एलएन चिप्स कॉपर स्पटरिंग डिपोशन सिस्टम, एल्यूमीनियम नाइट्राइड पीवीडी कॉपर स्पटरिंग मशीन
प्रदर्शन
1. परम वैक्यूम दबाव: 5.0 × 10 से बेहतर-६ तोर।
2. ऑपरेटिंग वैक्यूम प्रेशर: 1.0 × 10-४ तोर।
3. पम्पिंगडाउन टाइम: 1 एटीएम से 1.0 × 10 तक-४ Torr Tor 3 मिनट (कमरे का तापमान, सूखा, साफ और खाली कक्ष)
4. धातु सामग्री (स्पटरिंग + आर्क वाष्पीकरण): नी, सीयू, एजी, एयू, टीआई, जेड, सीआर आदि।
5. ऑपरेटिंग मॉडल: पूर्ण स्वचालित / अर्ध-ऑटो / मैन्युअल रूप से
संरचना
वैक्यूम कोटिंग मशीन में नीचे सूचीबद्ध कुंजी पूर्ण प्रणाली शामिल है:
1. वैक्यूम चैंबर
2. रूह वैक्यूम पंपिंग सिस्टम (बैकिंग पंप पैकेज)
3. उच्च वैक्यूम पंपिंग सिस्टम (मैग्नेटिकली सस्पेंशन आणविक पंप)
4. इलेक्ट्रिकल कंट्रोल और ऑपरेशन सिस्टम
5. सहायक सुविधा प्रणाली (उप प्रणाली)
6. जमाव प्रणाली
कॉपर स्पटरिंग कोटिंग मशीन प्रमुख विशेषताएं
1. 8 स्टीयर आर्क कैथोड और डीसी स्पटरिंग कैथोड, एमएफ स्पटरिंग कैथोड, आयन स्रोत इकाई से लैस है।
2. बहुपरत और सह-बयान कोटिंग उपलब्ध है
3. प्लाज्मा सफाई पूर्व-उपचार के लिए आयन स्रोत और फिल्म आसंजन को बढ़ाने के लिए आयन-बीम ने सहायता प्रदान की है।
4. सिरेमिक / Al2O3 / AlN सबस्ट्रेट्स को गर्म करने वाली इकाई;
5. सब्सट्रेट रोटेशन और क्रांति प्रणाली, 1-साइड कोटिंग और 2-साइड कोटिंग के लिए।
सिरेमिक रेडियेटिंग सब्सट्रेट पर कूपर मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग प्लांट
डीपीसी प्रक्रिया- डायरेक्ट प्लेटिंग कॉपर एक उन्नत कोटिंग तकनीक है जिसे एलईडी / अर्धचालक / इलेक्ट्रॉनिक उद्योगों के साथ लागू किया जाता है।एक विशिष्ट अनुप्रयोग सिरेमिक रेडियेटिंग सब्सट्रेट है।
पारंपरिक विनिर्माण विधियों के साथ तुलना में, AlD3 पर कूपर कंडक्टिव फिल्म डिप्रेशन, PVD वैक्यूम स्पटरिंग टेक्नोलॉजी द्वारा AlN सबस्ट्रेट्स: DBC LTCC HTCC, बहुत कम उत्पादन लागत इसकी उच्च विशेषता है।
रॉयल प्रौद्योगिकी टीम ने हमारे ग्राहक को पीवीडी स्पटरिंग तकनीक के साथ डीपीसी प्रक्रिया को सफलतापूर्वक विकसित करने का आश्वासन दिया।
RTAC1215-SP मशीन विशेष रूप से सिरेमिक चिप्स, सिरेमिक सर्किट बोर्ड पर कॉपर प्रवाहकीय फिल्म कोटिंग के लिए डिज़ाइन की गई है।
अधिक विनिर्देशों के लिए कृपया हमसे संपर्क करें, रॉयल टेक्नोलॉजी आपको कुल कोटिंग समाधान प्रदान करने के लिए सम्मानित है।
