कूपर पतली फिल्म स्पटरिंग डिपोजिशन मशीन, उच्च तापीय प्रतिरोध फिल्म कोटिंग उपकरण

सिरेमिक रेडियेटिंग सब्सट्रेट पर कूपर मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग प्लांट

डीपीसी प्रक्रिया- डायरेक्ट प्लाटिंग कॉपर एलईडी / अर्धचालक / इलेक्ट्रॉनिक उद्योगों के साथ लागू एक उन्नत कोटिंग तकनीक है। एक विशिष्ट अनुप्रयोग सिरेमिक रेडिएटर सब्सट्रेट है।

पारंपरिक निर्माण विधियों: DBC LTCC HTCC, सुविधाओं के साथ तुलना में Al2O3, AlN, Si, PVD वैक्यूम स्पटरिंग तकनीक द्वारा ग्लास सब्सट्रेट पर कूपर कंडक्टिव फिल्म डिपॉजिट:

1. बहुत कम उत्पादन लागत।

2. बकाया थर्मल प्रबंधन और गर्मी हस्तांतरण प्रदर्शन

3. सटीक संरेखण और पैटर्न डिजाइन,

4. उच्च सर्किट घनत्व

5. अच्छा आसंजन और मिलाप

रॉयल टेक्नोलॉजी टीम ने हमारे ग्राहक को PVD स्पटरिंग तकनीक के साथ DPC प्रक्रिया को सफलतापूर्वक विकसित करने में सहायता की।
अपने उन्नत प्रदर्शन के कारण, डीपीसी सबस्ट्रेट्स का व्यापक रूप से विभिन्न अनुप्रयोगों में उपयोग किया जाता है:

उच्च चमक एलईडी इसकी उच्च गर्मी विकिरण प्रदर्शन, सेमीकंडक्टर उपकरण, माइक्रोवेव वायरलेस संचार, सैन्य इलेक्ट्रॉनिक्स, विभिन्न सेंसर substrates, एयरोस्पेस, रेलवे परिवहन, बिजली की शक्ति, आदि की वजह से लंबे समय तक बढ़ाने के लिए एलईडी

RTAC1215-SP उपकरण विशेष रूप से DPC प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किए गए हैं जो सबस्ट्रेट्स पर सहयोग परत प्राप्त करते हैं। यह उपकरण उच्च घनत्व, उच्च घर्षण प्रतिरोध, उच्च कठोरता और उच्च वैक्यूम वातावरण में मजबूत बंधन के साथ आदर्श फिल्म प्राप्त करने के लिए मल्टी-आर्क आयन चढ़ाना और मैग्नेट्रोन स्पटरिंग तकनीकों के साथ पीवीडी भौतिक वाष्प जमाव सिद्धांत का उपयोग करता है। यह बाकी डीपीसी प्रक्रिया के लिए महत्वपूर्ण कदम है।

कॉपर स्पटरिंग कोटिंग मशीन प्रमुख विशेषताएं

1. 8 स्टीयर आर्क कैथोड और डीसी स्पटरिंग कैथोड, एमएफ स्पटरिंग कैथोड, आयन स्रोत इकाई से लैस है।

2. बहुपरत और सह-बयान कोटिंग उपलब्ध है

3. प्लाज्मा सफाई पूर्व-उपचार के लिए आयन स्रोत और फिल्म आसंजन को बढ़ाने के लिए आयन-बीम ने सहायता प्रदान की है।

4. सिरेमिक / Al2O3 / AlN सबस्ट्रेट्स को गर्म करने वाली इकाई;

5. सब्सट्रेट रोटेशन और क्रांति प्रणाली, 1-साइड कोटिंग और 2-साइड कोटिंग के लिए।

कॉपर स्पटरिंग कोटिंग मशीन विनिर्देशों

प्रदर्शन

1. परम वैक्यूम दबाव: 5.0 × 10 ^{- 6} टोर से बेहतर।

2. ऑपरेटिंग वैक्यूम प्रेशर: 1.0 × 10 ^{- 4} टॉर।

3. पम्पिंगडाउन टाइम: 1 बजे से 1.0 × 10 ^{- 4} टोर्र 3 मिनट (कमरे का तापमान, सूखा, साफ और खाली कक्ष)

4. धातु बनाने की सामग्री (स्पटरिंग + आर्क वाष्पीकरण): नी, सीयू, एजी, एयू, टीआई, जेड, सीआर आदि।

5. ऑपरेटिंग मॉडल: पूर्ण स्वचालित / अर्ध-ऑटो / मैन्युअल रूप से

संरचना

वैक्यूम कोटिंग मशीन में नीचे सूचीबद्ध कुंजी पूर्ण प्रणाली शामिल है:

1. वैक्यूम चैंबर

2. रूह वैक्यूम पंपिंग सिस्टम (बैकिंग पंप पैकेज)

3. उच्च वैक्यूम पंपिंग सिस्टम (मैग्नेटिकली सस्पेंशन आणविक पंप)

4. इलेक्ट्रिकल कंट्रोल और ऑपरेशन सिस्टम

5. सहायक सुविधा प्रणाली (उप प्रणाली)

6. जमाव प्रणाली

अधिक विनिर्देशों के लिए कृपया हमसे संपर्क करें, रॉयल टेक्नोलॉजी आपको कुल कोटिंग समाधान प्रदान करने के लिए सम्मानित है।