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ब्रांड नाम: | ROYAL |
मॉडल संख्या: | RTSP1212-डीसी |
एमओक्यू: | 1 सेट |
कीमत: | विनिमय योग्य |
भुगतान की शर्तें: | एल/सी, टी/टी |
आपूर्ति करने की क्षमता: | प्रति माह 6 सेट |
डीसी मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीन / डीसी स्पटरिंग सिस्टम
मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग मॉडल: डीसी स्पटरिंग, एमएफ स्पटरिंग, आरएफ स्पटरिंग
डीसी स्पटरिंग क्या है?
डीसी स्पटरिंग मुख्य रूप से उच्च प्रवाहकीय फिल्मों के लिए क्रोम, टाइटेनियम, एल्युमिनियम, कॉपर, स्टेनलेस स्टील, निकल, सिल्वर, गोल्ड जैसे शुद्ध धातु लक्ष्यों को स्पटर करने के लिए उपयोग किया जाता है।
डीसी स्पटरिंग एक पतली फिल्म भौतिक वाष्प जमाव (पीवीडी) कोटिंग तकनीक है जहां कोटिंग के रूप में उपयोग की जाने वाली लक्षित सामग्री को आयनित गैस अणुओं के साथ बमबारी कर दिया जाता है जिससे परमाणु प्लाज्मा में "स्पटर" हो जाते हैं।इन वाष्पीकृत परमाणुओं को तब जमा किया जाता है जब वे लेपित होने के लिए सब्सट्रेट पर एक पतली फिल्म के रूप में संघनित होते हैं।
डीसी स्पटरिंग पीवीडी धातु जमाव और विद्युत प्रवाहकीय लक्ष्य कोटिंग सामग्री के लिए सबसे बुनियादी और सस्ती प्रकार की स्पटरिंग है।इस प्रक्रिया के लिए एक शक्ति स्रोत के रूप में डीसी के दो प्रमुख लाभ यह है कि इसे नियंत्रित करना आसान है और यदि आप कोटिंग के लिए धातु जमा कर रहे हैं तो यह कम लागत वाला विकल्प है।
डीसी स्पटरिंग का उपयोग सेमीकंडक्टर उद्योग में आणविक स्तर पर माइक्रोचिप सर्किटरी बनाने में बड़े पैमाने पर किया जाता है।इसका उपयोग गहनों, घड़ियों और अन्य सजावटी फिनिश के सोने के स्पटर कोटिंग्स के लिए, कांच और ऑप्टिकल घटकों पर गैर-चिंतनशील कोटिंग्स के लिए, साथ ही धातुयुक्त पैकेजिंग प्लास्टिक, कार दर्पण, कार प्रकाश परावर्तक, कार पहिया और हब आदि के लिए किया जाता है।
डीसी मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीनप्रदर्शन
1. परम वैक्यूम दबाव: 5.0×10 . से बेहतर-6टोर.
2. ऑपरेटिंग वैक्यूम प्रेशर: 1.0×10-4टोर.
3. पम्पिंगडाउन समय: 1 बजे से 1.0×10 . तक-4Torr≤ 3 मिनट (कमरे का तापमान, सूखा, साफ और खाली कक्ष)
4. धातुकरण सामग्री (स्पटरिंग + आर्क वाष्पीकरण): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, आदि।
5. ऑपरेटिंग मॉडल: पूर्ण स्वचालित रूप से / अर्ध-ऑटो / मैन्युअल रूप से
डीसी मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीन संरचना
वैक्यूम कोटिंग मशीन में नीचे सूचीबद्ध मुख्य पूर्ण प्रणाली शामिल है:
1. वैक्यूम चैंबर
2. रूहिंग वैक्यूम पंपिंग सिस्टम (बैकिंग पंप पैकेज)
3. उच्च वैक्यूम पम्पिंग सिस्टम (चुंबकीय रूप से निलंबन आणविक पंप)
4. विद्युत नियंत्रण और संचालन प्रणाली
5. सहायक सुविधा प्रणाली (उप प्रणाली)
6. जमा प्रणाली: वैकल्पिक के लिए डीसी स्पटरिंग कैथोड, डीसी बिजली की आपूर्ति, पूर्वाग्रह बिजली आपूर्ति आयन स्रोत
डीसी मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीनविशेष विवरण
RTSP1250-डीसी | |||||||
नमूना | RTSP1250-डीसी | ||||||
तकनीकी | मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग (डीसी) + आयन चढ़ाना | ||||||
सामग्री | स्टेनलेस स्टील (S304) | ||||||
कक्ष आकार | 1250*H1250mm | ||||||
कक्ष प्रकार | सिलेंडर, लंबवत, 1-दरवाजा | ||||||
स्पटरिंग सिस्टम | पतली काली फिल्म बयान के लिए विशेष रूप से डिजाइन | ||||||
जमा सामग्री | एल्युमिनियम, सिल्वर, कॉपर, क्रोम, स्टेनलेस स्टील, निकेल, टाइटेनियम | ||||||
जमा करने का स्रोत | बेलनाकार/प्लानर स्पटरिंग लक्ष्य + 7 स्टीयरिंग कैथोडिक आर्क स्रोत | ||||||
गैस | MFC- 4 तरीके, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
नियंत्रण | पीएलसी (प्रोग्राम करने योग्य तर्क नियंत्रक) + टच स्क्रीन |
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पंप प्रणाली | SV300B - 1 सेट (लेबॉल्ड) | ||||||
WAU1001 - 1 सेट (लेबॉल्ड) | |||||||
D60T- 2 सेट (लेबॉल्ड) | |||||||
टर्बो आणविक पंप: 2 * F-400/3500 | |||||||
पूर्व-उपचार | पूर्वाग्रह बिजली की आपूर्ति: 1 * 36 किलोवाट | ||||||
सुरक्षा तंत्र | ऑपरेटरों की सुरक्षा के लिए कई सुरक्षा इंटरलॉक और उपकरण |
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ठंडा | ठंडा पानी | ||||||
बिजली विद्युत | 480V / 3 चरण / 60HZ (यूएसए के अनुरूप) | ||||||
460V / 3 चरण / 50HZ (एशिया के अनुरूप) | |||||||
380V / 3 चरण / 50HZ (ईयू-सीई अनुरूप) | |||||||
पदचिह्न | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
कुल वजन | 7.0 टन | ||||||
पदचिह्न | (एल*डब्ल्यू*एच) 5000*4000 *4000 एमएम | ||||||
समय चक्र | 30 ~ 40 मिनट (सब्सट्रेट सामग्री के आधार पर, सब्सट्रेट ज्यामिति और पर्यावरण की स्थिति) |
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पावर मैक्स .. | 155 किलोवाट | ||||||
औसत बिजली की खपत (लगभग) | 75 किवॉ |
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