आरटीएएस श्रृंखला धातु के हिस्सों, स्टेनलेस स्टील की वस्तुओं पर सामान्य ग्रेफाइट, जेट ब्लैक, ब्लू, कॉपर और कांस्य रंगों के लिए एक एकीकृत कई डिपोजिशन सोर्स मशीन है।विशेष रूप से उच्च अंत वर्ग लक्जरी भागों के लिए उपयोग किया जाता है।
मानक आवेदन
आभूषण, घड़ी की पट्टियाँ और शरीर, स्टेनलेस स्टील के खेल, लेखन उपकरण
उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक्स: मोबाइल फोन, लैपटॉप, कैमरा, ड्रोन
आरटीएएस मशीनें परिपत्र चाप और सिलेंडर स्पटरिंग डिपोजिशन स्रोतों से सुसज्जित हैं।डीसी स्पटरिंग, एमएफ स्पटरिंग, आर्क वाष्पीकरण और आयन स्रोत आदि के कई संयोजन सभी एक ही मशीन में उपलब्ध हैं, जो विभिन्न अनुप्रयोगों को पूरा करने के लिए कॉन्फ़िगरेशन में एक उच्च लचीलेपन के लिए हैं।विशेष रूप से छोटे घटकों के लिए सौंदर्य प्रसाधन कोटिंग्स: जेट काला, तांबा, पीतल और क्रोम रंग।
एमएफ स्पटरिंग क्या है?
डीसी और आरएफ स्पटरिंग के साथ तुलना में, मिड-फ्रीक्वेंसी स्पटरिंग कोटिंग के बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए एक मुख्य पतली फिल्म स्पटरिंग तकनीक बन गई है, विशेष रूप से ऑप्टिकल कोटिंग्स, सौर पैनल, कई परतों जैसी सतहों पर ढांकता हुआ और गैर-प्रवाहकीय फिल्म कोटिंग्स के फिल्म चित्रण के लिए। , समग्र सामग्री फिल्म आदि।
यह बहुत तेजी से जमाव दर के लिए मेगाहर्ट्ज के बजाय kHz के साथ संचालित होने के कारण RF स्पटरिंग की जगह ले रहा है और DC जैसी कंपाउंड पतली फिल्म के दौरान टार्ग विषाक्तता से भी बच सकता है।
एमएफ स्पटरिंग लक्ष्य हमेशा दो-सेट के साथ मौजूद थे।दो कैथोड का उपयोग उनके बीच आगे और पीछे एक एसी करंट चालू करने के साथ किया जाता है जो कि डिएक्ट्रिक्स पर चार्ज बिल्ड को कम करने के लिए प्रत्येक उत्क्रमण के साथ लक्ष्य की सतह को साफ करता है, जिससे उत्पन्न होता है जो प्लाज्मा में बूंदों को गिरा सकता है और एक समान फिल्म विकास को रोक सकता है- जिसे हमने लक्ष्य विषाक्तता कहा है।
तकनीकी विनिर्देश
नहीं। | नाम |
1 | वैक्यूम पंपिंग सिस्टम: टर्बो आणविक पंप + रूट पंप + मैकेनिकल पंप + होल्डिंग पंप |
2 | वैक्यूम मापने की प्रणाली: पिरानी + पेनिंग गॉग्स |
3 | हीटिंग सिस्टम: सब्सट्रेट के लिए हीटर आसंजन को बेहतर बनाने के लिए |
4 | जल / संपीड़ित वायु वितरण प्रणाली: मॉड्यूलर डिजाइन और फैबरेटेड |
5 | सिलेंडर स्पिटरिंग कैथोड: 2/4/6/8 जोड़े जुड़वाँ विकल्प के लिए लक्ष्य |
6 | वैक्यूम गेट वाल्व (विकल्प के रूप में) |
7 | विद्युत संलग्नक (CE मानक) |
8 | वैक्यूम चैंबर (SS304 / 316L अनुरोध के रूप में) |
9 | कैथोडिक आर्क सोर्स (पारंपरिक आर्क कैथोड) |
10 | पोर्ट देखें (2 डिपोशन चैम्बर के अंदर निरीक्षण के लिए दरवाजे पर वितरित) |
1 1 | गैस वितरण प्रणाली प्रसंस्करण (4 चैनलों के लिए मीटर फ्लो नियंत्रक) |
12 | रैक ड्राइविंग सिस्टम (ग्रहों की ड्राइविंग मॉडल) |
13 | हिंडोला |
विवरण | RTAS1250 | RTAS1612 |
जमाव कक्ष (मिमी) | H1250 * H1250 | H1600 * H1250 |
प्लेनेटरी ड्राइविंग प्रभावी कोटिंग क्षेत्र (मिमी) |
8: φ270 * H850 10: φ230 * H850 |
10: φ300 * H850 16: φ200 * H850 |
परिपत्र आर्क कैथोड (सेट) | 7 | 12 |
सिलेंडर स्प्लिटिंग कैथोड (जोड़े) | 3/4 | 4/6 |
स्पंदित पूर्वाग्रह शक्ति (किलोवाट) |
36 | 48 |
डीसी / एमएफ स्पटरिंग पावर (किलोवाट) | 36 | 4 * 36 |
आर्क पावर (किलोवाट) | 7 * 5 | 12 * 5 |
वैक्यूम पंप |
2 * टर्बो आणविक पंप 1 * SV300B 1 * WAU1001 1 * TRP60 |
3 * टर्बो आणविक पंप 2 * SV300B 1 * WAU2001 1 * TRP90 |
मैक्स।बिजली की खपत (किलोवाट) | 200 | 245 |
औसत बिजली की खपत (किलोवाट) | <75 | <100 |
ऑपरेशन स्पेस (एल * डब्ल्यू * एच) मिमी | 4300 * 3700 * 2800 | 5000 * 4000 * 2800 |
लचीले विन्यास: मशीन को कोटिंग प्रक्रियाओं और ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार सेट किया गया है
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