ईण्डीयुम-टिन-ऑक्साइड कोटिंग,उच्च गुणवत्ता वाले पीईटी सबस्ट्रेट्स पर आईटीओ-कोटिंग्स, आईटीओ थिंक फिल्म वैक्यूम कोटिंग उपकरण
पीईटी आईटीओ पतली फिल्म वैक्यूम कोटिंग उपकरण कांच और पीईटी सामग्री पर उच्च पारदर्शी आईटीओ फिल्म बनाने के लिए मैजेंट्रॉन स्पटरिंग तकनीक के साथ है।
पीईटी आईटीओ पतली फिल्म वैक्यूम कोटिंग उपकरण मानक अनुप्रयोग: पीईटी, उच्च गुणवत्ता वाले ग्लास सब्सट्रेट।जैसे इलेट्रोनिक डिस्प्ले, आईटीओ कोटेड माइक्रोस्कोप स्लाइड, ट्रांसपेरेंट शील्डिंग ग्लास, कंडक्टिंग ग्लास, डीफ्रॉस्टिंग फिल्म, डी-आइसिंग फिल्म कोटिंग,
पीईटी आईटीओ पतली फिल्म वैक्यूम कोटिंगउपकरण विन्यास:
1) डीसी स्पटरिंग स्रोत: Cu, Al, ITO
2) एमएफ स्पटरिंग स्रोत
3) टर्बो आण्विक पंप + बैकिंग पंप समूह
4) आईटीओ फिल्म की गुणवत्ता में सुधार के लिए उच्च तीव्रता वाले चुंबकीय क्षेत्र, लक्ष्य उपयोग दर> 30%
5) Cu, Al, Si का लक्ष्य उपयोग दर> 35%
6) जमा दर: 30 एनएम एम / मिनट ~ 40 एनएम एम / मिनट
7) स्पटरिंग एकरूपता क्षेत्र: 350 मिमी
पीईटी आईटीओ पतली फिल्म वैक्यूम कोटिंगउपकरणमानक निर्दिष्टीकरण
नमूना | आकार (मिमी) | सब्सट्रेट जिग्स (मात्रा) |
स्पटरिंग पावर (केवीए) |
स्पटरिंग लक्ष्य (मात्रा) |
स्पटरिंग कैथोड |
एमएफसी | टिप्पणी |
एमएससी800 | 800xH800 | 1 | 2*50 डीसी | 4 | सिलेंडर | 3 | आईटीओ कोटिंग |
एमएससी1616 | Φ1600xH1600 | 6,8 | 2*36 डीसी | 2 | आयताकार | 2 | 2-डोर |
पीईटी आईटीओ पतली फिल्म वैक्यूम कोटिंगउपकरणकोटिंग के नमूने
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