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ब्रांड नाम: | ROYAL |
मॉडल संख्या: | RTAS1215 |
एमओक्यू: | 1 सेट |
कीमत: | विनिमय योग्य |
भुगतान की शर्तें: | एल / सी, डी / ए, डी / पी, टी / टी |
आपूर्ति करने की क्षमता: | प्रति माह 6 सेट |
एएलएन चिप्स कॉपर स्पटरिंग डिपोजीशन सिस्टम, एल्यूमीनियम नाइट्राइड पीवीडी कॉपर स्पटरिंग मशीन
प्रदर्शन
1अंतिम वैक्यूम दबावः 5.0×10 से बेहतर-6टोर।
2कार्यरत वैक्यूम दबावः 1.0×10-4टोर।
3पंपडाउन समयः 1 एटीएम से 1.0×10 तक-4Torr≤ 3 मिनट (कमरे का तापमान, सूखा, साफ और खाली कक्ष)
4धातुकरण सामग्री (स्पटरिंग + आर्क वाष्पीकरण): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr आदि
5ऑपरेटिंग मॉडल: पूर्ण स्वचालित / अर्ध-स्वचालित / मैनुअल
संरचना
वैक्यूम कोटिंग मशीन में नीचे सूचीबद्ध कुंजी पूर्ण प्रणाली होती है:
1वैक्यूम कक्ष
2. खड़ी वैक्यूम पम्पिंग प्रणाली (बैकपम्प पैकेज)
3उच्च वैक्यूम पम्पिंग प्रणाली (चुंबकीय रूप से निलंबन आणविक पंप)
4विद्युत नियंत्रण और संचालन प्रणाली
5सहायक सुविधा प्रणाली (उप-प्रणाली)
6अवशेष जमा करने की प्रणाली
कॉपर स्पटरिंग कोटिंग मशीन की मुख्य विशेषताएं
1. 8 स्टीयर आर्क कैथोड और डीसी स्पटरिंग कैथोड, एमएफ स्पटरिंग कैथोड, आयन स्रोत इकाई से लैस है।
2बहुस्तरीय और सह-निर्वहन कोटिंग उपलब्ध
3प्लाज्मा सफाई पूर्व उपचार के लिए आयन स्रोत और फिल्म आसंजन को बढ़ाने के लिए आयन बीम-सहायित जमाव।
4सिरेमिक/ Al2O3/AlN सब्सट्रेट हीटिंग अप यूनिट;
5एकतरफा कोटिंग और दोतरफा कोटिंग के लिए सब्सट्रेट रोटेशन और रिवोल्यूशन सिस्टम
कूपर मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग प्लांट पर सिरेमिक रेडिएटिंग सब्सट्रेट
डीपीसी प्रक्रिया- डायरेक्ट प्लेटिंग कॉपर एलईडी/सेमीकंडक्टर/इलेक्ट्रॉनिक उद्योगों में लागू एक उन्नत कोटिंग तकनीक है। एक विशिष्ट अनुप्रयोग सिरेमिक रेडिएटिंग सब्सट्रेट है।
पारंपरिक विनिर्माण विधियों की तुलना में पीवीडी वैक्यूम स्पटरिंग तकनीक द्वारा Al2O3, AlN सब्सट्रेट पर कूपर चालक फिल्म जमाः DBC LTCC HTCC,बहुत कम उत्पादन लागत इसकी उच्च विशेषता है.
रॉयल टेक्नोलॉजी टीम ने हमारे ग्राहक को पीवीडी स्पटरिंग तकनीक के साथ डीपीसी प्रक्रिया को सफलतापूर्वक विकसित करने में सहायता की।
आरटीएसी 1215-एसपी मशीन विशेष रूप से सिरेमिक चिप्स, सिरेमिक सर्किट बोर्ड पर कॉपर कंडक्टिव फिल्म कोटिंग के लिए डिज़ाइन की गई है।
कृपया अधिक विवरण के लिए हमसे संपर्क करें, रॉयल टेक्नोलॉजी आपको पूर्ण कोटिंग समाधान प्रदान करने के लिए सम्मानित है।