रेट पर बाधा परतें।
सौर कोशिकाएं: पतली फिल्म वाली सौर कोशिकाएं अर्धचालक या अवशोषक परतों जैसे कि अकार्मिक सिलिकॉन, कैडमियम टेलुराइड और
कॉपर इंडियम गैलियम सेलेनाइड (सीआईजीएस) लचीले सब्सट्रेट पर। यह तकनीक पतली फिल्म फोटोवोल्टिक उपकरणों के लागत प्रभावी और उच्च थ्रूपुट निर्माण की अनुमति देती है।
बैरियर फिल्म्स: आर2आर वेब स्पटरिंग का उपयोग लचीले सब्सट्रेट पर उत्कृष्ट गैस बैरियर गुणों के साथ बैरियर फिल्म्स जमा करने के लिए किया जाता है ताकि संवेदनशील सामग्री को नमी, ऑक्सीजन,और अन्य पर्यावरणीय कारकइन बाधा फिल्मों का उपयोग पैकेजिंग, इलेक्ट्रॉनिक्स और डिस्प्ले में होता है।
सजावटी कोटिंग्स: आर2आर स्पटरिंग जमाव का उपयोग ऑटोमोबाइल टिम, उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स,और वास्तुशिल्प कांचइस तकनीक का उपयोग करके धातु की परतों, ऑक्साइड कोटिंग्स और बहुपरत हस्तक्षेप कोटिंग्स जैसी सामग्रियों को लगाया जा सकता है।
लचीले सेंसर: आर2आर वेब स्पटरिंग पहनने योग्य सेंसर, स्वास्थ्य देखभाल उपकरणों और आईओटी अनुप्रयोगों में अनुप्रयोगों के लिए लचीले सब्सट्रेट पर पतली फिल्म सेंसर तत्वों की जमाव को सक्षम बनाता है।सेंसर जैसे तापमान सेंसर, आर्द्रता सेंसर और गैस सेंसर इस तकनीक का उपयोग करके निर्मित किए जा सकते हैं।
ऑप्टिकल फिल्म्स: आर2आर स्पटरिंग का उपयोग ऑप्टिकल कोटिंग्स को फ्लेक्सिबल सब्सट्रेट पर जमा करने के लिए किया जाता है, जो एंटी रिफ्लेक्शन कोटिंग्स, रिफ्लेक्सिव कोटिंग्स, ऑप्टिकल फिल्टर,और रंग फिल्टर प्रदर्शन में इस्तेमाल किया, लेंस और ऑप्टिकल उपकरण।
मुद्रित इलेक्ट्रॉनिक्स एकीकरण: R2R वेब स्पटरिंग को मुद्रित और स्पटरित घटकों दोनों के साथ संकर उपकरण बनाने के लिए मुद्रित इलेक्ट्रॉनिक्स प्रक्रियाओं के साथ एकीकृत किया जा सकता है।
यह एकीकरण लचीले सब्सट्रेट पर लागत प्रभावी और कार्यात्मक इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों का उत्पादन करने में सक्षम बनाता है।
कुल मिलाकर, आर2आर वेब स्पटरिंग जमा तकनीक की बहुमुखी प्रतिभा और स्केलेबिलिटी इसे इलेक्ट्रॉनिक्स, ऊर्जा, पैकेजिंग, ऑप्टिक्स,और सेंसर, जहां लचीले सब्सट्रेट पर पतली फिल्मों की आवश्यकता होती है।
आर2आर मशीन लेआउट
मल्टीवेब कोटर निम्नलिखित प्रमुख विशेषताएं प्रदान करता हैः | ||||||||
A. विभिन्न जमाव स्रोतों को समायोजित करने के लिए बहु-दबाव क्षेत्रों में विभाजित एक कक्ष। | ||||||||
B. बहु-परत कोटिंग के लिए एक वेब पास में बहु-स्रोत एक साथ जमा करने की क्षमताएं। | ||||||||
C. प्रतिवर्ती वेब वाइंडिंग दिशा वैक्यूम को तोड़ने के बिना असीमित परतों की जमाव को सक्षम करती है। | ||||||||
D. सीमा-निर्देशन के साथ सटीक वेब हैंडलिंग तंत्र ताकि संरेखण के नुकसान के बिना कई बार गुजरने की अनुमति दी जा सके (वैकल्पिक) | ||||||||
ई. एकाधिक वेब गति के सटीक नियंत्रण के लिए एसी इनवर्ट वेब ड्राइव प्रणाली। | ||||||||
F. सटीक जमाव मोटाई और एकरूपता को नियंत्रित करने के लिए लाइन ऑप्टिकल और/या प्रतिरोध मोटाई निगरानी प्रणाली (वैकल्पिक) | ||||||||
जी. कक्ष SUS304L स्टेनलेस से बना है जिसमें गहरे वैक्यूम को सुनिश्चित करने के लिए कम गैसिंग घटक हैं। | ||||||||
एच. टर्बो-मोलेक्यूलर पंप और निम्न तापमान क्रायोजेनिक्स के संयोजन द्वारा वैक्यूम पंपिंग, नमी या तेल संदूषण के बिना स्वच्छ वैक्यूम प्रदान करने के लिए। | ||||||||
डिपॉजिशन फिल्म | ||||||||
1सब्सट्रेट सामग्रीः पीईटी, पीईएन, पीईएस, पीआई, पीसी, पीए, टीएसी... फिल्म | ||||||||
2सब्सट्रेट की मोटाईः 15~300μm | ||||||||
3अवशोषण विधियाँः SiO2 के लिए AC प्रतिक्रियाशील (Dielectric); ITO (धातु और कंडक्टर) के लिए Pulsed DC | ||||||||
4ऑक्साइड कंडक्टर TCO: ITO, AZO, IZO... | ||||||||
5धातु कंडक्टर: अल, क्यू, मो, एजी... | ||||||||
6ऑप्टिकल फिल्म: Ta2O5, Nb2O5, SiO2, TiO2... | ||||||||
7अर्धचालक: ZnO, InGaZnO... | ||||||||
8. इन्सुलेटर: SiO2, SiNx, AlOx, AlNx... | ||||||||
9एकसमानताः ±5% वेब के पार | ||||||||
सामान्य विनिर्देश | ||||||||
वैक्यूम कक्ष शरीरः एकल कक्ष बहु-दबाव क्षेत्र | ||||||||
चलती गाड़ियाँ: वेब गाड़ी | ||||||||
अवशोषण क्षेत्रः 2 X स्पटरिंग क्षेत्र (वैकल्पिकः 3 स्पटरिंग क्षेत्र) | ||||||||
स्पटरिंग स्रोतः 2 X डबल कैथोड स्पटर स्रोतः (वैकल्पिकः 3 डबल कैथोड स्पटर स्रोतः) | ||||||||
सब्सट्रेट प्री-ट्रैटर: रैखिक आयन स्रोत | ||||||||
वेब चौड़ाईः 1300 मिमी | ||||||||
घुमावदार व्यासः Φ600mm अधिकतम | ||||||||
घुमाव की दिशाः द्विदिश | ||||||||
सब्सट्रेट की मोटाईः 15~300μm | ||||||||
वेब लाइन गतिः0.5~10M/मिनट | ||||||||
वेब तनावः 5.0PLI अधिकतम 0.5PLI मिनट | ||||||||
वेब संरेखणः ±3 मिमी (एक पास) | ||||||||
हाइ-वैक्यूम पंप: टर्बो पंप | ||||||||
कच्चे वैक्यूम पंपः सूखे पंप और ब्लोअर संयोजन | ||||||||
नमी पंपः पॉलीकोल्ड क्रायोजेनिक | ||||||||
जमाव मोटाई नियंत्रणः निगरानी (वैकल्पिक) | ||||||||
a: ट्रांसमिट ऑप्टिकल; b: एडी करंट प्रतिरोध | ||||||||
प्रणाली संचालन: पीएलसी आधारित कंप्यूटर प्रणाली संचालन | ||||||||
वैक्यूम कक्ष | ||||||||
वैक्यूम कक्ष SUS304L पॉलिश स्टेनलेस स्टील से बने एक क्षैतिज बॉक्स के रूप में बनाया गया है, जिसमें एक छोर में फ्लैंग्स वाले उद्घाटन हैं।विभाजित क्षेत्र के निचले भाग में सामान के साथ जमाव स्रोत होगा, जबकि ऊपरी भाग में वेब कैरिज को समायोजित किया जाएगा। | ||||||||
कक्ष निर्माणः एक फ्लैंग्ड उद्घाटन के साथ क्षैतिज बॉक्स | ||||||||
कक्ष संरचना: एकल कक्ष बहु-दबाव क्षेत्र | ||||||||
कैमरा फ्रेमः एसएस 41 हल्के स्टील, चित्रित | ||||||||
कक्ष सामग्रीः SUS304L पॉलिश स्टेनलेस स्टील | ||||||||
दबाव क्षेत्र विभाजकः एल्यूमीनियम प्लेट | ||||||||
पोर्ट सामग्री देखेंः पॉली कार्बोनेट | ||||||||
वैक्यूम दबाव क्षेत्रः 4 (1 घुमावदार क्षेत्र, 2 जमाव क्षेत्र, 1 बफर क्षेत्र) |
स्पटरिंग कैथोड वितरण
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