सिरेमिक पीवीडी कोटिंग उपकरण विशेषताएं:
1. वैक्यूम कक्ष लंबवत एक खुला दरवाजा है, 304 स्टेनलेस स्टील बनाती है, φ1400mm-Φ2000mm से वैक्यूम कक्ष आंतरिक व्यास;
2. रोटरी वेन पंप, रूट्स पंप और ऑयल डिफ्यूजन पंप या मॉलिक्यूलर पंप संविधान द्वारा वैक्यूम सिस्टम;
3. कोटिंग सिस्टम स्पटरिंग पावर स्रोत को नियंत्रित करने के लिए 1-2 मध्यवर्ती आवृत्ति चुंबकत्व का उपयोग करता है, लक्ष्य को नियंत्रित करने के लिए 1-2 जोड़ी गैर-संतुलित चुंबकत्व है, और इसमें 14-40 चाप स्रोत हैं।
4. उच्च दक्षता पल्स पूर्वाग्रह शक्ति स्रोत;
5. गैसीकरण प्रणाली घरेलू रूप से उत्पादित या आयात गैसीय द्रव्यमान प्रवाहमापी, गैस प्रवाह राशि नियंत्रण (प्रदर्शन) मीटर का उपयोग करती है;
6. विद्युत नियंत्रित प्रणाली स्थापना विद्युत सर्किट अतिभारित, पानी की आपूर्ति में कटौती, ध्वनिक-प्रकाशिकी अलार्म डिवाइस मर जाता है;
7. नियंत्रण प्रणाली (टच-स्क्रीन + पीएलसी), वास्तविक समय विस्तृत पैरामीटर प्रदर्शित करता है, पूरी तरह से स्वचालित नियंत्रण पूरी उत्पादन प्रक्रिया, और स्वचालित मेमोरी तकनीकी पैरामीटर।
PVD कोटिंग उपकरण - RTAC1618 निर्दिष्टीकरण
नमूना | RTAC1618 | ||
सामग्री | स्टेनलेस स्टील (S304) | ||
कक्ष आकार | Φ1600 * 1800 मिमी (एच) | ||
पंप प्रणाली | रोटरी पिस्टन वैक्यूम पंप (मैकेनिकल) | ||
रोटरी वेन वैक्यूम पंप (होल्डिंग) | |||
जड़ें वैक्यूम पंप | |||
प्रसार पंप | |||
तकनीकी | आयन चढ़ाना (बहु-चाप स्रोत) | ||
विशिष्ट लक्ष्य | क्रोम, टाइटेनियम, ज़िरकोनियम, TiAl | ||
गैस | गैस मास फ्लो मीटर (Ar, N2,) आर्गन, नाइट्रोजन | ||
नियंत्रण | पीएलसी (प्रोग्राम करने योग्य तर्क नियंत्रक) | ||
सुरक्षा तंत्र | ऑपरेटरों और उपकरणों की सुरक्षा के लिए कई सुरक्षा इंटरलॉक | ||
ठंडा | रीसायकल ठंडा पानी | ||
गरम करना | हीटर, 300 ℃ तक | ||
पावर मैक्स। | 150 किलोवाट (लगभग) | ||
औसत बिजली की खपत | 70 किलोवाट (लगभग) |
सिरेमिक पीवीडी कोटिंग उपकरणकैथोडिक आर्क स्रोत द्वारा टाइटेनियम, क्रोम जैसी ठोस धातुओं को वाष्पित करने के लिए आयन चढ़ाना तकनीक लेता है और उच्च वैक्यूम वातावरण में नैनो पतली फिल्म उत्पन्न करने के लिए उत्पाद की सतह पर आयनित धातुओं को संघनित करता है।प्रतिक्रियाशील गैस के साथ जैसे: नाइट्रोजन विभिन्न रंगों को उत्पन्न करने के लिए।
अन्य अनुकूलित मशीन आकार निर्दिष्ट उत्पाद आयामों और क्षमता की मांग के आधार पर उपलब्ध हैं।
नमूना | आरटीएसी-1008 | आरटीएसी-1012 | आरटीएसी-1215 | आरटीएसी-1416 | आरटीएसी-1618 | ||||||
चैंबर आंतरिक आकार | 1000x800mm | 1000x1200 मिमी | 1200x1500mm | 1400x1600 मिमी | 1600x1600 मिमी | ||||||
बिजली आपूर्ति प्रकार | आर्क बिजली की आपूर्ति, फिलामेंट बिजली की आपूर्ति, पल्स पूर्वाग्रह बिजली की आपूर्ति | ||||||||||
निर्वात कक्ष की संरचना | वर्टिकल फ्रंट डोर स्ट्रक्चर, रियर एयर एग्जॉस्ट सिस्टम और डबल-लेयर वाटर कूलिंग चैंबर | ||||||||||
निर्वात कक्ष की सामग्री | स्टेनलेस स्टील 304/316 एल | ||||||||||
परम निर्वात | 6.0x10-4Pa (उतराई, साफ, सुखाने कक्ष) | ||||||||||
वैक्यूम पम्पिंग स्पीड | वायुमंडल से 8.0*10-3Pa ≤15 मिनट | ||||||||||
वैक्यूम पम्पिंग सिस्टम | प्रसार पंप या आणविक पंप + रूट पंप + मैकेनिकल पंप + होल्डिंग पंप (विशिष्ट मॉडल ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार चुना जा सकता है) | ||||||||||
चाप स्रोत | 6 इकाइयां या 8 इकाइयां | 8 इकाइयां या 10 इकाइयां | 10 इकाइयां या 12 इकाइयां | 14 इकाइयां या 16 इकाइयां | 16 इकाइयां या 18 इकाइयां | ||||||
पूर्वाग्रह बिजली की आपूर्ति | 20 किलोवाट/सेट | 20 किलोवाट/सेट | 30KW/सेट | 40 किलोवाट/सेट | 50 किलोवाट/सेट | ||||||
ड्राइविंग मॉडल | ग्रहों की क्रांति और घूर्णन, चर आवृत्ति गति विनियमन (नियंत्रणीय और समायोज्य) | ||||||||||
तापन प्रणाली | कमरे के तापमान से 450 डिग्री सेल्सियस तक नियंत्रित और समायोज्य (पीआईडी तापमान नियंत्रण) | ||||||||||
एमएफसी | 3-पथ या 4-पथ प्रक्रिया गैस प्रवाह नियंत्रण और प्रदर्शन प्रणाली, चयनात्मक स्वचालित गैसिंग प्रणाली | ||||||||||
शीतलन प्रणाली | वाटर सर्कुलेशन कूलिंग मोड, कूलिंग वॉटर टॉवर या इंडस्ट्रियल वाटर कूलर या डीप कूलिंग सिस्टम।(ग्राहकों द्वारा प्रदान किया गया) | ||||||||||
नियंत्रण विधा | मैनुअल / स्वचालित एकीकरण मोड, टच स्क्रीन ऑपरेशन, पीएलसी या कंप्यूटर नियंत्रण | ||||||||||
कुल शक्ति | 30 किलोवाट | 35 किलोवाट | 45 किलोवाट | 60 किलोवाट | 75 किवॉ | ||||||
अलार्म और सुरक्षा | अलार्म पानी की कमी, ओवर करंट और ओवरवॉल्टेज, ओपन सर्किट और पंपों की अन्य असामान्य स्थिति, लक्ष्य आदि और प्रासंगिक सुरक्षात्मक उपाय और इलेक्ट्रिक इंटरलॉक फ़ंक्शन निष्पादित करें | ||||||||||
उपकरण क्षेत्र | W2.5m * L3.5m | W3m * L4m | W4m * L5m | W4.5m * L6m | W5m * L7m | ||||||
अन्य तकनीकी पैरामीटर | पानी का दबाव 0.2MPa, पानी का तापमान ≤25 ° C, वायु दाब 0.5-0.8MPa | ||||||||||
टिप्पणियां | कोटिंग उपकरण के विशिष्ट विन्यास को कोटिंग उत्पादों की प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार डिजाइन किया जा सकता है |
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